一种电容式薄膜真空压力传感器制造技术

本实用新型专利技术涉及传感器领域，具体是一种电容式薄膜真空压力传感器。一种电容式薄膜真空压力传感器，包括壳体，壳体内设置上电极，上电极上设置调整电路组件，调整电路组件与电连接组件电连接，电连接组件伸出壳体并与显示组件连接，上电极和壳体底部形成空腔，在空腔中部设置一薄膜，薄膜和上电极之间形成测量空腔，薄膜和壳体底部之间形成真空空腔，测量空腔的侧壁上设置进气管，壳体底部设置抽真空管，抽真空管探入真空空腔内，抽真空管中部设置测压表，抽真空管的另一端设置抽真空装置。真空空腔可以随时通过抽真空装置校准真空状态，更加精准；在上电极上设置调整电路组件，可以将电容的变化转变为电压显示出来，更加直观。

A capacitive thin film vacuum pressure sensor

The utility model relates to the field of sensors, in particular to a capacitive film vacuum pressure sensor. A capacitance diaphragm vacuum pressure sensor, which comprises a shell, shell is arranged on the electrode, electrode is arranged on the adjusting circuit assembly, adjustment circuit component connected with electrically connected electrical components, electrical connection assembly and extends out of the shell and display unit connected to the upper electrode and the bottom of the shell to form a cavity, a film set in the central cavity, measurement the cavity formed between the film and the upper electrode, a vacuum cavity is formed between the film and the bottom of the casing and provided with an air inlet pipe on the side wall of the measuring cavity, the shell is arranged at the bottom of the vacuum tube, vacuum pumping tube into the vacuum cavity, vacuum pumping tube is positioned in the middle of a pressure gauge, vacuum pumping device is arranged at the other end of the vacuum tube. The vacuum cavity can be used to calibrate the vacuum state at any time through the vacuum device. It is more precise. On the upper electrode, setting the adjustment circuit component can change the capacitance change to the voltage display, and is more intuitive.

【技术实现步骤摘要】
一种电容式薄膜真空压力传感器
本技术涉及传感器领域，具体是一种电容式薄膜真空压力传感器。
技术介绍
随着我国空间探测技术和工程的发展，在地球应用卫星和载人航天器的基础上进行深空探测活动，是进一步了解宇宙、太阳系和认识地球生命起源和演化过程的重要手段，也是我国深空探测工程的发展方向和目标，在未来几十年，我国将对火星进行深入的探测活动，这就对真空压力的测量提出了新的要求。目前，在现有的真空计中，热偶效应原理和热电阻效应原理的真空计非线性较大，一般为±5%，测量下限为102Pa，存在较大的气体选择性；电离效应原理的真空计非线性也较大，一般为±5%，测量下限为10-4Pa，具有气体选择性；这几种真空计在实际应用中将存在着较大的测试误差；硅压阻效应原理和硅基薄膜电容效应原理的真空计，非线性小，测量精度高，没有气体选择性，由于国内还没有较好的解决压力感知膜片厚度的加工减薄工艺问题，测量下限只能为1kPa左右，达不到真空测量的下限要求；而电容式薄膜效应原理的真空计，具有体积和重量都很大，灵敏度高，没有气体选择性，测量下限为10-2Pa。
技术实现思路
本技术所要解决的问题是克服现有技术的不足，提供一种能够本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电容式薄膜真空压力传感器，其特征在于：包括壳体，壳体内设置上电极，所述上电极上设置调整电路组件，所述调整电路组件与电连接组件电连接，所述电连接组件伸出壳体并与显示组件连接，所述上电极和壳体底部形成空腔，在空腔中部设置一薄膜，所述薄膜和上电极之间形成测量空腔，所述薄膜和壳体底部之间形成真空空腔，所述测量空腔的侧壁上设置进气管，所述壳体底部设置抽真空管，所述抽真空管探入真空空腔内，所述抽真空管中部设置测压表，所述抽真空管的另一端设置抽真空装置。

【技术特征摘要】
1.一种电容式薄膜真空压力传感器，其特征在于：包括壳体，壳体内设置上电极，所述上电极上设置调整电路组件，所述调整电路组件与电连接组件电连接，所述电连接组件伸出壳体并与显示组件连接，所述上电极和壳体底部形成空腔，在空腔中部设置一薄膜，所述薄膜和上电极之间形成测量空腔，所述薄膜和壳体底部之间形成真空空腔，所述测量空腔的侧壁上设置进气管，所述壳体底部设置抽真空管，所述抽真空管探入真空空腔内，所述抽真空管中部设置测压表，所述抽真空管的另一端设置抽真空装置。2.根据权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：周继平，
申请(专利权)人：宁国市大荣电器有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽,34