一种小弧源磁路结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种小弧源磁路结构，包括磁铁组件，主轴、密封组件、同步轮、平键、定位套环、主轴高度调节机构；磁铁组件的下方连接一主轴；主轴穿入密封组件；同步轮；其特征在于，主轴上设置第一键槽；第一键槽内设置一平键；平键嵌入到第一键槽和同步轮上开设的第二键槽组成的凹槽中；同步轮的下方设置一定位套环；在定位套环的下方设置一主轴高度调节机构；通过在主轴上设置一主轴高度调节机构，进行在磁路结构的远、近状态下的调节，在不影响小弧源磁路结构的转动的状况下，形成小弧源磁路结构高低调节，克服了单一的固定式的磁路结构无法调节磁路的远、近方向的技术问题，满足了镀膜产品对于磁路结构的要求。

【技术实现步骤摘要】
一种小弧源磁路结构
本技术涉及磁路结构尤其涉及一种小弧源磁路结构。
技术介绍
现在的多弧离子镀中多采用小弧源作为核心镀膜装置，这类型的小弧源一般都采用固定位置的磁路结构，这种的磁路结构无法调节高度也无法旋转，不能满足镀膜产品高均匀性的要求。
技术实现思路
本技术的目的是根据上述现有技术的不足之处，本技术目的实现一种小弧源磁路结构，包括磁铁组件，主轴、密封组件、同步轮、平键、定位套环、主轴高度调节机构；所述的磁铁组件的下方连接一主轴；所述的主轴穿入密封组件；同步轮；其特征在于，所述的主轴上设置第一键槽；所述的第一键槽内设置一平键；所述的平键嵌入到第一键槽和同步轮上开设的第二键槽组成的凹槽中；所述的同步轮与主轴为滑动连接；所述的同步轮通过驱动力，驱动所述的主轴带动所述的磁铁组件旋转；所述的同步轮的下方设置一定位套环；在定位套环的下方设置一主轴高度调节机构。进一步，所述的主轴高度调节机构还包括底座、调节长螺栓、内卡套、调节环、紧固螺栓；所述的主轴高度调节机构的底座上开设一圆孔；在圆孔内将内卡套套在主轴上；在内卡套的外侧套入第一轴承；并在内卡套的下方设置调节环；在调节环的中心位置穿入紧固螺栓，并拧入本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种小弧源磁路结构，包括磁铁组件，主轴、密封组件、同步轮、平键、定位套环、主轴高度调节机构；所述的磁铁组件的下方连接一主轴；所述的主轴穿入密封组件；同步轮；其特征在于，所述的主轴上设置第一键槽；所述的第一键槽内设置一平键；所述的平键嵌入到第一键槽和同步轮上开设的第二键槽组成的凹槽中；所述的同步轮与主轴为滑动连接；所述的同步轮通过驱动力，驱动所述的主轴带动所述的磁铁组件旋转；所述的同步轮的下方设置一定位套环；在定位套环的下方设置一主轴高度调节机构。

【技术特征摘要】
1.一种小弧源磁路结构，包括磁铁组件，主轴、密封组件、同步轮、平键、定位套环、主轴高度调节机构；所述的磁铁组件的下方连接一主轴；所述的主轴穿入密封组件；同步轮；其特征在于，所述的主轴上设置第一键槽；所述的第一键槽内设置一平键；所述的平键嵌入到第一键槽和同步轮上开设的第二键槽组成的凹槽中；所述的同步轮与主轴为滑动连接；所述的同步轮通过驱动力，驱动所述的主轴带动所述的磁铁组件旋转；所述的同步轮的下方设置一定位套环；在定位套环的下方设置一主轴高度调节机构。2.如权利要求1所述的一种小弧源磁路结构，其特征在于，所述的主轴高度调节机构还包括底座、调节长螺栓、内卡套、调节环、紧固螺栓；所述的主轴高度调节机构的底座上开设一圆孔；在圆孔内将内卡套套在主轴上；在内卡套的外侧套入第一轴承；并在内卡套的下方设置调节环；在调节环的中心位置穿入紧固螺栓，并拧入开设在主轴上的螺纹孔中；在调节环的中心对称位置穿入调节长螺栓；并拧入设置在内卡套上的螺纹通孔中。3.如权利要求2所述的一种小弧源磁路结构，其特征在于，所述的底座上以120...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨元才，朱振东，钱鹏亮，褚景豫，熊凯，
申请(专利权)人：上海福宜真空设备有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31