MEMS器件、液体喷射头以及液体喷射装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供能够将保护膜薄膜化以及降低制造成本的MEMS器件、液体喷射头以及液体喷射装置。所述MEMS器件具备相对于第一基板隔开间隔而配置的第二基板和被夹持在第一基板与第二基板之间的被夹持部件，并且所述MEMS器件具有由第一基板、第二基板以及被夹持部件划分出的空间，第一基板具有配线，所述配线从作为与第二基板侧相反的一侧的面的第一面侧向作为第二基板侧的面的第二面侧延伸设置，并且由导体构成，配线的第一面侧的端部由被设置在第一面侧的第一保护膜所覆盖，配线的第二面侧的端部面对空间。

MEMS device, liquid jet head and liquid ejector

The invention provides a MEMS device, a liquid ejector head, and a liquid injection device that can film the protective film film and reduce the manufacturing cost. The MEMS device with respect to the first substrate at intervals of second substrate configuration and is sandwiched between the first substrate and the second substrate by clamping components, and the MEMS device has a first substrate, a second substrate and clamped parts divided into space, the first substrate has a first surface of the lateral side of the wiring. The wiring from the opposite side as the second substrate and the second substrate side as the second side of the extension set, and formed by conductors, end of the first side wiring is covered by the first protective film is set on the first side of the end of the second side of the face space distribution.

【技术实现步骤摘要】
MEMS器件、液体喷射头以及液体喷射装置
本专利技术涉及一种在被接合在一起的两个基板之间形成有空间的MEMS器件、液体喷射头以及液体喷射装置。
技术介绍
具备两个基板并且在这两个基板之间具有空间的MEMS(MicroElectroMechanicalSystems(微机电系统))器件被应用于各种装置(例如，液体喷射装置或传感器等)。例如，在作为MEMS器件的一种的液体喷射头中，在上述的空间中具备压电元件等致动器。此外，作为搭载有这种液体喷射头的液体喷射装置，例如有喷墨式打印机或喷墨式绘图仪等图像记录装置。最近，液体喷射头发挥能够将极少量的液体准确地喷落在预定位置处的特长，从而也被应用在各种制造装置中。例如，被应用于制造液晶显示器等的滤色器的显示器制造装置、形成有机EL(ElectroLuminescence：电致发光)显示器或FED(面发光显示器)等的电极的电极形成装置、制造生物芯片(生物化学元件)的芯片制造装置等中。而且，通过图像记录装置用的记录头而喷射液状的油墨，通过显示器制造装置用的颜色材料喷射头而喷射R(Red：红色)、G(Green：绿色)、B(Blue：蓝色)的各种颜色材本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微机电系统器件，其特征在于，具备：第一基板；第二基板，其相对于所述第一基板隔开间隔而配置；被夹持部件，其被夹持在所述第一基板与所述第二基板之间，所述微机电系统器件具有由所述第一基板、所述第二基板以及所述被夹持部件划分出的空间，所述第一基板具备配线，所述配线从所述第一基板的作为与所述第二基板侧相反的一侧的面的第一面侧向作为所述第二基板侧的面的第二面侧延伸设置，并且由导体构成，所述配线的所述第一面侧的端部由被设置在所述第一面侧的第一保护膜所覆盖，所述配线的所述第二面侧的端部面对所述空间。

【技术特征摘要】
2016.09.21 JP 2016-1839251.一种微机电系统器件，其特征在于，具备：第一基板；第二基板，其相对于所述第一基板隔开间隔而配置；被夹持部件，其被夹持在所述第一基板与所述第二基板之间，所述微机电系统器件具有由所述第一基板、所述第二基板以及所述被夹持部件划分出的空间，所述第一基板具备配线，所述配线从所述第一基板的作为与所述第二基板侧相反的一侧的面的第一面侧向作为所述第二基板侧的面的第二面侧延伸设置，并且由导体构成，所述配线的所述第一面侧的端部由被设置在所述第一面侧的第一保护膜所覆盖，所述配线的所述第二面侧的端部面对所述空间。2.如权利要求1所述的微机电系统器件，其特征在于，所述配线的所述第二面侧的端部由被设置在所述第二面侧的第二保护膜所覆盖，所述第二保护膜的膜厚度与所述第一保护膜...

【专利技术属性】
技术研发人员：吉池政史，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP