MEMS器件、液体喷射头以及液体喷射装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种MEMS器件、液体喷射头以及液体喷射装置。该MEMS器件的特征在于，具备：第一基板，其具备驱动区域，并在该驱动区域内依次层压有第一电极层、电介质层以及第二电极层；和第二基板，其以与所述第一基板的层压有所述电介质层的面对置的方式而被配置，所述第一电极层及所述电介质层朝向从所述驱动区域偏离出的非驱动区域而延伸至与所述第二电极层相比靠外侧，具有弹性的第一树脂被形成在所述电介质层的延伸方向上的包括所述第二电极层的端缘在内的区域内，所述第一基板和所述第二基板在夹着发生了弹性变形的所述第一树脂的状态下，通过粘合剂而被固定。

MEMS device, liquid ejecting head and liquid ejecting device

The present invention provides a MEMS device, a liquid ejecting head and a liquid ejecting device. The characteristics of the MEMS device that has a first substrate, which has driven region, and in the area of laminating a first electrode layer, a dielectric layer and the second electrode layer; and a second substrate, the laminate and the first substrate with the dielectric layer face and is configured by the way, the first electrode layer and the dielectric layer from the drive toward the non driving region and extends to the deviation from the compared with the second electrode layer on the outside, the first resin elastic is formed including the end edge of the second electrode layer, the region extending in the direction of the dielectric layer on the inside and the first substrate and the second substrate in holding occurs the elastic deformation of the first resin under the condition of being fixed by adhesive.

【技术实现步骤摘要】
MEMS器件、液体喷射头以及液体喷射装置
本专利技术涉及一种液体的喷射等所使用的MEMS器件、液体喷射头以及液体喷射装置，尤其是涉及一种在驱动区域内依次层压有第一电极层、电介质层以及第二电极层的MEMS器件、液体喷射头以及液体喷射装置。
技术介绍
MEMS(MicroElectroMechanicalSystems：微机电系统)器件被应用于各种装置。例如，作为MEMS器件的一种的液体喷射头，除了被应用于喷墨式打印机或喷墨式绘图仪等图像记录所使用的液体喷射装置以外，还被应用于各种制造所使用的液体喷射装置。具体而言，被应用于制造液晶显示器等的彩色滤光片的显示器制造装置、形成有机EL(ElectroLuminescence：电致发光)显示器或FED(面发光显示器)等的电极的电极形成装置、制造生物芯片(生物化学元件)的芯片制造装置等。而且，通过图像记录装置用的记录头而喷射液状的油墨，通过显示器制造装置用的颜色材料喷射头而喷射R(Red：红色)、G(Green：绿色)、B(Blue：蓝色)的各颜色材料的溶液。此外，通过电极形成装置用的电极材料喷射头而喷射液状的电极材料，通过芯片制造装置用的生物本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微机电系统器件，其特征在于，具备：第一基板，其具备驱动区域，并在该驱动区域内依次层压有第一电极层、电介质层以及第二电极层；和第二基板，其以与所述第一基板的层压有所述电介质层的面对置的方式而被配置，所述第一电极层及所述电介质层朝向从所述驱动区域偏离出的非驱动区域而延伸至与所述第二电极层相比靠外侧，具有弹性的第一树脂被形成在所述电介质层的延伸方向上的包括所述第二电极层的端缘在内的区域内，所述第一基板和所述第二基板在彼此间夹着发生了弹性变形的所述第一树脂的状态下，通过粘合剂而被固定。

【技术特征摘要】
2016.04.27 JP 2016-0888781.一种微机电系统器件，其特征在于，具备：第一基板，其具备驱动区域，并在该驱动区域内依次层压有第一电极层、电介质层以及第二电极层；和第二基板，其以与所述第一基板的层压有所述电介质层的面对置的方式而被配置，所述第一电极层及所述电介质层朝向从所述驱动区域偏离出的非驱动区域而延伸至与所述第二电极层相比靠外侧，具有弹性的第一树脂被形成在所述电介质层的延伸方向上的包括所述第二电极层的端缘在内的区域内，所述第一基板和所述第二基板在彼此间夹着发生了弹性变形的所述第一树脂的状态下，通过粘合剂而被固定。2.如权利要求1所述的微机电系统器件，其特征在于，覆盖所述第一树脂的表面的第一导电层被形成为与所述第一电极层电绝缘的状态。3.如权利要求1或2所述的微机电系统器件，其特征在于，所述第二基板具备第三电极层，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：西面宗英，平井荣树，中山雅夫，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP