液体喷射头以及液体喷射头的制造方法技术

本发明专利技术提供一种液体喷射头以及液体喷射头的制造方法，即使施加有热量或外力等，也能够对贯穿配线从贯穿孔伸出的情况进行抑制。液体喷射头具备：压力室形成基板(29)，其上设置有压电元件(32)；密封板(33)，其第一面(35)上连接有压力室形成基板(29)，密封板(33)具备在板厚方向上贯穿该密封板(33)的贯穿孔(44)以及形成在该贯穿孔(44)的内部的由导体构成的贯穿配线(45)，贯穿孔(44)以及贯穿配线(45)的在与第一面(35)平行的面上的截面面积从密封板(33)的板厚方向上的中途趋向第一面(35)以及与第一面(35)相反的一侧的第二面(36)而变大。

Liquid jet head and method for manufacturing liquid jet head

The present invention provides a liquid jet head and a method for manufacturing a liquid jet head, which can suppress the running out of the through wire from the through hole even when the heat or external force is applied. The liquid ejecting head has a pressure chamber (29), the substrate is provided with a piezoelectric element (32); the sealing plate (33), the first surface (35) is connected with a pressure chamber (29) formed, sealing plate (33) with the sealing plate through in the direction of thickness (33) through holes (44) and (44) through the perforations in the interior formed by conductors through wiring (45), (44) and perforation (45) through wiring with a first surface (35) parallel to the section area on the surface of the sealing plate (33) from the middle plate on the side of the thick direction trend (35) and (35) the first second opposite side (36) becomes large.

【技术实现步骤摘要】
液体喷射头以及液体喷射头的制造方法
本专利技术涉及一种具备形成有在板厚方向上贯穿的配线的基板的液体喷射头以及液体喷射头的制造方法。
技术介绍
液体喷射装置为，具备液体喷射头并从该喷射头喷射各种液体的装置。作为该液体喷射装置，例如存在有喷墨式打印机或喷墨式绘图机等图像记录装置，最近活用能够使极少量的液体准确地喷落于预定位置处这样的特长，从而也被应用于各种制造装置中。例如，应用于对液晶显示器等的滤色器进行制造的显示器制造装置、形成有机EL(ElectroLuminescence，电致发光)显示器或FED(面发光显示器)等的电极的电极形成装置、对生物芯片(生物化学元件)进行制造的芯片制造装置中。并且，在图像记录装置用的记录头中喷射液状的油墨，在显示器制造装置用的颜色材料喷射头中喷射R(Red，红色)、G(Green，绿色)、B(Blue，蓝色)的各种颜色材料的溶液。此外，在电极形成装置用的电极材喷射头中喷射液状的电极材料，在芯片制造装置用的生物体有机物喷射头中喷射生物体有机物的溶液。在上述的液体喷射头中，层压有形成有与喷嘴连通的压力室的压力室形成基板、使压力室内的液体产生压力变动的压电元件本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种液体喷射头，其特征在于，具备：第一基板，其上设置有压电元件；第二基板，其第一面上连接有所述第一基板，所述第二基板具备在板厚方向上贯穿该第二基板的贯穿孔以及被形成在该贯穿孔的内部的由导体构成的贯穿配线，所述贯穿配线由第一端部、第二端部以及连接配线构成，所述第一端部被设置在所述第一面侧，所述第二端部被设置在作为与所述第一面相反的一侧的面的第二面侧，所述连接配线对所述第一端部和所述第二端部进行连接，所述连接配线的在所述第一面的面方向上的截面面积小于所述第一端部以及所述第二端部的在所述面方向上的截面面积。

【技术特征摘要】
2015.10.19 JP 2015-2052991.一种液体喷射头，其特征在于，具备：第一基板，其上设置有压电元件；第二基板，其第一面上连接有所述第一基板，所述第二基板具备在板厚方向上贯穿该第二基板的贯穿孔以及被形成在该贯穿孔的内部的由导体构成的贯穿配线，所述贯穿配线由第一端部、第二端部以及连接配线构成，所述第一端部被设置在所述第一面侧，所述第二端部被设置在作为与所述第一面相反的一侧的面的第二面侧，所述连接配线对所述第一端部和所述第二端部进行连接，所述连接配线的在所述第一面的面方向上的截面面积小于所述第一端部以及所述第二端部的在所述面方向上的截面面积。2.如权利要求1所述的液体喷射头，其特征在于，所述第一端部或所述第二端部的在所述第一面的面方向上的截面面积从所述连接配线趋向所述第一面或所述第二面而逐渐增加。3.如权利要求1或2所述的液体喷射头，其特征在于，在所述第二基板的所述第一面上形成有与所述第一基板进行电连接的电极端子，所述电极端子被形成在树脂的表面上，所述树脂被形成在所述第一面上。4.如权利要求1至3中任一项所述的液体喷射头，其特征在于，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：松本泰幸，田中秀一，依田刚，中川尚广，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP