用于制造电子机械执行器的制造方法和电子机械执行器技术
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于制造电子机械执行器的制造方法和电子机械执行器
本专利技术涉及一种用于制造电子机械执行器的制造方法以及一种电子机械执行器，所述电子机械执行器尤其借助所述制造方法来制造。
技术介绍
电子机械执行器经常例如以压电堆叠的形式作为操纵元件来使用，例如在用于机动车的最不同的发动机类型的喷油嘴中。这样的电子机械执行器大多具有多个压电陶瓷层，所述多个压电陶瓷层在施加电场的情况下以长度延展进行反应，并且所述电子机械执行器此外包括多个电极层，其中，压电陶瓷层和电极层交替地沿着纵轴彼此堆叠地布置。这样的堆叠大多在两个相对置的侧面上电接触，以便能够操控堆叠中的电极层，从而在堆叠内形成电场，压电陶瓷层通过延展对所述电场进行反应。为了能够形成电场，以不同的电位操控两个相邻的电极层，也即接触向外在不同的接触连接端处结束。为了能够实现不同的接触，例如已知的是，仅仅将每第二个电极层移近至相应的侧面处，而相应地另一电极层不延伸至该侧面。然而也已知的是，将所有电极层在所有侧移近至堆叠的侧面处，这在电子机械执行器的操纵、空间要求和全部的运行行为方面具有大的优点。以下堆叠称作所谓的全活性的堆叠：在所述...
【技术保护点】
一种用于制造电子机械执行器（10）的制造方法，所述制造方法具有以下步骤：a）提供构造为堆叠（14）的电构件（12），所述电构件由多个压电陶瓷层（16）和由多个电极层（18）构成，所述压电陶瓷层和电极层沿所述堆叠（14）的纵轴（32）交替地相叠地堆叠；b）将绝缘层（30）施加到所述堆叠（14）的平行于所述纵轴（32）地布置的至少一个侧面（20）上，使得在所述侧面（20）处，所述电极层（18）和所述压电陶瓷层（16）由所述绝缘层（30）覆盖；c）通过局部地去除与待暴露的电极层（18）相邻的、局部受限的绝缘层区域（34）之一来在所述堆叠（14）的所述侧面（20）上暴露所述电极层（...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.08.10 DE 102015215204.91.一种用于制造电子机械执行器（10）的制造方法，所述制造方法具有以下步骤：a）提供构造为堆叠（14）的电构件（12），所述电构件由多个压电陶瓷层（16）和由多个电极层（18）构成，所述压电陶瓷层和电极层沿所述堆叠（14）的纵轴（32）交替地相叠地堆叠；b）将绝缘层（30）施加到所述堆叠（14）的平行于所述纵轴（32）地布置的至少一个侧面（20）上，使得在所述侧面（20）处，所述电极层（18）和所述压电陶瓷层（16）由所述绝缘层（30）覆盖；c）通过局部地去除与待暴露的电极层（18）相邻的、局部受限的绝缘层区域（34）之一来在所述堆叠（14）的所述侧面（20）上暴露所述电极层（18）中的至少一个电极层，其中，垂直于所述纵轴（32）地检测待去除的、局部受限的绝缘层区域（34）的层厚度（D），并且其中，局部受限地设定用于去除所述待去除的绝缘层区域（34）的所检测的层厚度（D）的绝缘层区域（34）的去除率。2.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，逐步单个地检测在所述侧面（20）上的多个局部受限的绝缘层区域（34）的所述层厚度（D），并且逐步单个地去除所述多个绝缘层区域（32），其中，直接彼此相继地执行各个层厚度（D）的逐步检测和逐步去除。3.根据权利要求2所述的制造方法，其特征在于，借助等离子体光谱学检测所述层厚度（D）。4.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，逐步检测在所述堆叠（14）的侧面（20）上的多个局部受限的绝缘层区域（34）的层厚度（D）并且逐步去除所述多个绝缘层区域（34），其中，首先在没有在此之间的去除步骤的情况下逐步地检测所述多个绝缘层区域（34）的所有层厚度（D），并且然后在没有在此之间的检测步骤的情况下逐步地执行所述多个绝缘层区域（34）的去除。5.根据权利要求1或2或4所述的制造方法，其特征在于，无破坏地检测所述待去除的绝缘层区域（34）的所述层厚度（D），其中，尤其以光学方式求取所述层厚度（D），其中，优选使用具有自聚焦系统的光学传感器装置（42）。6.根据权利要求5所述的制造方法，其特征在于，使用在预先确定的波长范围中光学透明的材料、尤其聚酰亚胺（48）作为绝缘层材料（46），其中...
【专利技术属性】
技术研发人员：T海因策，J豪博尔德，U克赖西希，A伦克，A迈纳，
申请(专利权)人：大陆汽车有限公司，
类型：发明
国别省市：德国,DE
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