使用绳状细丝来蒸发和沉积材料的设备和方法技术

一种用于将材料蒸发并沉积到基板上的设备和方法。源材料可以附接到真空腔室内的绳状细丝。可以控制一个机构以加热绳状细丝并使源材料蒸发。待涂覆的部件可以被加载到部件载架中。可以控制马达机构以使部件载架旋转。所蒸发的源材料可以沉积在部件载架中的部件上。可以部分地通过控制电源来控制沉积的速率。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】使用绳状细丝来蒸发和沉积材料的设备和方法本申请要求美国临时申请62/162,899的优先权，该美国临时申请的全部内容通过引用的方式并入本文。
所公开的本专利技术总体上涉及真空沉积系统领域，具体涉及用于使诸如铝和其它金属及合金的材料蒸发的设备和方法。
技术介绍
本专利技术涉及使用细丝进行蒸发和沉积的设备和方法。先前已知的细丝蒸发装置使用连接在电极之间并且并联布设的多根细丝，类似于并联布设的多个电阻器。并联式细丝设计的一个限制是各根细丝可能具有不同的工作寿命。当一根细丝断开或需要更新时，只更换那一根细丝。然而，更换的细丝通常具有与其余尚未更换但已使用的细丝不同的电阻，这可能会导致不一致的涂覆结果、不能销售或使用的发黄的或烧焦/变黑的部分。并联式细丝设计的另一个限制是每一根细丝都需要一套自身的连接件和/或张紧装置，每个连接件和/或张紧装置都是潜在的故障点。多根细丝式模型存在的其它限制是：各个细丝通常安装在安装座中并通过高张力弹簧保持就位。更换单根细丝或多根细丝是劳动密集型的，因为难以释放并重新接合高张力弹簧。更换过程进一步受到各个细丝两端之间的有限空间的阻碍。专利技术内容所公开的本专利技术本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于蒸发涂覆的设备，包括：蒸发腔室；至少一个部件载架，所述至少一个部件载架被定位在所述蒸发腔室内；绳状细丝，所述绳状细丝具有第一端和第二端，所述绳状细丝被靠近所述部件载架定位；源材料，所述源材料与所述绳状细丝接触；第一连接器，所述第一连接器适于保持所述绳状细丝的所述第一端，以向所述绳状细丝提供电流；第二连接器，所述第二连接器适于保持所述绳状细丝的所述第二端；以及电力返回件，所述电力返回件连接到电源并连接到所述第二连接器。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.05.18 US 62/162,8991.一种用于蒸发涂覆的设备，包括：蒸发腔室；至少一个部件载架，所述至少一个部件载架被定位在所述蒸发腔室内；绳状细丝，所述绳状细丝具有第一端和第二端，所述绳状细丝被靠近所述部件载架定位；源材料，所述源材料与所述绳状细丝接触；第一连接器，所述第一连接器适于保持所述绳状细丝的所述第一端，以向所述绳状细丝提供电流；第二连接器，所述第二连接器适于保持所述绳状细丝的所述第二端；以及电力返回件，所述电力返回件连接到电源并连接到所述第二连接器。2.根据权利要求1所述的设备，其中，所述源材料包括金属。3.根据权利要求1所述的设备，包括围绕所述绳状细丝布置的多个所述旋转部件载架。4.根据权利要求3所述的设备，还包括行星齿轮组，所述行星齿轮组适于允许所述旋转部件载架围绕所述绳状细丝旋转，同时所述部件载架独立地旋转。5.根据权利要求1所述的设备，其中，所述第一连接器和所述第二连接器是t形联接器。6.根据权利要求4所述的设备，其中，至少一个所述t形联接器适于附接到弹簧张紧装置，所述弹簧张紧装置适于在所述绳状细丝的长度由于蒸发而改变时维持所述绳状细丝上的张力。7.根据权利要求1所述的设备，其中，所述绳状细丝包括股线，所述股线包括被绞合或编织在一起的多根纱线。8.根据权利要求1所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗伯特·W·肖凯特，
申请(专利权)人：野马真空系统公司，
类型：发明
国别省市：美国,US