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一种用于将材料蒸发并沉积到基板上的设备和方法。源材料可以附接到真空腔室内的绳状细丝。可以控制一个机构以加热绳状细丝并使源材料蒸发。待涂覆的部件可以被加载到部件载架中。可以控制马达机构以使部件载架旋转。所蒸发的源材料可以沉积在部件载架中的部件...
该专利属于野马真空系统公司所有，仅供学习研究参考，未经过野马真空系统公司授权不得商用。

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