【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于微电感制作
,特别地涉及基于3D打印制备微电感的方法。
技术介绍
在过去的几十年里,半导体信息技术的飞速发展促使电子产品向高集成度、微型化、智能化、低功耗等方向发展,最终的目标是将各种功能单元实现在一个单一的芯片上。目前4G、5G移动通讯以及物联网技术的推广与发展,电源管理和高速数据传输对IC集成电路的要求也愈来愈高。微电感作为IC集成电路中不可或缺的无源感性器件,能够将电能转换成磁能,可以实现交流信号的“低通高阻”,逐步应用于智能电器中的电源能量管理(如功率电感)、生物医疗(用于能量传输的微型电感)、无线通信电路(如射频收发电路中的滤波器压控振动器、混频器、功率放大器和低噪声放大器等模块中。目前传统的片外分立式电感器件,在电子电路中占去了很大比例空间,生产成本较高,另外其管脚引线还引来了额外的寄生损耗,已不能满足现在人们对于电子产品高集成度、低功耗和高性能的需求。微电感主要包括三个部分:衬底、线圈和磁性材料层。根据空间结构,微电感线圈又分为平面式微电感和三维立体微电感。微电感的主要的性能指标包括电感量L、品质因子Q、截止频率f0和适宜工作频率fmax。为了解决传统平面螺线电感电感量L和品质因子Q较低的问题,目前研究手段主要包括:(1)采用悬浮、三维立体结构或厚绝缘层将电感线圈同衬底隔离,或利用CMOS多层布线工艺将金属导线构制成层叠的螺旋线圈结构设计用特殊衬底材料,从而达到减小衬底涡流和漏电损耗的目 ...
【技术保护点】
一种基于3D打印制备微电感的方法,其特征在于,所述微电感为立体电感,该制备方法包括以下步骤:1)采用第一3D打印喷头按照预先设定的程序在衬底上打印微电感的底层金属微电感线圈;2)用激光对打印的底层金属微电感线圈进行烧结;3)在底层金属微电感线圈采用PECVD生长一层绝缘材料,作为微电感线圈层与层之间的隔绝,重复步骤1)‑3)制作一层出预先设定的多层立体金属微电感线圈;4)在制成的金属微电感线圈的中间部分采用第二3D打印喷头按照预先设定的程序打印出铁磁性材料体;5)采用激光对铁磁性材料体进行烧结,同时按预先设定的方向施加磁场对铁磁性材料圆柱体进行磁化,使铁氧体材料晶化,磁矩取向排列统一,以有利于提高铁氧体材料的磁导率和饱和磁化强度,所述第一3D打印喷头内装有金属粉,所述第二3D打印喷头内装有铁磁性材料粉。
【技术特征摘要】
1.一种基于3D打印制备微电感的方法,其特征在于,所述微电感为立体电感,该制
备方法包括以下步骤:
1)采用第一3D打印喷头按照预先设定的程序在衬底上打印微电感的底层金属微电感
线圈;
2)用激光对打印的底层金属微电感线圈进行烧结;
3)在底层金属微电感线圈采用PECVD生长一层绝缘材料,作为微电感线圈层与层之
间的隔绝,重复步骤1)-3)制作一层出预先设定的多层立体金属微电感线圈;
4)在制成的金属微电感线圈的中间部分采用第二3D打印喷头按照预先设定的程序打
印出铁磁性材料体;
5)采用激光对铁磁性材料体进行烧结,同时按预先设定的方向施加磁场对铁磁性材
料圆柱体进行磁化,使铁氧体材料晶化,磁矩取向排列统一,以有利于提高铁氧体材料的
磁导率和饱和磁化强度,所述第一3D打印喷头内装有金属粉,所述第二3D打印喷头内装
有铁磁性材料粉。
2.一种基于3D打印制备微电感的方法,其特征在于,所述微电感为立体微电感,该
制备方法包括以下步骤:
1)在高阻Si衬底上沉积500nm的SiO2薄膜;
2)采用电子束蒸发沉积50nm的Ti/Au作为缓冲层和种子层,以改善微电感线圈与衬
底的结合;
3)采用第一3D打印喷头和第二3D打印喷头,同时、交替或分别打印金属微电感线
圈和铁氧体材料体,并使铁磁性材料体包围在微电感线圈的周围;
4)在打印铁磁性材料的同时对铁磁材料进行烧结同时采用施加同方向外磁场,使铁
氧体材料晶化,磁矩取向排列统一,有利于提高铁氧体材料的磁导率和饱和磁化强度。
3.一种基于3D打印制备微电感的方法,其特征在于,所述微电感为平面微电感,该
制备方法包括以下步骤:
1)首先在高阻Si衬底上沉积500nm的SiO2薄膜;
2)然后采用电子束蒸发沉积50nmTi/Au作为缓冲层和种子层,改善微电感线圈与衬
底的结合;
3)随后沉积金属材料Cu薄膜作为微电感线圈;
4)利用MEMS工艺将金属Cu薄膜加工成微电感线圈以及电极;
5)利用第二3D打印喷头在微电感线圈的上方区域打印铁磁性材料;
6)激光进行对铁磁材...
【专利技术属性】
技术研发人员:任天令,刘厚方,王刚,邱皓川,李晓宁,杨轶,
申请(专利权)人:清华大学,
类型:发明
国别省市:北京;11
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