玻璃膜的制造方法以及包含玻璃膜的电子设备的制造方法技术

在从支承体(1)剥离玻璃膜(2)时，在支承体(1)的从玻璃膜(2)伸出的角部(4)设置支承支承体(1)的第一支点(P1)，并在与第一支点(P1)分离开的位置设置支承层叠体(3)的第二支点(P2)。而且，通过外力赋予构件(18)在第一支点(P1)与第二支点(P2)之间设置外力(F)的作用点，从而以在支承体(1)侧产生凹部(3c)的方式使层叠体(3)的一部分变形为凹状。然后，通过在层叠体(3)的一部分变形为凹状的期间，向玻璃膜(2)与支承体(1)之间插入楔状构件(19)，从而从支承体(1)剥离玻璃膜(2)的一部分。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】玻璃膜的制造方法以及包含玻璃膜的电子设备的制造方法
本专利技术涉及玻璃膜的制造方法以及包含玻璃膜的电子设备的制造方法，尤其涉及用于从支承体剥离玻璃膜的技术。
技术介绍
近年来，从省空间化的观点出发，代替以往普及的CRT型显示器，液晶显示器、等离子体显示器、有机EL显示器、场发射显示器等平板显示器逐渐普及。并且，这些平板显示器谋求进一步的薄型化。特别是，在有机EL显示器、有机EL照明中，利用其厚度尺寸非常小(薄)的情况，从而使其具有能够折叠或卷绕这样的功能。由此，不仅便于携带，而且除以往的平面状态以外还能够实现曲面状态下的使用，因此期待灵活应用于各种各样的用途。因此，这些电子设备所使用的玻璃基板、玻璃罩也要求挠性的进一步提高。为了对玻璃基板赋予挠性，使玻璃基板薄壁化是有效的。在此，例如在专利文献1中，提出了厚度尺寸为200μm以下的玻璃膜，由此，能够对玻璃基板赋予能够实现曲面状态下的使用的程度高的挠性。另一方面，对平板显示器、太阳能电池等电子设备所使用的玻璃基板实施二次加工、清洗等各种各样的电子设备制造相关处理。然而，当使这些电子设备所使用的玻璃基板薄壁化时，由于玻璃是脆性材料，因此产生即便是略微的应力变化也会导致破损的情况，在进行电子设备制造相关处理时，存在操作非常困难这样的问题。此外，厚度尺寸为200μm以下的玻璃膜富有挠性，因此还存在在实施各种制造相关处理时难以进行定位(例如在进行图案化时产生偏移)这样的问题。关于上述问题，例如如专利文献2所示，提出了将玻璃膜和支承该玻璃膜的支承玻璃层叠并相互固定而成的层叠体。若对该层叠体实施各种制造相关处理，则即使在使用在单体的情况下缺乏强度、刚性的玻璃膜的情况下，支承玻璃也作为加强材料而发挥作用，因此在进行各处理时作为层叠体而能够容易地进行定位。另外，在处理结束后，通过将支承玻璃从玻璃膜剥离，能够最终仅得到实施了所需的处理的玻璃膜。进一步进行说明，通过将包含玻璃膜的层叠体的厚度尺寸设为与以往(现有)的玻璃基板的厚度尺寸相同，能够期待可将以往的玻璃基板用的生产线用(共用)作电子设备用生产线的优点。另一方面，在各种制造相关处理中，也存在透明的导电膜的成膜处理、密封处理等伴随有加热的处理。在对上述结构的层叠体实施伴随有加热的处理的情况下，处于直接或者经由树脂层、无机薄膜层等而间接地紧贴的状态下的支承玻璃和玻璃膜的固定力增加，因此产生难以从支承玻璃剥离玻璃膜这样的问题。为了解决上述问题，例如在专利文献3中提出了如下的方法：在从玻璃基板上紧贴有固定于支承玻璃基板且具有易剥离性的树脂层的带支承体的电子设备剥离由支承玻璃基板以及树脂层构成的支承体时，向支承体的树脂层和玻璃基板的界面插入刀具，由此从包含玻璃基板的电子设备剥离支承体。另外，为了解决上述问题，例如在专利文献4中提出了如下的玻璃膜层叠体：支承玻璃以从玻璃膜伸出的方式层叠，在支承玻璃的端边设置有薄壁部，玻璃膜的端边的至少一部分在薄壁部上与支承玻璃分离开。在先技术文献专利文献专利文献1：日本特开2010-132531号公报专利文献2：国际公开2011/048979号专利文献3：日本特开2013-147325号公报专利文献4：日本特开2012-131664号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题然而，在如专利文献3所记载那样，想要通过向玻璃膜与支承体之间插入刀具来开始剥离的情况下，需要每次检查插入刀具的位置，并根据检测结果来使刀具移动。因此，所需的机构复杂化。另外，在玻璃膜和支承体在直至其端部的范围内相互紧贴的情况下，在玻璃膜与支承体的界面不存在插入刀具的间隙，需要以较强的力将刀具压入界面。在像这样将刀具压入界面的情况下，可能因作用于玻璃膜的压入力而导致玻璃膜的端部破损。另一方面，在专利文献4中，在支承玻璃的端部设置有薄壁部，玻璃膜的端边的一部分在该薄壁部上与支承玻璃分离开，因此认为能够容易地把持玻璃膜，能够在不使玻璃膜破损的情况下比较容易地剥离。然而，若采用该方法，则需要预先对支承玻璃的一部分实施特殊的加工，加工成本提高。另外，有时在电子设备的制造相关处理中使用药液等溶剂，若在层叠体的状态下在玻璃膜与支承玻璃之间存在有间隙，则存在因溶剂进入该间隙并固着，从而存在在从支承玻璃剥离玻璃膜时玻璃膜发生破损等问题，因此存在能够应用的范围有限这样的问题。鉴于以上的情况，在本说明书中，将与制造相关处理的种类无关地简单且低成本地从支承体剥离玻璃膜作为本专利技术所要解决的第一技术课题。另外，鉴于以上的情况，在本说明书中，将与制造相关处理的种类无关地简单且低成本地从支承体剥离包含玻璃膜的电子设备作为本专利技术所要解决的第二技术课题。用于解决课题的手段所述第一技术课题的解决通过本专利技术所涉及的玻璃膜的制造方法来实现。即，该制造方法涉及一种玻璃膜的制造方法，其具备：层叠体形成工序，在该层叠体形成工序中，将玻璃膜与支承玻璃膜的支承体以支承体从玻璃膜伸出的方式层叠，从而形成包含玻璃膜的层叠体；制造相关处理工序，在该制造相关处理工序中，对层叠体实施制造相关处理；以及剥离工序，在制造相关处理工序之后，在该剥离工序中，从支承体剥离玻璃膜，玻璃膜的制造方法的特征在于，剥离工序具有：剥离起点部制作工序，在该剥离起点部制作工序中，从支承体剥离玻璃膜的一部分，来制作成为在玻璃膜的整面上剥离玻璃膜时的起点的剥离起点部；和剥离推进工序，在该剥离推进工序中，以剥离起点部作为起点推进玻璃膜从支承体剥离，剥离起点部制作工序具有：支点形成工序，在该支点形成工序中，在支承体的从玻璃膜伸出的角部设置支承支承体的第一支点，并且在与第一支点分离开的位置设置支承层叠体的第二支点；凹状变形工序，在该凹状变形工序中，在第一支点与第二支点之间设置由外力赋予构件进行作用的外力的作用点，由此以在支承体侧产生凹部的方式使层叠体的一部分变形为凹状；以及插入工序，在该插入工序中，在层叠体的一部分变形为凹状的期间，向玻璃膜与支承体之间插入插入构件，从而剥离玻璃膜的一部分。需要说明的是，这里所说的“制造相关处理”当然包括直接对玻璃膜实施某种加工的处理，还广泛包括其他构件的安装、玻璃膜表面的清洗等、用于间接地使玻璃膜或者包含玻璃膜的设备接近最终产品(出厂状态)的处理。在本专利技术中，通过在从玻璃膜伸出的支承体的角部设置第一支点，并且在与第一支点分离开的位置设置第二支点，且在上述双方的支点之间设置外力的作用点，从而使层叠体的一部分变形为凹状，因此能够使上述层叠体的一部分以比以往大的曲率变形。由此，能够提高因支承体与玻璃膜之间的曲率的不同而产生的剪切力，在之后的插入工序中，能够容易地从支承体剥离玻璃膜的一部分。另外，通过以在支承体侧产生凹部的方式使层叠体的一部分变形为凹状，从而在层叠体的凹状变形时，在容易形成为比玻璃膜厚壁(厚度尺寸的限制少)的支承体侧作用有较大的弯曲应力(压缩应力)。由此，能够避免玻璃膜和支承体上作用有过大的负载的情况，从而防止玻璃膜和支承体的破损。另外，在使层叠体的一部分变形为凹状后将插入构件插入支承体与玻璃膜之间，因此在插入有插入构件的期间不增大层叠体的变形量也没有问题。因此，由此也能够避免玻璃膜和支承体上作用有过大的负荷的情况，从而防止在制作剥离起点部时玻璃膜和支承体破损。另外，在本专利技术所涉本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种玻璃膜的制造方法，其具备：层叠体形成工序，在该层叠体形成工序中，将玻璃膜与支承所述玻璃膜的支承体以所述支承体从所述玻璃膜伸出的方式层叠，从而形成包含所述玻璃膜的层叠体；制造相关处理工序，在该制造相关处理工序中，对所述层叠体实施制造相关处理；以及剥离工序，在所述制造相关处理工序之后，在该剥离工序中，从所述支承体剥离所述玻璃膜，所述玻璃膜的制造方法的特征在于，所述剥离工序具有：剥离起点部制作工序，在该剥离起点部制作工序中，从所述支承体剥离所述玻璃膜的一部分，来制作成为在所述玻璃膜的整面上剥离所述玻璃膜时的起点的剥离起点部；和剥离推进工序，在该剥离推进工序中，以所述剥离起点部作为起点推进所述玻璃膜从所述支承体剥离，所述剥离起点部制作工序具有：支点形成工序，在该支点形成工序中，在所述支承体的从所述玻璃膜伸出的角部设置支承所述支承体的第一支点，并且在与所述第一支点分离开的位置设置支承所述层叠体的第二支点；凹状变形工序，在该凹状变形工序中，在所述第一支点与所述第二支点之间设置由外力赋予构件进行作用的外力的作用点，由此以在所述支承体侧产生凹部的方式使所述层叠体的一部分变形为凹状；以及插入工序，在该插入工序中，在所述层叠体的一部分变形为凹状的期间，向所述玻璃膜与所述支承体之间插入插入构件，从而剥离所述玻璃膜的一部分。...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.07.24 JP 2015-1469541.一种玻璃膜的制造方法，其具备：层叠体形成工序，在该层叠体形成工序中，将玻璃膜与支承所述玻璃膜的支承体以所述支承体从所述玻璃膜伸出的方式层叠，从而形成包含所述玻璃膜的层叠体；制造相关处理工序，在该制造相关处理工序中，对所述层叠体实施制造相关处理；以及剥离工序，在所述制造相关处理工序之后，在该剥离工序中，从所述支承体剥离所述玻璃膜，所述玻璃膜的制造方法的特征在于，所述剥离工序具有：剥离起点部制作工序，在该剥离起点部制作工序中，从所述支承体剥离所述玻璃膜的一部分，来制作成为在所述玻璃膜的整面上剥离所述玻璃膜时的起点的剥离起点部；和剥离推进工序，在该剥离推进工序中，以所述剥离起点部作为起点推进所述玻璃膜从所述支承体剥离，所述剥离起点部制作工序具有：支点形成工序，在该支点形成工序中，在所述支承体的从所述玻璃膜伸出的角部设置支承所述支承体的第一支点，并且在与所述第一支点分离开的位置设置支承所述层叠体的第二支点；凹状变形工序，在该凹状变形工序中，在所述第一支点与所述第二支点之间设置由外力赋予构件进行作用的外力的作用点，由此以在所述支承体侧产生凹部的方式使所述层叠体的一部分变形为凹状；以及插入工序，在该插入工序中，在所述层叠体的一部分变形为凹状的期间，向所述玻璃膜与所述支承体之间插入插入构件，从而剥离所述玻璃膜的一部分。2.根据权利要求1所述的玻璃膜的制造方法，其中，以所述支承体处于上侧而所述玻璃膜处于下侧的方式将所述层叠体载置于载置台，且使所述支承体的至少角部从所述载置台的载置面伸出，利用所述载置面的端部设置所述第二支点。3.根据权利要求1或2所述的玻璃膜的制造方法，其中，利用所述插入构件设置所述第一支点。4.根据权利要求1至3中任一项所述的玻璃膜的制造方法，其中，作为所述外力赋予构件而使用吸附构件，由所述吸附构件从所述玻璃膜侧对所述第一支点与所述第二支点之间进行吸附，并使所述吸附构件向远离所述支承体的方向移动。5.根据权利要求1至3中任一项所述的玻璃膜的制造方法，其中，作为所述外力赋予构件而使用按压构件，由所述按压构件从所述支承体侧朝向所述玻璃膜侧对所述第一支点与所述第二支点之间进行按压。6.根据权利要求1至5中任一项所述的玻璃膜的制造方法，其中，作为所...

【专利技术属性】
技术研发人员：山崎康夫，南贵博，飨场久敏，冈隆雄，藤田崇，
申请(专利权)人：日本电气硝子株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP