多功能连接法兰制造技术

本实用新型专利技术提供一种多功能连接法兰，包括第一法兰和第二法兰，第一法兰包括具有中心通孔的第一法兰盘，第一法兰盘上周向均布多个第一连接孔，第二法兰包括具有中心通孔的第二法兰盘，第二法兰盘的两端面均为密封面，第二法兰盘上的至少两个同心圆上分别均布多个第二连接孔，且同心圆的圆心为第二法兰盘的中心，其中一个同心圆上的第二连接孔与所述第一连接孔相匹配。本实用新型专利技术使AZO磁控溅射的腔体能够连接多种真空泵，扩大了设备的适用范围，节省了生产成本，从而使生产线具有更大的灵活性和更大的利用价值。

Multifunction connection flange

The utility model provides a multifunctional connecting flange, which comprises a first flange and the second flange, the first flange comprises a first flange of the center hole, the first flange circumferential distributed with a plurality of first connection holes, second flange includes a second flange center hole, two end surfaces of second flanges are sealed second, on the flange of at least two concentric circles are respectively distributed with a plurality of second connecting holes, the center and the center of the concentric circles of second flanges, one of the second concentric circles on the connecting hole and the first connecting holes matching. The utility model enables the AZO magnetron sputtering chamber to connect various vacuum pumps, enlarges the application scope of the equipment, saves the production cost, and makes the production line more flexible and of greater use value.

【技术实现步骤摘要】
多功能连接法兰
本技术涉及法兰连接技术，特别是涉及一种多功能连接法兰。
技术介绍
最近几年，由于太阳能是一种取之不尽用之不竭的新能源，关于太阳能的产品和技术得到了长足的进步与发展。CIGS薄膜太阳能电池是全球光伏领域的开创性成果，是新一代最具竞争力的商业化薄膜太阳能电池，具有电池性能稳定、抗辐照性能好、制造成本低、转换效率高等优点。CIGS生产线包括很多工艺过程，其核心设备是镀膜设备。镀膜设备主要采用磁控溅射镀膜和蒸发镀膜的方法，这些镀膜方法都需要在真空环境下进行。前电极透明导电氧化物——AZO的生产工艺是采用的磁控溅射技术。AZO磁控溅射需要在一腔体内完成，腔体内良好、稳定的真空度是开展AZO磁控溅射工艺的重要条件。在实际生产中，需要使用不同等级的真空泵对该腔体抽真空。由于不同等级的真空泵的泵体法兰不同，腔体亦需要设计不同的法兰连接，使腔体能够与不同等级的真空泵密封相连。然而，腔体的体积较大，造价较高，一旦加工完成，很难改造。
技术实现思路
鉴于以上所述现有技术的缺点，本技术要解决的技术问题在于提供一种多功能连接法兰，使AZO磁控溅射的腔体能够连接多种真空泵，扩大了设备的适用范围，节省了生产成本，从而使生产线具有更大的灵活性和更大的利用价值。为了解决上述技术问题，本技术提供一种多功能连接法兰，包括第一法兰和第二法兰，第一法兰包括具有中心通孔的第一法兰盘，第一法兰盘上周向均布多个第一连接孔，第二法兰包括具有中心通孔的第二法兰盘，第二法兰盘的两端面均为密封面，第二法兰盘上的至少两个同心圆上分别均布多个第二连接孔，且同心圆的圆心为第二法兰盘的中心，其中一个同心圆上的第二连接孔与所述第一连接孔相匹配。优选地，除了与所述第一连接孔相匹配的第二连接孔外，剩余的第二连接孔均为螺纹盲孔。优选地，所述第一法兰盘的一端面为密封面，第一法兰盘的另一端面设有由中心通孔的孔壁沿轴向延伸形成的连接管。优选地，所述第一法兰盘的密封面的粗糙度为1.6～3.2μm。优选地，所述第二法兰盘的两密封面的粗糙度均为1.6～3.2μm。优选地，还包括设在所述第二法兰盘上的O型密封圈。优选地，所述第二法兰盘的密封面上设有用于安装所述O型密封圈的环形槽。优选地，在所述同心圆中最小圆的直径大于所述环形槽的直径。优选地，在所述同心圆中最大圆的直径等于所述第一连接孔的中心圆直径。如上所述，本技术的多功能连接法兰，具有以下有益效果：本技术的第一法兰使AZO磁控溅射的腔体能够与一种真空泵的泵体法兰相连，对应相连后的第一法兰和第二法兰使上述腔体能够与多种真空泵的泵体法兰相连；本技术扩大了上述腔体的适用范围，节省了生产成本，从而使生产线具有更大的灵活性和更大的利用价值。附图说明图1显示为本技术的多功能连接法兰的装配示意图；图2显示为第一法兰的示意图；图3显示为第二法兰的示意图。元件标号说明1第一法兰11第一法兰盘12第一连接孔13连接管2第二法兰21第二法兰盘22第二连接孔221螺纹盲孔23环形槽3真空泵31泵体法兰4腔体D12第一连接孔的中心圆直径D221在同心圆中最大圆的直径D222在同心圆中最小圆的直径D23环形槽的直径具体实施方式以下由特定的具体实施例说明本技术的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本技术的其他优点及功效。请参阅图1至图3。须知，本说明书所附图中所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本技术可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本技术所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本技术所揭示的
技术实现思路
所能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本技术可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更
技术实现思路
下，当亦视为本技术可实施的范畴。如图1、图2、图3所示，本技术提供一种多功能连接法兰，包括第一法兰1和第二法兰2，第一法兰1包括具有中心通孔的第一法兰盘11，第一法兰盘11上周向均布多个第一连接孔12，第二法兰2包括具有中心通孔的第二法兰盘21，第二法兰盘21的两端面均为密封面，第二法兰盘21上的至少两个同心圆上分别均布多个第二连接孔22，且同心圆的圆心为第二法兰盘21的中心，其中一个同心圆上的第二连接孔22与所述第一连接孔12相匹配。上述实施例的第一法兰1使AZO磁控溅射的腔体能够与一种真空泵3的泵体法兰31相连，对应相连后的第一法兰1和第二法兰2使上述腔体能够与多种真空泵3的泵体法兰31相连。上述实施例扩大了上述腔体的适用范围，节省了生产成本，从而使生产线具有更大的灵活性和更大的利用价值。如图1所示，使用上述实施例时，将第一法兰1与上述腔体4密封焊接，并且第一法兰盘11的中心通孔与腔体4的内腔相通。第一法兰盘11的第一连接孔12与一种真空泵3的泵体法兰31的连接孔相匹配。将真空泵3连接到与之匹配的第一连接孔12后，真空泵3对腔体4抽真空。当上述腔体4需要与其他真空泵3相连时，再将第二法兰2通过紧固件与第一法兰1相连，即一个同心圆上的第二连接孔22通过紧固件与第一连接孔12相连。第二法兰盘21上的其他同心圆上的第二连接孔22分别匹配一种真空泵3的泵体法兰31的连接孔。将需要使用的真空泵3连接到与之匹配的第二连接孔22后，真空泵3对腔体4抽真空。除了与上述第一连接孔相匹配的第二连接孔22外，剩余的第二连接孔22均为螺纹盲孔221。上述螺纹盲孔用于连接真空泵3的泵体法兰31，螺纹盲孔既能保证第二法兰盘21的结构强度，又便于真空泵3的泵体法兰31通过螺钉与第二法兰2相连。上述第一法兰盘11的一端面为密封面，第一法兰盘11的另一端面设有由中心通孔的孔壁沿轴向延伸形成的连接管13，第一法兰1通过连接管13与腔体4密封焊接，焊接方便。为了保证密封效果，上述第一法兰盘11的密封面的粗糙度为1.6～3.2μm；上述第二法兰盘21的两密封面的粗糙度均为1.6～3.2μm。为了进一步提高密封效果，还包括设在上述第二法兰盘21上的O型密封圈。上述第二法兰盘21的密封面上设有用于安装上述O型密封圈的环形槽23，这样便于安装O型密封圈。在上述同心圆中最小圆的直径D222大于上述环形槽的直径D23。环形槽23设置在同心圆的最小圆内，从而使O型密封圈设置在同心圆的最小圆内，保证了第一法兰1和第二法兰2之间的密封性。另外，环形槽23和同心圆上的第二连接孔22分别位于第二法兰盘21的径向的不同部位，保证了第二法兰盘21的强度。在上述同心圆中最大圆的直径D221等于上述第一连接孔的中心圆直径D12，便于连接第一法兰1和第二法兰2。综上所述，本技术使腔体能够连接多种真空泵，扩大了设备的适用范围，节省了生产成本，从而使生产线具有更大的灵活性和更大的利用价值。所以，本技术有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。上述实施例仅例示性说明本技术的原理及其功效，而非用于限制本技术。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本技术的精神及范畴下，对上述实施例进行本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种多功能连接法兰，其特征在于：包括第一法兰(1)和第二法兰(2)，第一法兰(1)包括具有中心通孔的第一法兰盘(11)，第一法兰盘(11)上周向均布多个第一连接孔(12)，第二法兰(2)包括具有中心通孔的第二法兰盘(21)，第二法兰盘(21)的两端面均为密封面，第二法兰盘(21)上的至少两个同心圆上分别均布多个第二连接孔(22)，且同心圆的圆心为第二法兰盘(21)的中心，其中一个同心圆上的第二连接孔(22)与所述第一连接孔(12)相匹配。

【技术特征摘要】
1.一种多功能连接法兰，其特征在于：包括第一法兰(1)和第二法兰(2)，第一法兰(1)包括具有中心通孔的第一法兰盘(11)，第一法兰盘(11)上周向均布多个第一连接孔(12)，第二法兰(2)包括具有中心通孔的第二法兰盘(21)，第二法兰盘(21)的两端面均为密封面，第二法兰盘(21)上的至少两个同心圆上分别均布多个第二连接孔(22)，且同心圆的圆心为第二法兰盘(21)的中心，其中一个同心圆上的第二连接孔(22)与所述第一连接孔(12)相匹配。2.根据权利要求1所述的多功能连接法兰，其特征在于：除了与所述第一连接孔相匹配的第二连接孔(22)外，剩余的第二连接孔(22)均为螺纹盲孔(221)。3.根据权利要求1所述的多功能连接法兰，其特征在于：所述第一法兰盘(11)的一端面为密封面，第一法兰盘(11)的另一端面设有由中心通孔的孔壁沿...

【专利技术属性】
技术研发人员：夏申江，王贝，张超群，葛治亮，井治，王程，
申请(专利权)人：中国建材国际工程集团有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31