一种测试装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种测试装置，包括：测试机台、测试电路板、待测器件；测试机台用于为测试电路板提供测试电源和测试信号；测试电路板包括多个测试模块，每个测试模块包括电流测试通道和电容测试通道；电流测试通道的两端分别与测试机台和待测器件电连接，电流测试通道用于在测试机台的作用下检测待测器件的漏电电流；电容测试通道的两端分别与测试机台和待测器件电连接，电容测试通道用于在测试机台的作用下检测待测器件的电容。由于测试电路板中包括多个测试模块，并且每个测试模块均包括电流测试通道和电容测试通道，通过在每个测试模块上连接一个待测器件便能实现同时测量多个待测器件的漏电电流和电容，提高了测试效率。

【技术实现步骤摘要】
一种测试装置
本技术涉及半导体生产
，尤其涉及一种测试装置。
技术介绍
微型机电系统(MicroelectromechanicalSystems，简称MEMS)芯片是基于MEMS技术制造的芯片。随着信息技术(InformationTechnology，简称IT)的日益发展，MEMS芯片所占比重越来越大，被广泛应用于移动设备。因此，对MEMS芯片量产测试也提出了更高的要求。MEMS芯片晶圆级测试除了常规测试外，主要难点在于其集成的微小电容测试，这部分测试包括两部分：振膜与地之间漏电流测试及不同电压下电容测试。目前，这部分测试主要通过独立仪表完成，其中，漏电流测试通过高压源表完成，电容测试通过高压源表配合LRC测试仪完成。但是通过独立仪表进行漏电流测试及电容测试时，不能在同时对多个MEMS芯片进行测试，测试效率低。
技术实现思路
本技术提供一种测试装置，用于解决现有技术中通过独立仪表进行漏电流测试及电容测试时测试效率低的问题。本技术提供了一种测试装置，包括：测试机台、测试电路板、待测器件；所述测试机台，用于为所述测试电路板提供测试电源和测试信号；所述测试电路板包括多个测试模块，每个测试模块本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种测试装置，其特征在于，包括：测试机台、测试电路板、待测器件；所述测试机台，用于为所述测试电路板提供测试电源和测试信号；所述测试电路板包括多个测试模块，每个测试模块包括电流测试通道和电容测试通道；所述电流测试通道的一端与所述测试机台电连接，所述电流测试通道的另一端与待测器件电连接，所述电流测试通道用于在所述测试机台的作用下检测所述待测器件的漏电电流；所述电容测试通道的一端与所述测试机台电连接，所述电容测试通道的另一端与所述待测器件电连接，所述电容测试通道用于在所述测试机台的作用下检测所述待测器件的电容。

【技术特征摘要】
1.一种测试装置，其特征在于，包括：测试机台、测试电路板、待测器件；所述测试机台，用于为所述测试电路板提供测试电源和测试信号；所述测试电路板包括多个测试模块，每个测试模块包括电流测试通道和电容测试通道；所述电流测试通道的一端与所述测试机台电连接，所述电流测试通道的另一端与待测器件电连接，所述电流测试通道用于在所述测试机台的作用下检测所述待测器件的漏电电流；所述电容测试通道的一端与所述测试机台电连接，所述电容测试通道的另一端与所述待测器件电连接，所述电容测试通道用于在所述测试机台的作用下检测所述待测器件的电容。2.如权利要求1所述的测试装置，其特征在于，所述测试机台包括电源仪表、信号发生器、信号采集器；所述电源仪表与所述电流测试通道连接，用于为所述电流测试通道提供测试电源，并通过检测所述电流测试通道中的电流确定所述待测器件的漏电电流；所述信号发生器与所述电容测试通道连接，用于为所述电容测试通道提供测试信号；所述信号采集器与所述电容测试通道连接，用于采集所述电容测试通道输出的测试信号，并根据采集的测试信号确定所述待测器件的电容。3.如权利要求2所述的测试装置，其特征在于，所述电容测试通道包括第一子测试通道和第二子测试通道；所述第一子测试通道为所述信号发生器与所述信号采集器之间的通路；所述第一子测试通道，用于采集所述信号发生器产生的测试信号的第一幅度值；所述第二子测试通道的一端与所述信号发生器电连接，经所述待测器件后，所述第二子测试通道的另一端与所述信号采集器电连接；所述第二子测试通道，用于在所述测试电路板与所述待测器件连接时采集所述信号发生器产生的测试信号经所述待测器件后的第二幅度值，还用于在所述测试电路板与所述待测器件未连接时采集所述信号发生器产生的测试信号经所述测试电路板的第三幅度值。4.如权利要求3所述的测试装置，其特征在于，所述电流测试通道包括第一开关和第二开关；所述第一开关的一端与所述电源仪表连接，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：周文君，赵永昌，谷陈鹏，鲁斌，
申请(专利权)人：嘉兴鹏武电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31