一种测试装置制造方法及图纸

本发明专利技术实施例提供一种测试装置，包括：测试机台、测试电路板、待测器件；测试机台用于为测试电路板提供测试电源和测试信号；测试电路板包括多个测试模块，每个测试模块包括电流测试通道和电容测试通道；电流测试通道的两端分别与测试机台和待测器件电连接，电流测试通道用于在测试机台的作用下检测待测器件的漏电电流；电容测试通道的两端分别与测试机台和待测器件电连接，电容测试通道用于在测试机台的作用下检测待测器件的电容。由于测试电路板中包括多个测试模块，并且每个测试模块均包括电流测试通道和电容测试通道，通过在每个测试模块上连接一个待测器件便能实现同时测量多个待测器件的漏电电流和电容，提高了测试效率。

A Testing Device

The embodiment of the invention provides a test device, which includes: a test stand, a test circuit board and a device to be tested; a test stand is used to provide a test power supply and test signal for the test circuit board; a test circuit board includes a plurality of test modules, each of which includes a current test channel and a capacitance test channel; two ends of the current test channel are respectively connected with the test stand and the device to be tested. The current test channel is used to detect the leakage current of the device under the action of the tester; the two ends of the capacitance test channel are electrically connected with the tester and the device under test, and the capacitance test channel is used to detect the capacitance of the device under the action of the tester. Because the test circuit board includes many test modules, and each test module includes current test channel and capacitance test channel, the leakage current and capacitance of multiple devices can be measured simultaneously by connecting one device to each test module, which improves the test efficiency.

【技术实现步骤摘要】
一种测试装置
本专利技术实施例涉及半导体生产
，尤其涉及一种测试装置。
技术介绍
微型机电系统(MicroelectromechanicalSystems，简称MEMS)芯片是基于MEMS技术制造的芯片。随着信息技术(InformationTechnology，简称IT)的日益发展，MEMS芯片所占比重越来越大，被广泛应用于移动设备。因此，对MEMS芯片量产测试也提出了更高的要求。MEMS芯片晶圆级测试除了常规测试外，主要难点在于其集成的微小电容测试，这部分测试包括两部分：振膜与地之间漏电流测试及不同电压下电容测试。目前，这部分测试主要通过独立仪表完成，其中，漏电流测试通过高压源表完成，电容测试通过高压源表配合LRC测试仪完成。但是通过独立仪表进行漏电流测试及电容测试时，不能在同时对多个MEMS芯片进行测试，测试效率低。
技术实现思路
本专利技术实施例提供一种测试装置，用于解决现有技术中通过独立仪表进行漏电流测试及电容测试时测试效率低的问题。本专利技术实施例提供了一种测试装置，包括：测试机台、测试电路板、待测器件；所述测试机台，用于为所述测试电路板提供测试电源和测试信号；所述测试电路板包括多个测试模块，每个测试模块包括电流测试通道和电容测试通道；所述电流测试通道的一端与所述测试机台电连接，所述电流测试通道的另一端与待测器件电连接，所述电流测试通道用于在所述测试机台的作用下检测所述待测器件的漏电电流；所述电容测试通道的一端与所述测试机台电连接，所述电容测试通道的另一端与所述待测器件电连接，所述电容测试通道用于在所述测试机台的作用下检测所述待测器件的电容。可选地，所述测试机台包括电源仪表、信号发生器、信号采集器；所述电源仪表与所述电流测试通道连接，用于为所述电流测试通道提供测试电源，并通过检测所述电流测试通道中的电流确定所述待测器件的漏电电流；所述信号发生器与所述电容测试通道连接，用于为所述电容测试通道提供测试信号；所述信号采集器与所述电容测试通道连接，用于采集所述电容测试通道输出的测试信号，并根据采集的测试信号确定所述待测器件的电容。可选地，所述电容测试通道包括第一子测试通道和第二子测试通道；所述第一子测试通道为所述信号发生器与所述信号采集器之间的通路；所述第一子测试通道，用于采集所述信号发生器产生的测试信号的第一幅度值；所述第二子测试通道的一端与所述信号发生器电连接，经所述待测器件后，所述第二子测试通道的另一端与所述信号采集器电连接；所述第二子测试通道，用于在所述测试电路板与所述待测器件连接时采集所述信号发生器产生的测试信号经所述待测器件后的第二幅度值，还用于在所述测试电路板与所述待测器件未连接时采集所述信号发生器产生的测试信号经所述测试电路板的第三幅度值。可选地，所述电流测试通道包括第一开关和第二开关；所述第一开关的一端与所述电源仪表连接，所述第一开关的另一端与所述待测器件连接，所述第二开关的一端与所述待测器件连接，所述第二开关的另一端接地。可选地，所述第一子测试通道包括第三开关；所述第二子测试通道包括第四开关、第五开关；所述第三开关的一端与所述信号发生器连接，所述第三开关的另一端与所述信号采集器连接；所述第四开关的一端与所述信号发生器连接，所述第四开关的另一端与第一节点电连接，所述第一节点位于所述第一开关与所述待测器件之间；所述第五开关的一端与所述信号采集器电连接，所述第五开关的另一端与第二节点电连接，所述第二节点位于所述第二开关与所述待测器件之间。可选地，所述电流测试通道包括第一开关；所述第一开关的一端与所述电源仪表连接，所述第一开关的另一端与所述待测器件的第一输入端连接，所述待测器件的第一输出端通过所述电流测试通道接地。可选地，所述第一子测试通道包括第三开关；所述第二子测试通道包括第四开关；所述第三开关的一端与所述信号发生器连接，所述第三开关的另一端与所述信号采集器连接；所述第四开关的一端与所述信号发生器连接，所述第四开关的另一端与所述待测器件的第二输入端连接，所述待测器件的第二输出端通过所述第二子测试通道与所述信号采集器连接。可选地，所述测试电路板通过探针台与所述待测器件电连接。可选地，所述电容测试通道还包括偏振器；所述偏振器位于所述所述信号发生器与所述第三开关之间，并与所述电源仪表连接；所述偏振器用于调节所述信号发生器产生的测试信号的电压，以使所述信号采集器根据不同电压的测试信号确定所述待测器件在不同电压下的电容。可选地，所述第二子测试通道还包括放大电路，所述放大电路位于所述信号采集器与所述待测器件之间。上述实施例中的测试装置包括：测试机台、测试电路板、待测器件；所述测试机台，用于为所述测试电路板提供测试电源和测试信号；所述测试电路板包括多个测试模块，每个测试模块包括电流测试通道和电容测试通道；所述电流测试通道的一端与所述测试机台电连接，所述电流测试通道的另一端与待测器件电连接，所述电流测试通道用于在所述测试机台的作用下检测所述待测器件的漏电电流；所述电容测试通道的一端与所述测试机台电连接，所述电容测试通道的另一端与所述待测器件电连接，所述电容测试通道用于在所述测试机台的作用下检测所述待测器件的电容。具体地，由于测试电路板中包括多个测试模块，并且每个测试模块均包括电流测试通道和电容测试通道，通过在每个测试模块上连接一个待测器件便能实现同时测量多个待测器件的漏电电流和电容，提高了测试效率。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简要介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域的普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本专利技术实施例提供的一种测试装置的结构示意图；图2为本专利技术实施例提供的一种测试机台的结构示意图；图3为本专利技术实施例提供的一种电容测试通道的结构示意图；图4为本专利技术实施例提供的一种电流测试通道的结构示意图；图5为本专利技术实施例提供的一种测试模块的结构示意图；图6为本专利技术实施例提供的另一种测试模块的结构示意图；图7为本专利技术实施例提供的一种包含偏振器的测试模块的结构示意图；图8为本专利技术实施例提供的另一种测试装置的结构示意图。具体实施方式为了使本专利技术的目的、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本专利技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本专利技术，并不用于限定本专利技术。本专利技术实施例提供一种测试装置，如图1所示，包括：测试机台100、测试电路板110、待测器件120；所述测试机台100用于为所述测试电路板110提供测试电源和测试信号；所述测试电路板110包括多个测试模块，以一个测试模块为例进行说明，测试电路板110中测试模块111包括电流测试通道1111和电容测试通道1112；所述电流测试通道1111的一端与所述测试机台100电连接，所述电流测试通道1111的另一端与待测器件120电连接，所述电流测试通道1111用于在所述测试机台100的作用下检测所述待测器件120的漏电电流；所述电容测试通道1112的一端与所述测试机台100电连接，所述电容测试通道1112的另一端与所述待测器件120电连接，所述电容测试通道1112用于在所述测试本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种测试装置，其特征在于，包括：测试机台、测试电路板、待测器件；所述测试机台，用于为所述测试电路板提供测试电源和测试信号；所述测试电路板包括多个测试模块，每个测试模块包括电流测试通道和电容测试通道；所述电流测试通道的一端与所述测试机台电连接，所述电流测试通道的另一端与待测器件电连接，所述电流测试通道用于在所述测试机台的作用下检测所述待测器件的漏电电流；所述电容测试通道的一端与所述测试机台电连接，所述电容测试通道的另一端与所述待测器件电连接，所述电容测试通道用于在所述测试机台的作用下检测所述待测器件的电容。

【技术特征摘要】
1.一种测试装置，其特征在于，包括：测试机台、测试电路板、待测器件；所述测试机台，用于为所述测试电路板提供测试电源和测试信号；所述测试电路板包括多个测试模块，每个测试模块包括电流测试通道和电容测试通道；所述电流测试通道的一端与所述测试机台电连接，所述电流测试通道的另一端与待测器件电连接，所述电流测试通道用于在所述测试机台的作用下检测所述待测器件的漏电电流；所述电容测试通道的一端与所述测试机台电连接，所述电容测试通道的另一端与所述待测器件电连接，所述电容测试通道用于在所述测试机台的作用下检测所述待测器件的电容。2.如权利要求1所述的测试装置，其特征在于，所述测试机台包括电源仪表、信号发生器、信号采集器；所述电源仪表与所述电流测试通道连接，用于为所述电流测试通道提供测试电源，并通过检测所述电流测试通道中的电流确定所述待测器件的漏电电流；所述信号发生器与所述电容测试通道连接，用于为所述电容测试通道提供测试信号；所述信号采集器与所述电容测试通道连接，用于采集所述电容测试通道输出的测试信号，并根据采集的测试信号确定所述待测器件的电容。3.如权利要求2所述的测试装置，其特征在于，所述电容测试通道包括第一子测试通道和第二子测试通道；所述第一子测试通道为所述信号发生器与所述信号采集器之间的通路；所述第一子测试通道，用于采集所述信号发生器产生的测试信号的第一幅度值；所述第二子测试通道的一端与所述信号发生器电连接，经所述待测器件后，所述第二子测试通道的另一端与所述信号采集器电连接；所述第二子测试通道，用于在所述测试电路板与所述待测器件连接时采集所述信号发生器产生的测试信号经所述待测器件后的第二幅度值，还用于在所述测试电路板与所述待测器件未连接时采集所述信号发生器产生的测试信号经所述测试电路板的第三幅度值。4.如权利要求3所述的测试装置，其特征在于，所述电流测试通道包括第一开关和第二开关；所述第一开关的一端与所述电源仪表连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：周文君，赵永昌，谷陈鹏，鲁斌，
申请(专利权)人：嘉兴鹏武电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31