一种多位电阻蒸发装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种多位电阻蒸发装置，包括坩埚、电极和传动系统，传动系统包括步进电机、传动齿轮组和传动轴，坩埚安装在真空镀膜机内，且坩埚设有多个蒸发舟，电极安装在真空镀膜机的底部，传动系统位于真空镀膜机的底部，步进电机和传动轴通过传动齿轮组连接，传动轴穿过真空镀膜机的底部与坩埚连接。本实用新型专利技术通过若干个蒸发舟控制需要镀膜的厚度，当一个蒸发舟内的物料用完后，步进电机转动，控制坩埚旋转一定角度，转到下一个蒸发舟继续镀膜，对于需要多种物料镀膜的产品也相当适用，本实用新型专利技术的结构简单、工作稳定、适用范围广。

【技术实现步骤摘要】
一种多位电阻蒸发装置
本技术涉及真空镀膜领域，特别是涉及一种多位电阻蒸发装置。
技术介绍
真空镀膜是一种常用的镀膜工艺，蒸发源是真空镀膜设备最为关键的部件，根据加热方式的不同，蒸发源可以分为电子束加热蒸发源和电阻加热式蒸发源。电阻加热式蒸发源是利用电阻丝通电后产生的热量加热坩埚中的蒸发物料使其汽化，电阻加热式蒸发源具有结构简单、蒸发效率高、温度稳定和加热均匀等优点，已大量用于工业和实验室中。真空镀膜机内的大多是一个坩埚，有时候镀膜的产品需要一定的厚度要求，但现有的坩埚无法满足。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种可调节镀膜厚度的多位电阻蒸发装置。本技术的目的是通过以下技术方案实现的：一种多位电阻蒸发装置，包括坩埚、电极和传动系统，传动系统包括步进电机、传动齿轮组和传动轴，坩埚安装在真空镀膜机内，且坩埚设有多个蒸发舟，电极安装在真空镀膜机的底部，传动系统位于真空镀膜机的底部，步进电机和传动轴通过传动齿轮组连接，传动轴穿过真空镀膜机的底部与坩埚连接。所述坩埚设有12个蒸发舟，且每个蒸发舟底部设有两个触点。所述蒸发舟两个触点分别与电极的正负极相接触。本技术通过若干个蒸发舟控制需要镀膜的厚度，当一个蒸发舟内的物料用完后，步进电机转动，控制坩埚旋转一定角度，转到下一个蒸发舟继续镀膜，用于增加产品的镀膜厚度，本技术对于需要多种物料镀膜的产品也相当适用，并具有结构简单、工作稳定、适用范围广等特点。附图说明图1为本技术的结构示意图。图2为本技术的主视图。附图标记：1—真空镀膜机、2—坩埚、21—蒸发舟、22—触点、3—电极、4传动系统、41—步进电机、42—传动齿轮组、43—传动轴。具体实施方式实施例如图1、图2所示，本技术包括坩埚2、电极3和传动系统4，传动系统4包括步进电机41、传动齿轮组42和传动轴43，坩埚2安装在真空镀膜机1内，电极3安装在真空镀膜机1的底部，坩埚2设有12个蒸发舟21，且每个蒸发舟21底部设有两个触点22，两个触点22分别与电极3的正负极相接触，传动系统4位于真空镀膜机1的底部，步进电机41和传动轴43通过传动齿轮组42连接，传动轴43穿过真空镀膜机1的底部与坩埚2连接。本技术的工作原理是：首先在每个蒸发舟21内放置一定量的物料，然后将真空镀膜机1工作，电极3通过蒸发舟21底部的触点22对蒸发舟21内的物料进行蒸发，使物料附着在真空镀膜机1内的产品上，当一个蒸发舟21内的物料用完后，步进电机41通过传动齿轮组42带动传动轴43旋转30°，使下一个蒸发舟21的触点22与电极3的正负极相接触，然后继续蒸发物料，当真空镀膜机1内产品的膜厚达到一定时，完成镀膜工作；当一批产品需要多种物料镀膜时，在不同的蒸发舟21内放置不同的物料，然后通过电极3依次对放有不同物料的蒸发舟21通电，使物料蒸发并附着在产品表面，最后完成镀膜。以上所述仅是本技术优选的实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何基于本技术所提供的技术方案和专利技术构思进行的改造和替换都应涵盖在本技术的保护范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种多位电阻蒸发装置，其特征在于：包括坩埚、电极和传动系统，传动系统包括步进电机、传动齿轮组和传动轴，坩埚安装在真空镀膜机内，且坩埚设有多个蒸发舟，电极安装在真空镀膜机的底部，传动系统位于真空镀膜机的底部，步进电机和传动轴通过传动齿轮组连接，传动轴穿过真空镀膜机的底部与坩埚连接。

【技术特征摘要】
1.一种多位电阻蒸发装置，其特征在于：包括坩埚、电极和传动系统，传动系统包括步进电机、传动齿轮组和传动轴，坩埚安装在真空镀膜机内，且坩埚设有多个蒸发舟，电极安装在真空镀膜机的底部，传动系统位于真空镀膜机的底部，步进电机和传动轴通过传动齿轮组连接，...

【专利技术属性】
技术研发人员：王伟，卢成，
申请(专利权)人：成都国泰真空设备有限公司，
类型：新型
国别省市：四川,51