本实用新型专利技术公开了一种精密蚀刻自动补液后提高蚀刻液稳定、均匀性的装置，包括蚀刻液槽体，所述盐酸罐的右侧底端和双氧水罐的左侧底端均安装有补液泵，所述分液管的底端安装有多个输送管，所述上端盖的底端安装有内套筒，所述内套筒的外壁套接有外套筒。该精密蚀刻自动补液后提高蚀刻液稳定、均匀性的装置，通过输送管、内套筒和外套筒的配合，当盐酸、双氧水添加到内套筒中后，因比重小于蚀刻液的比重，将会集中在内套筒的中上部，为了使添加到内套筒的盐酸和双氧水比较均匀一致的释放到蚀刻液中，所以将内套筒上的孔加工成从上到下逐步变大，三个输送管可以使盐酸和双氧水更均匀地释放到蚀刻液槽体的内部。
A device for improving the stability and uniformity of the etchant after a precise etching of the fluid
【技术实现步骤摘要】
一种精密蚀刻自动补液后提高蚀刻液稳定、均匀性的装置
本技术涉及化工
，具体为一种精密蚀刻自动补液后提高蚀刻液稳定、均匀性的装置。
技术介绍
在蚀刻生产中，蚀刻液中Cu2+浓度不断降低，Cu+浓度不断上升，为使生产稳定，在Cu+浓度还没有或即将影响反应速度时，提前进行干预，添加氧化剂、盐酸，恢复Cu2+的设定浓度，以稳定蚀刻的反应速度，进而来实现稳定的生产，这样Cu2+的浓度就在降低→升高→再降低→再升高中不断周而复始地循环，随着蚀刻生产技术的发展和提高，手动添加HCL和H2O2的方式已经被自动添加的方式取代，在添加的时机、添加的量上可以做到比较准确，在一定程度上消除了手动添加造成的误差，但是自动添加的设备，只是解决了何时添加，添加多少量的问题，至于将药剂(HCL和H2O2)添加到蚀刻液里之后，却没有很好地控制，会导致蚀刻液中Cu2+的浓度在一定时间内剧烈升高，这对产品尺寸的稳定性，尤其是尺寸精度要求高的产品会造成很不利的影响。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种精密蚀刻自动补液后提高蚀刻液稳定、均匀性的装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种精密蚀刻自动补液后提高蚀刻液稳定、均匀性的装置，包括蚀刻液槽体，所述蚀刻液槽体的左侧设有盐酸罐，所述蚀刻液槽体的右侧设有双氧水罐，所述盐酸罐的右侧底端和双氧水罐的左侧底端均安装有补液泵，所述补液泵的内侧安装有连接管，所述连接管的内侧安装有分液管，所述分液管通过活节与连接管相连，所述分液管的底端安装有多个输送管，所述输送管的底端贯穿上端盖，所述输送管的底端外壁设有输送孔，所述上端盖的底端安装有内套筒，所述内套筒的外壁顶端设有内筒第一孔，所述内筒第一孔的下方设有内筒第二孔，所述内筒第二孔的下方设有内筒第三孔，所述内筒第三孔的下方设有内筒第四孔，所述内套筒的底端安装有下端盖，所述下端盖和上端盖均通过螺钉与内套筒相连，所述内套筒的外壁套接有外套筒，所述外套筒的外壁顶端设有外筒第一孔，所述外筒第一孔的下方设有外筒第二孔，所述外筒第二孔的下方设有外筒第三孔，所述外筒第三孔的下方设有外筒第四孔。优选的，所述内套筒的外壁底端设有滑槽，所述外套筒的内壁底端安装有滑块，所述滑块与滑槽相匹配，所述外套筒的右侧顶端安装有横杆，所述横杆的右侧顶端安装有竖杆。优选的，所述蚀刻液槽体的内壁设有蚀刻液液位线。优选的，所述上端盖与输送管的连接处设有加固角。优选的，所述竖杆的顶端安装有手柄。与现有技术相比，本技术的有益效果是：该精密蚀刻自动补液后提高蚀刻液稳定、均匀性的装置，通过输送管、内套筒和外套筒的配合，蚀刻液槽体的内部盛装蚀刻液，盐酸罐的内部盛装盐酸，双氧水罐的内部盛装双氧水，补液泵把盐酸罐内部的盐酸和双氧水罐内部的双氧水抽到输送管，再从输送孔流出，当盐酸、双氧水添加到内套筒中后，因比重小于蚀刻液的比重，将会集中在内套筒的中上部，为了使添加到内套筒的盐酸和双氧水比较均匀一致的释放到蚀刻液中，所以将内套筒上的孔加工成从上到下逐步变大，三个输送管可以使盐酸和双氧水更均匀地释放到蚀刻液槽体的内部。附图说明图1为本技术结构示意图；图2为本技术的输送管结构示意图；图3为本技术的内套筒结构示意图；图4为本技术的外套筒结构示意图。图中：1、蚀刻液槽体，2、盐酸罐，3、双氧水罐，4、补液泵，5、连接管，6、活节，7、分液管，8、输送管，9、外套筒，10、蚀刻液液位线，11、加固角，12、上端盖，13、内套筒，14、输送孔，15、下端盖，16、螺钉，17、滑块，18、内筒第一孔，19、内筒第二孔，20、内筒第三孔，21、内筒第四孔，22、外筒第一孔，23、外筒第二孔，24、外筒第三孔，25、外筒第四孔，26、滑槽，27、横杆，28、竖杆，29、手柄。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-4，本技术提供一种技术方案：一种精密蚀刻自动补液后提高蚀刻液稳定、均匀性的装置，包括蚀刻液槽体1，蚀刻液槽体1的内壁设有蚀刻液液位线10，蚀刻液液位线10可以显示蚀刻液的多少，蚀刻液槽体1的左侧设有盐酸罐2，盐酸罐2的内部盛装盐酸，蚀刻液槽体1的右侧设有双氧水罐3，双氧水罐3的内部盛装双氧水，盐酸罐2的右侧底端和双氧水罐3的左侧底端均安装有补液泵4，补液泵4的型号为ISGD80-160(I)A，补液泵4的外接电源为220V交流电，接通电源补液泵4开始工作，断开电源补液泵4停止工作，补液泵4把盐酸罐2内部的盐酸和双氧水罐3内部的双氧水抽到蚀刻液槽体1的内部，补液泵4的内侧安装有连接管5，连接管5的内侧安装有分液管7，分液管7通过活节6与连接管5相连，活节6使维护和更换更便捷，分液管7的底端安装有三个输送管8，三个输送管8可以使盐酸和双氧水更均匀的释放的蚀刻液槽体1的内部，输送管8的底端贯穿上端盖12，上端盖12与输送管8的连接处设有加固角11，加固角11使上端盖12与输送管8的连接更稳固，输送管8的底端外壁设有输送孔14，输送孔14为φ5的孔，比没有做任何处理的直通管，在药剂的添加上更稳定，更易控制，上端盖12的底端安装有内套筒13，内套筒13的外壁顶端设有两排内筒第一孔18，内筒第一孔18为φ6的孔，内筒第一孔18的下方设有两排内筒第二孔19，内筒第二孔19为φ8的孔，内筒第二孔19的下方设有两排内筒第三孔20，内筒第三孔20为φ10的孔，内筒第三孔20的下方设有两排内筒第四孔21，内筒第四孔21为φ12的孔，内套筒13的底端安装有下端盖15，下端盖15和上端盖12均通过螺钉16与内套筒13相连，内套筒13的外壁套接有外套筒9，外套筒9的外壁顶端设有两排外筒第一孔22，外筒第一孔22为φ6的孔，外筒第一孔22的下方设有两排外筒第二孔23，外筒第二孔23为φ8的孔，外筒第二孔23的下方设有两排外筒第三孔24，外筒第三孔24为φ10的孔，外筒第三孔24的下方设有两排外筒第四孔25，外筒第四孔为φ12的孔，内套筒13的外壁底端设有滑槽26，外套筒9的内壁底端安装有滑块17，滑块17与滑槽26相匹配，滑块17可以在滑槽26的内部滑动，外套筒9的右侧顶端安装有横杆27，横杆27的右侧顶端安装有竖杆28，竖杆28的顶端安装有手柄29，手柄29使转动竖杆28更方便，拨动竖杆28带动外套筒9围绕内套筒13转动，外套筒9的转动可以控制通过率，如果Cu2+浓度上升过快，则旋转外套筒，使孔变小，反之，旋转外套筒，使孔变大。蚀刻液槽体1的内部盛装蚀刻液，盐酸罐2的内部盛装盐酸，双氧水罐3的内部盛装双氧水，接通补液泵4的外接电源，补液泵4开始工作，补液泵4把盐酸罐2内部的盐酸和双氧水罐3内部的双氧水抽到连接管5，经过分液管7分开流到输送管8，再从输送孔14流出，外套筒9和内套筒13的外壁的孔从上到下逐渐增大，当盐酸、双氧水添加到内套筒13中后，因比重小于蚀刻液的比重，将会集中在内套筒13的中上本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种精密蚀刻自动补液后提高蚀刻液稳定、均匀性的装置，包括蚀刻液槽体(1)，其特征在于：所述蚀刻液槽体(1)的左侧设有盐酸罐(2)，所述蚀刻液槽体(1)的右侧设有双氧水罐(3)，所述盐酸罐(2)的右侧底端和双氧水罐(3)的左侧底端均安装有补液泵(4)，所述补液泵(4)的内侧安装有连接管(5)，所述连接管(5)的内侧安装有分液管(7)，所述分液管(7)通过活节(6)与连接管(5)相连，所述分液管(7)的底端安装有多个输送管(8)，所述输送管(8)的底端贯穿上端盖(12)，所述输送管(8)的底端外壁设有输送孔(14)，所述上端盖(12)的底端安装有内套筒(13)，所述内套筒(13)的外壁顶端设有内筒第一孔(18)，所述内筒第一孔(18)的下方设有内筒第二孔(19)，所述内筒第二孔(19)的下方设有内筒第三孔(20)，所述内筒第三孔(20)的下方设有内筒第四孔(21)，所述内套筒(13)的底端安装有下端盖(15)，所述下端盖(15)和上端盖(12)均通过螺钉(16)与内套筒(13)相连，所述内套筒(13)的外壁套接有外套筒(9)，所述外套筒(9)的外壁顶端设有外筒第一孔(22)，所述外筒第一孔(22)的下方设有外筒第二孔(23)，所述外筒第二孔(23)的下方设有外筒第三孔(24)，所述外筒第三孔(24)的下方设有外筒第四孔(25)。...
【技术特征摘要】
1.一种精密蚀刻自动补液后提高蚀刻液稳定、均匀性的装置，包括蚀刻液槽体(1)，其特征在于：所述蚀刻液槽体(1)的左侧设有盐酸罐(2)，所述蚀刻液槽体(1)的右侧设有双氧水罐(3)，所述盐酸罐(2)的右侧底端和双氧水罐(3)的左侧底端均安装有补液泵(4)，所述补液泵(4)的内侧安装有连接管(5)，所述连接管(5)的内侧安装有分液管(7)，所述分液管(7)通过活节(6)与连接管(5)相连，所述分液管(7)的底端安装有多个输送管(8)，所述输送管(8)的底端贯穿上端盖(12)，所述输送管(8)的底端外壁设有输送孔(14)，所述上端盖(12)的底端安装有内套筒(13)，所述内套筒(13)的外壁顶端设有内筒第一孔(18)，所述内筒第一孔(18)的下方设有内筒第二孔(19)，所述内筒第二孔(19)的下方设有内筒第三孔(20)，所述内筒第三孔(20)的下方设有内筒第四孔(21)，所述内套筒(13)的底端安装有下端盖(15)，所述下端盖(15)和上端盖(12)均通过螺钉(16)与内套筒(13)相连，所述内套筒(13)的外壁套接有外套筒(9...
【专利技术属性】
技术研发人员：姜圣毅，王林，
申请(专利权)人：大连保税区金宝至电子有限公司，
类型：新型
国别省市：辽宁,21
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