【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及工业装备领域，具体涉及用于蚀刻小尺寸元件的蚀刻设备及蚀刻方法。
技术介绍
1、蚀刻技术在制造业中具有广泛的应用，可以在很多不同的产品中实现文字、图案、标识等作用。例如，在生产手机壳时，蚀刻能够用于在金属表面制作出触摸感应器、摄像头、传感器等元件的图案和文字。除此之外，在汽车制造中，蚀刻能够用于在车身上制作出各种图案，以增加美观度和提高车辆的防护等级。
2、蚀刻的必要性主要在于它能够通过化学或电化学作用，将金属或其他材料或其表面转化为所需要的尺寸、形状和图案。这种技术不仅能够大大简化产品的制造过程，还可以提高产品的质量和一致性。
3、在蚀刻的一种应用领域，涉及到对微型、小型器件的制造或者加工。例如将大尺寸的金属、半导体或者高分子薄材小型化至厘米乃至毫米级别，或者在小尺寸基材或者型坯上加工出所需的图案、电路、沟槽等。随着电子、通信技术的飞速发展，对小尺寸元器件的需求呈快速增长的趋势。
4、在小尺寸元器件的生产、加工过程中需要对其进行传输，而小尺寸元器件由于体积小、重量轻，如果不采取特殊手段，在传输过程中会受到扰动，例如受到蚀刻液、清洗液的冲击而移动位置甚至被冲出预定区域。以将大尺寸薄材小型化为小尺寸元件的蚀刻工艺为例，现有技术中为了实现在蚀刻流程中待蚀刻薄材以及蚀刻后的小尺寸产品的在蚀刻设备中的传输，需要在蚀刻前将大尺寸的待蚀刻薄材粘附在一层由高分子材料制成的膜（例如pe膜）上，然后连同该膜一起将待蚀刻薄材传送到蚀刻设备的蚀刻区，在蚀刻区被喷淋蚀刻液进行蚀刻，蚀刻完成后再经过清洗区清
技术实现思路
1、由此，本专利技术提供一种用于蚀刻小尺寸元件的蚀刻设备及蚀刻方法，以解决现有技术中蚀刻小尺寸元件时出现不规则蚀刻面的问题。
2、根据本专利技术的一种用于蚀刻小尺寸元件的蚀刻设备，包括传动组件和喷液装置，所述传动组件将代加工元件传动经过蚀刻区域，所述传动组件具有丝网作为支持面，所述喷液装置具有布设在所述传动组件的支持面上下两侧的上喷头组和下喷头组，用于向所述代加工元件施加蚀刻液；其中，
3、还包括治具，所述治具包括两个单层的丝网本体和位于丝网本体四周的框体，所述丝网本体连接在所述框体的底部；或所述治具包括两层丝网，所述两层丝网在一个边连接，或者由一张丝网对折而成；所述治具用于将待蚀刻薄材夹在中间。
4、在一种实施方式中，所述传动组件包括两个传动辊轮和连接在两个传动辊轮之间的所述丝网。
5、在一种实施方式中，在所述两个传动辊轮之间设有多个支持滚轮。
6、在一种实施方式中，所述丝网的网孔直径在所述小尺寸元件直径的1/3至2/3之间。
7、在一种实施方式中，所述下喷头组被安装在传动组件内，所述传动组件包括上传动辊轮组和下传动辊轮组，所述下喷头组在高度上介于所述上传动辊轮组和所述下传动辊轮组之间。
8、在一种实施方式中，所述丝网的网孔尺寸小于所述小尺寸元件的尺寸。
9、在一种实施方式中，所述治具为两个独立的相同尺寸丝网构成。
10、在本专利技术的第二方面，还涉及一种用于蚀刻小尺寸元件的蚀刻方法，蚀刻方法包括下述步骤：
11、1）将待蚀刻薄材支持在前述转动组件的丝网上，
12、2）将该待蚀刻薄材传送经过蚀刻设备的加工区，
13、3）在所述加工区，从所述薄材的上、下两个方向施加液体。
14、在一种实施方式中，在步骤1）中，将若干辅助丝网覆盖在所述待蚀刻的薄材上，该辅助丝网的宽度与所述丝网的宽度相适应，长度在0.8米-3米的范围。
15、有益效果
16、采用本专利技术的一种用于蚀刻小尺寸元件的蚀刻设备及蚀刻方法，不仅可以从上、下两面对待加工元件进行蚀刻，而且非常有利于蚀刻后的小尺寸产品的传输，不会出现材料的滑移和掉落。
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1.一种用于蚀刻小尺寸元件的蚀刻设备，其特征在于，包括传动组件和喷液装置，所述传动组件将代加工元件传动经过加工区域，所述传动组件具有丝网作为支持面，所述喷液装置具有布设在所述传动组件的支持面上下两侧的上喷头组和下喷头组；其中，
2.根据权利要求1所述的用于蚀刻小尺寸元件的蚀刻设备，其特征在于，所述传动组件包括两个传动辊轮和连接在所述两个传动辊轮之间的所述丝网。
3.根据权利要求2所述的用于蚀刻小尺寸元件的蚀刻设备，其特征在于，在所述两个传动辊轮之间设有多个支持滚轮。
4.根据权利要求2所述的用于蚀刻小尺寸元件的蚀刻设备，其特征在于，所述下喷头组被安装在所述传动组件内，所述传动组件包括上传动辊轮组和下传动辊轮组，所述下喷头组在高度上介于所述上传动辊轮组和所述下传动辊轮组之间。
5.根据权利要求1所述的用于蚀刻小尺寸元件的蚀刻设备，其特征在于，所述丝网的网孔尺寸小于所述小尺寸元件的尺寸。
6.根据权利要求1所述的用于蚀刻小尺寸元件的蚀刻设备，其特征在于，所述治具为两个独立的相同尺寸丝网构成。
7.一种用于蚀刻小尺
8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，在步骤1）中，将若干辅助丝网覆盖在所述待蚀刻的薄材上，该辅助丝网的宽度与所述丝网的宽度相适应，长度在0.8米-3米的范围。
...【技术特征摘要】
1.一种用于蚀刻小尺寸元件的蚀刻设备，其特征在于，包括传动组件和喷液装置，所述传动组件将代加工元件传动经过加工区域，所述传动组件具有丝网作为支持面，所述喷液装置具有布设在所述传动组件的支持面上下两侧的上喷头组和下喷头组；其中，
2.根据权利要求1所述的用于蚀刻小尺寸元件的蚀刻设备，其特征在于，所述传动组件包括两个传动辊轮和连接在所述两个传动辊轮之间的所述丝网。
3.根据权利要求2所述的用于蚀刻小尺寸元件的蚀刻设备，其特征在于，在所述两个传动辊轮之间设有多个支持滚轮。
4.根据权利要求2所述的用于蚀刻小尺寸元件的蚀刻设备，其特征在于，所述下喷头组被安装在所述传动组件内，所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：石圣波，姜圣毅，唐家栋，杨文章，简群飞，
申请(专利权)人：大连保税区金宝至电子有限公司，
类型：发明
国别省市：
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