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本发明涉及工业装备领域。本发明提供一种用于蚀刻小尺寸元件的蚀刻设备及蚀刻方法，蚀刻设备包括传动组件和喷液装置，所述传动组件将代加工元件传动经过加工区，所述传动组件具有丝网作为支持面，所述喷液装置具有布设在所述传动组件的支持面上下两侧的上喷头...
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