容器收纳设备制造技术
Container receiving equipment
The container storage device with storage rack, gas supply device, control device, the Ministry of transportation, the storage rack has a plurality of accommodating part as the receiving part of the group, the gas supply device relative to the holding part through a supply pipe supply branch type gas purification, the handling device containing part handling container relative to the control unit, control handling device action. The control part controls the action of the conveying device, so that when multiple containers are stored in the receiving part, the containers belonging to the same category are transported to the receiving part belonging to the same receiving unit group.
【技术实现步骤摘要】
容器收纳设备
本专利技术涉及收纳容器的容器收纳设备。
技术介绍
例如在工业制品的制造过程中，使用容器收纳设备，前述容器收纳设备用于在工序等待等的期间将容纳有原料、中间制品等的容器暂时地保管。例如在容器的内容物是半导体衬底、中间掩模衬底等的情况下，为了避免保管中的各衬底的表面污染，利用构成为能够向保管中的容器内供给净化气体的容器收纳设备。作为一例，在国际公开第2015/194255号(专利文献1)中，公开了如下容器收纳设备：前述容器收纳设备具备收纳架〔架子7〕和气体供给装置〔吹扫装置30〕，前述收纳架〔架子7〕具有多个收纳部〔保管架7A〕，前述气体供给装置〔吹扫装置30〕相对于各个收纳部供给净化气体。在专利文献1的容器收纳设备中，气体供给装置构成为，被分为多个组〔组1、组2、・・・、组M〕，经由分岔型的供给配管〔主管412＋供给管33〕向每个组供给净化气体。另外，在以下的说明中，将从共通的供给配管接受净化气体的供给的一组收纳部称作“收纳部组”。在专利文献1中，被收纳的容器〔容纳容器F〕被互不区分地一样地处理。但是，通常，被供给于容器内的净化气体的超过既定压的部分被向...
【技术保护点】
一种容器收纳设备，前述容器收纳设备具备收纳架、气体供给装置、搬运装置、控制部，前述收纳架以被划分成多个收纳部组的状态具有多个收纳部，前述气体供给装置相对于各个前述收纳部，针对每个前述收纳部组供给净化气体，前述搬运装置相对于前述收纳部搬运容器，前述控制部控制前述搬运装置的动作，其特征在于，前述容器与前述净化气体在其内部流通时的通气阻力的大小对应地被区分为多个类别，前述控制部控制前述搬运装置的动作，使得在将多个前述容器收纳于前述收纳部时，将属于相同类别的前述容器彼此向属于相同前述收纳部组的前述收纳部搬运。
【技术特征摘要】
2016.09.09 JP 2016-1769771.一种容器收纳设备，前述容器收纳设备具备收纳架、气体供给装置、搬运装置、控制部，前述收纳架以被划分成多个收纳部组的状态具有多个收纳部，前述气体供给装置相对于各个前述收纳部，针对每个前述收纳部组供给净化气体，前述搬运装置相对于前述收纳部搬运容器，前述控制部控制前述搬运装置的动作，其特征在于，前述容器与前述净化气体在其内部流通时的通气阻力的大小对应地被区分为多个类别，前述控制部控制前述搬运装置的动作，使得在将多个前述容器收纳于前述收纳部时，将属于相同类别的前述容器彼此向属于相同前述收纳部组的前述收纳部搬运。2.如权利要求1所述的容器收纳设备，其特征在于，前述控制部控制前述搬运装置的动作，使得在将前述容器收纳于前述收纳部时，在未收纳有属于与该容器相同的类别的前述容器的情况下，将该容器向属于在所有的前述收纳部中都未收纳有前述容器的空的前述...
【专利技术属性】
技术研发人员：安部健史，吉本忠浩，
申请(专利权)人：株式会社大福，
类型：发明
国别省市：日本,JP
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