下载容器收纳设备的技术资料

文档序号:17487796

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

容器收纳设备具备收纳架、气体供给装置、搬运装置、控制部,前述收纳架具有多个收纳部作为收纳部组,前述气体供给装置相对于各收纳部经由分岔型的供给配管供给净化气体,前述搬运装置相对于收纳部搬运容器,前述控制部控制搬运装置的动作。控制部控制搬运装置...
该专利属于株式会社大福所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社大福授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。