电介质阻挡放电离子化检测器制造技术

提供能够实现高SN比的氩气‑BID。在电介质阻挡放电离子化检测器中具有：电介质圆筒管(111)；高压电极(112)，围绕设置于电介质圆筒管(111)的外壁并连接于交流电源；上游侧接地电极(113)以及下游侧接地电极(114)，围绕设置于高压电极(112)，通过在放电部(110)内的放电而从包含氩气的气体生成等离子体，通过等离子体的作用，使被供给至电荷收集部(120)的试料气体中的成分离子化，检测该离子化后成分的离子电流，在电介质圆筒管(111)的内周面形成半导体膜(117)，并且使上游侧接地电极(113)以及下游侧接地电极(114)的长度分别比高压电极(112)与管路前端部件(116)之间以及高压电极(112)与电荷收集部(120)之间的沿面放电的开始距离长。

Dielectric barrier discharge ionization detector

Provides high SN ratio argon BID. In dielectric barrier discharge ionization detector in a dielectric cylinder (111); the high voltage electrode (112) is arranged on the dielectric cylinder, around the outer wall of the tube (111) and connected to the AC power supply; the upstream side of the grounding electrode (113) and the downstream side of the grounding electrode (114), around the set on the high voltage electrode (112 through the discharge section), (110) the discharge generated from a gas containing argon plasma, the effect of the plasma, which is supplied to the charge collecting section (120) of the sample components in the gas ionization, ion current detection of the ionized component, the dielectric cylinder tube (111) surface forming a semiconductor film within a week (117), and the upstream side of the grounding electrode (113) and the downstream side of the grounding electrode (114) than the length of each of the high voltage electrode (112) and (116) between the front-end pipeline and the high pressure electrode (112) and (120) the charge collection department The starting distance of the discharge along the surface is long.

【技术实现步骤摘要】
电介质阻挡放电离子化检测器
本专利技术涉及一种电介质阻挡放电离子化检测器，主要优选作为气相色谱仪(GC)用的检测器。
技术介绍
近年来，将利用由电介质阻挡放电等离子体实现的离子化的电介质阻挡放电离子化检测器(DielectricBarrierDischargeIonizationDetector，以下简称为“BID”)实际用作GC用的新的检测器(参照专利文献1、2以及非专利文献1等)。上述文献所述的BID大致由放电部与设置在其下方的电荷收集部构成。在放电部中，通过将低频的交流高电压施加至围绕由石英玻璃等的电介质构成的管(电介质管)而设置的等离子体生成用电极，使被供给至该电介质管的管路内的惰性气体电离而形成大气压非平衡等离子体。而且，通过从该等离子体发出的光(真空紫外光)或激发物等的作用，使被导入至电荷收集部内的试料气体中的试料成分离子化，并通过收集电极收集生成的该离子，生成与离子的量即试料成分的量相对应的检测信号。图4示出所述BID中的放电部周边的构成。放电部410具备如上述那样的石英等的电介质构成的电介质圆筒管411，其内部成为作为等离子体生成气体的惰性气体的流路。在电介质圆筒管4本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电介质阻挡放电离子化检测器，利用等离子体使试料气体中的试料成分离子化而进行检测，所述等离子体是通过在含有氩气的等离子体生成气体流动的气体流路中进行放电而产生的，其特征在于，所述电介质阻挡放电离子化检测器具有：a)电介质管，所述电介质管是由电介质构成的管并对所述气体流路的上游侧的一部分进行容纳；b)高压电极，安装于所述电介质管的外壁；c)接地电极，所述接地电极是电气地接地并以面向所述气体流路的方式配置的电极，面向该气体流路的表面被电介质包覆，并且该表面的至少一部分在所述等离子体生成气体的流动方向上位于所述高压电极的下游侧；d)交流电源，连接于所述高压电极，在所述高压电极与所述接地电极之间施加...

【技术特征摘要】
2016.09.08 JP 2016-1755011.一种电介质阻挡放电离子化检测器，利用等离子体使试料气体中的试料成分离子化而进行检测，所述等离子体是通过在含有氩气的等离子体生成气体流动的气体流路中进行放电而产生的，其特征在于，所述电介质阻挡放电离子化检测器具有：a)电介质管，所述电介质管是由电介质构成的管并对所述气体流路的上游侧的一部分进行容纳；b)高压电极，安装于所述电介质管的外壁；c)接地电极，所述接地电极是电气地接地并以面向所述气体流路的方式配置的电极，面向该气体流路的表面被电介质包覆，并且该表面的至少一部分在所述等离子体生成气体的流动方向上位于所述高压电极的下游侧；d)交流电源，连接于所述高压电极，在所述高压电极与所述接地电极之间施加交流电压，使得在所述气体流路中产生电介质阻挡放电并生成等离子体；e)电荷收集部，所述电荷收集部为所述气体流路的下游侧的一部分，位于所述接地电极的下游，具备：试料气体导入装置，将试料导入至该部分；收集电极，收集因从所述等离子体发出的光而从所述试料气体中的试料成分生成的离子，在所述电介质管的、安装有所述高压电极的区域以及/或者该区域的下游且所述电荷收集部的上游的区域的内壁，形成有半导体膜，并且所述高压电极的下游的所述接地电极的长度，比所述高压电极与所述电荷收集部之间的沿面放电的开始距离长。2.一种电介质阻挡放电离子化检测器，利用等离子体使试料气体中的试料成分离子化而进行检测，所述等离子体是通过在含有氩气的等离子体生成气体流动的气体流路中进行放电而产生的，其特征在于，所述电介质阻挡放电离子化检测器具有：a)电介质管，所述电介质管是由电介质构成的管并对所述气体流路的上游侧的一部分进行容纳；b)管路前端部件，将所述等离子体生成气体导入至所述电介质管，由金属构成且电气地接地；c)高压电极，安装于所述电介质管的外壁；d)上游侧接地电极，电气地接地并且安装于所述电介质管的外壁，在所述等离子体生成气体的流动方向上位于所述高压电极的上游且所述管路前端部件的下游；e)下游侧接地电极，电气地接地并且安装于所述电介质管的外壁，在所述流动方向上位于所述高压电极的下游；f)交流电源，连接于所述高压电极，在所述高压电极与所述上游侧接地电极之间以及所...

【专利技术属性】
技术研发人员：品田惠，北野胜久，
申请(专利权)人：株式会社岛津制作所，国立大学法人大阪大学，
类型：发明
国别省市：日本,JP