放电电离电流检测器制造技术

本发明专利技术的放电电离电流检测器防止样本气体侵入至等离子体生成部，以使得等离子体生成部中的等离子体强度稳定。电介质管(3)的一端向框体(16)内的空间(14)侧突出。由于具有电介质管(3)的突出部分(3a)，电介质管(3)的等离子体生成气体喷出口与等离子体生成部(1)的之间的距离变长。

【技术实现步骤摘要】
放电电离电流检测器本申请是下述专利申请的分案申请申请号：201210219886.X申请日：2012年6月28日专利技术名称：放电电离电流检测器
本专利技术涉及用作气相色谱仪等分析装置的检测器的放电电离电流检测器。
技术介绍
作为从无机物到低沸点有机化合物都能够以高灵敏度检测的检测器，有一种叫做脉冲放电电离电流检测器(PDD)。放电电离电流检测器是利用高压脉冲放电激发氦分子等等离子体生成气体，利用处于这种激发状态的分子回复至基底状态时发出的光能，电离分析对象的分子。因此，通过检测该电离电流，得到与分析对象的分子的量相应的检测信号(参考专利文献1)以往的放电电离电流检测器的构造的一个例子在图4中示出。该放电电离电流检测器配备等离子体生成部1a和样本电离及检测部2a。等离子体生成部1a作为流动着氦等等离子体生成气体的例如石英管等的电介质管40的一段区间而被配置。在电介质管40的外周安装有根据等离子体生成气体的流动方向而围绕在其外周的环状电极46、48及50。电极48和电极50之间的空间是等离子体生成部1a。电极46由高压交流电源52加载了高压交流电压，电极48和电极50则接地。根据电极46、48和50之间发生的电介质阻挡放电，激发等离子体生成气体。样本电离及检测部2a设置有框体16和设置在框体16上的充电用电极20及离子电流检测用电极22。充电用电极20和离子电流检测用电极22是环状电极。充电用电极20相对于离子电流检测用电极22设置在更贴近等离子体生成部一侧。框体16由金属构成，充电用电极20及电离电流检测用电极22通过绝缘体15与框体16进行电气隔离。框体16的一端连接着电介质管40的一端，在位于其相反侧的框体16的另一端侧连接着将样本气体导入框体16内的样本气体供给管18的一端。电介质管40的等离子体生成气体喷出口与样本气体供给管18的样本气体喷出口相对。在框体16侧壁的两处设置气体排出口24以及26。现有技术文献【专利文献】【专利文献1】日本特开2010-60354公报
技术实现思路
【专利技术所要解决的课题】采用所述那样的放电电离电流检测器的话，在样本电离部中生成的样本离子的量几乎都受等离子体生成部所放出的激发光量的影响，从等离子体生成部所放出的激发光的量受到等离子体生成部中的放电状态的影响。即，等离子体生成部中的放电状态变化的话，从等离子体生成部放出的激发光量发生变化，对样本电离部中生成的样本离子的量产生影响，因此，使等离子体生成部的放电状态稳定比较重要。作为妨碍等离子体生成部的放电状态的稳定化的原因之一，例如有样本气体侵入到等离子体生成部中。如图4中所示出的那种构造的放电电离电流检测器中，由样本气体供给管18至框体16内的样本气体的供给流量变大的时候，存在样本气体侵入到电介质管40内而到达至等离子体生成部1a的情况。样本气体到达等离子体生成部1a的时候，会产生以下的问题，即等离子体生成部1a中放电就变得难以发起，等离子体强度也将变弱，从而导致检测灵敏度的下降，最坏的情况时等离子体自身消失，导致测定本身变得无法进行等问题。因此本专利技术的目的在于，防止样本气体侵入至等离子体生成部，以使得等离子体生成部中的等离子体强度稳定。【解决课题的手段】本专利技术的放电电离电流检测器，其特征在于，包括：等离子体生成气体流动的电介质管；等离子体生成部，所述等离子体生成部是所述电介质管的所述等离子体生成气体的流动方向上的一个区间，其具有多个放电用电极，所述多个放电用电极以包围所述电介质管外周的形态沿着等离子体生成气体的流动方向彼此具有间隔地设置在所述电介质管的外周面上，所述等离子体生成部通过使得在所述放电用电极间发生电介质阻挡放电而生成等离子体；框体，所述框体设置有：用于连接所述电介质管的所述等离子体生成气体的流动方向的下游侧的端部的电介质管连接部、具有比所述电介质管大的内径的空间、设置在与所述电介质管连接部相对的位置且用于将样本气体导入至所述空间内的样本气体导入口、以及用于排出所述空间内的气体的排出口；样本电离部，所述样本电离部设置在所述框体内；和电离电流检测部，所述电离电流检测部用于检测在所述样本电离部中被电离了的样本成分，所述电介质管的所述等离子体生成气体的流动方向的下游侧的一端向所述框体内部的空间侧突出。在电介质管的等离子体生成气体喷出口附近，由于扩散的影响，等离子体生成气体的流速会比在电介质管内的流速慢，因此样本气体容易侵入到电介质管内。因此，在本专利技术中，电介质管的等离子体生成气体的流动方向的下游侧的一端向框体内部的空间侧突出，该情形与电介质管的一端不向框体内部的空间侧突出的情况相比，等离子体生成部与电介质管的等离子体生成气体的喷出口之间的距离变长。这是因为如果等离子体生成部与电介质管的等离子体生成气体喷出口之间的距离短，则样本气体会到达等离子体生成部。【专利技术的效果】本专利技术的放电电离电流检测器中，等离子体生成气体喷出口和等离子体生成部之间的距离变长，因此样本气体到达等离子体生成部变得困难，从而能够使放电的发生稳定，能够使在等离子体生成部中发生的等离子体强度稳定。附图说明图1是示出放电电离电流检测器的一个实施例的构造的剖面图。图2是示出使电介质管的一端向框体内的空间侧突出的情况下及不突出情况下的检测信号的随时间变化的图表。图3是在与图2不同的条件下测量的、在使电介质管的一端向框体内的空间侧突出的情况下及不突出情况下的检测信号的随时间变化的图表。图4是显示现有的放电电离电流检测器的构造的一例的剖面图。符号说明1等离子体生成部2样本电离及检测部3电介质管4电介质管内的流路6,8,10放电用电极12高压交流电源14框体内部空间15绝缘体16框体18样本气体供给管20充电用电极22离子电流检测用电极24,26气体排出口28直流电源30电源放大器具体实施方式本专利技术的一个较佳实施例中，框体内的电介质管的一端的突出长度被设定为被导入至框体中的样本气体无法到达电介质管内的等离子体生成部的长度。因此，在放电的发生稳定的等离子体生成部中发生的等离子体强度稳定。以下，参考图1说明放电电离电流检测器的一个实施例。该放电电离电流检测器，设置有等离子体生成部1和样本电离及检测部2。等离子体生成部1作为例如石英管等电介质管3的一段区间而被设置。电介质管3内的流路4为氦等等离子体生成气体向朝着后述的框体16的方向流动。在电介质管3的外周面，沿着在电介质管3内侧流动的等离子体生成气体的流动方向相互具有间隔地设置有环状电极6、8和10。等离子体生成部1是电极6与10之间的区间，通过利用高压的交流电源12对电极6施加高压的交流电，在电极6与电极8及10之间发生电介质阻挡放电，由此激发等离子体生成气体。电极8与10则接地。样本电离及检测部2设置有框体16及设置在框体16上的充电用电极20以及离子电流检测用电极22。充电用电极20及离子电流检测用电极20是环状电极，充电用电极20相比离子电流检测用电极22设置在更靠近等离子体生成部一侧。框体16由金属制成，充电用电极20及离子电流检测用电极22通过绝缘体15与框体16电气隔离。框体16具有比电介质管3大的内径。电介质管3的一端与框体16的一端相连接，其相反侧的框体16的另一端，与作为用于将样本气体导入框体本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种放电电离电流检测器，其特征在于，包括：等离子体生成气体流动的电介质管；等离子体生成部，所述等离子体生成部是所述电介质管的所述等离子体生成气体的流动方向上的一个区间，其具有多个放电用电极，所述多个放电用电极以包围所述电介质管外周的形态沿着等离子体生成气体的流动方向彼此具有间隔地设置在所述电介质管的外周面上，所述等离子体生成部通过使得在所述放电用电极间发生电介质阻挡放电而生成等离子体；框体，所述框体设置有：用于连接所述电介质管的所述等离子体生成气体的流动方向的下游侧的端部的电介质管连接部、具有比所述电介质管大的内径的空间、设置在与所述电介质管连接部相对的位置且用于将样本气体导入至所述空间内的样本气体导入口、以及用于排出所述空间内的气体的排出口；样本电离部，所述样本电离部设置在所述框体内，通过来自所述等离子体生成部的光能对样本成分进行电离；电离电流检测部，所述电离电流检测部用于检测在所述样本电离部中被电离了的样本成分；调节在所述电介质管中流动的等离子体生成气体的流量的机构；以及调节被导入至所述空间内的样本气体的流量的机构，所述电介质管的所述等离子体生成气体的流动方向的下游侧的一端向所述框体内部的空间侧突出，所述两机构将各自的流量调节成：被导入至所述框体中的样本气体无法经过所述电介质管的所述突出部分而到达所述电介质管内的所述等离子体生成部。...

【技术特征摘要】
2012.02.28 JP 2012-0412881.一种放电电离电流检测器，其特征在于，包括：等离子体生成气体流动的电介质管；等离子体生成部，所述等离子体生成部是所述电介质管的所述等离子体生成气体的流动方向上的一个区间，其具有多个放电用电极，所述多个放电用电极以包围所述电介质管外周的形态沿着等离子体生成气体的流动方向彼此具有间隔地设置在所述电介质管的外周面上，所述等离子体生成部通过使得在所述放电用电极间发生电介质阻挡放电而生成等离子体；框体，所述框体设置有：用于连接所述电介质管的所述等离子体生成气体的流动方向的下游侧的端部的电介质管连接部、具有比所述电介质管大的内径的空间、设置在与所述电介质管连接部相对的位置且用于将样本气体导入至所述空间内的样本气体导入口、以及用于排出所述空间内的气体的排出口；样本电离部，所述样本电离...

【专利技术属性】
技术研发人员：内山新士，
申请(专利权)人：株式会社岛津制作所，
类型：发明
国别省市：日本,JP