用于检测任意波长光学系统透射波前的干涉装置及其系统制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种用于检测任意波长光学系统透射波前的干涉装置，具有这样的特征，包括：激光产生单元，用于产生至少两种波长的激光光源；光源转换单元，用于将激光光源转换为点光源；准直单元，将点光源准直形成平行光束；标准镜，用于透射平行或汇聚光束的一部分照射到光学系统上，并反射平行或汇聚光束的另一部分形成参考光束；反射单元，将经过光学系统的平行或汇聚光束的一部分反射形成测试光束；分光单元，透射点光源并接收参考光束以及测试光束进行反射；校正单元，对不同波长的光束的聚焦位置进行校正；以及成像单元，接收分光单元反射的参考光束以及测试光束进行干涉成像使得任意波长的光学系统的透射波前都能够进行干涉成像并检测。

【技术实现步骤摘要】
用于检测任意波长光学系统透射波前的干涉装置及其系统
本技术涉及一种光学干涉装置，具体涉及一种用于检测任意波长光学系统透射波前的干涉装置及其系统。
技术介绍
光学系统透射波前通常使用激光干涉仪检测，激光干涉仪可以准确检测特定波长光学系统(光学系统设计波长与干涉仪光源波长一致)，根据检测需要，目前有不同类型波长的激光干涉仪，用于检测不同类型的光学系统的透射波前。例如，248nm和363nm激光干涉仪用于检测紫外透镜系统，405nm激光干涉仪用于检测DVD光学存储和视听设备的透镜，1053nm激光干涉仪用于研究激光熔合、聚变等。现有技术中，仅有上述几种特定波长的激光干涉仪，因此，其他波段的光学系统无法使用激光干涉仪检测，导致激光干涉仪的应用范围较小。另外，激光干涉仪的研发难度较大，且特殊波长激光干涉仪的造价昂贵，因此，现有的特殊波长的激光干涉仪的种类较少。此外，现有的激光干涉仪通常只能产生一种波长激光，测定该波长所对应的波长的光学系统，应用范围较为局限。
技术实现思路
本技术是为了解决上述问题而进行的，目的在于提供一种用于检测任意波长光学系统透射波前的干涉装置及其系统。本技术提供了一种用于检测任意本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于检测任意波长光学系统的透射波前的干涉装置，用于对任意波长光学系统进行干涉成像，其特征在于，包括：激光产生单元，用于产生至少两种波长的激光光源；光源转换单元，用于将所述激光光源转换为点光源；准直单元，将所述点光源准直形成平行光束；标准镜，用于透射所述平行或汇聚光束的一部分照射到光学系统上，并反射所述平行或汇聚光束的另一部分形成参考光束；反射单元，将经过所述光学系统的所述平行或汇聚光束的一部分反射形成测试光束；分光单元，透射所述点光源并接收所述参考光束以及所述测试光束进行反射；校正单元，对不同波长的光束的聚焦位置进行校正；以及成像单元，接收所述分光单元反射的所述参考光束以及所述测试光束进行...

【技术特征摘要】
1.一种用于检测任意波长光学系统的透射波前的干涉装置，用于对任意波长光学系统进行干涉成像，其特征在于，包括：激光产生单元，用于产生至少两种波长的激光光源；光源转换单元，用于将所述激光光源转换为点光源；准直单元，将所述点光源准直形成平行光束；标准镜，用于透射所述平行或汇聚光束的一部分照射到光学系统上，并反射所述平行或汇聚光束的另一部分形成参考光束；反射单元，将经过所述光学系统的所述平行或汇聚光束的一部分反射形成测试光束；分光单元，透射所述点光源并接收所述参考光束以及所述测试光束进行反射；校正单元，对不同波长的光束的聚焦位置进行校正；以及成像单元，接收所述分光单元反射的所述参考光束以及所述测试光束进行干涉成像。2.根据权利要求1所述的用于检测任意波长光学系统的透射波前的干涉装置，其特征在于：其中，所述激光产生单元包括至少两种激光器。3.根据权利要求1所述的用于检测任意波长光学系统的透射波前的干涉装置，其特征在于：其中，所述激光产生单元为调频激光器，该调频激光器用于产生至少两种不同波长的激光光源。4.根据权利要求1所述的用于检测任意波长光学系统的透射波前的干涉装置，其特征在于：其中，所述校正单元设置在所述分光单元与所述准直单元之间靠近所述分光单元处，用于补偿准直系统不同波长点光源位置并校正不同波长的参考光束和测试光束的聚焦位置。5.根据权利要求1所述的用于检测任意波长光学系...

【专利技术属性】
技术研发人员：韩森，张齐元，王全召，
申请(专利权)人：苏州维纳仪器有限责任公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32