下载用于检测任意波长光学系统透射波前的干涉装置及其系统的技术资料

文档序号:17469905

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本实用新型提供了一种用于检测任意波长光学系统透射波前的干涉装置,具有这样的特征,包括:激光产生单元,用于产生至少两种波长的激光光源;光源转换单元,用于将激光光源转换为点光源;准直单元,将点光源准直形成平行光束;标准镜,用于透射平行或汇聚光束...
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