一种混合废光阻清洗剂的回收方法及装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及电子行业混合物溶剂回收再生利用技术领域，具体地说，是一种混合废光阻清洗剂的回收方法，采用金属烧结滤芯过滤装置将混合废光阻清洗剂过滤，再将滤液经闪蒸后分离成高沸组分和轻组分，再分别将高沸组分和轻组分经过精馏后得到单一组分。本发明专利技术针对混合废光阻清洗剂，在保证产品品质和收率的前提下，提高了回收效率，实现了资源回收再利用。

A recovery method and device for a mixed waste photoresist cleaning agent

The invention relates to a mixture solvent recycling industry electronic technology field, in particular, is a recycling method of photoresist cleaning agent mixed with waste, sintered metal filter device will waste photoresist cleaning agent, filtration, and the filtrate is separated into high boiling components and light components by flash, respectively the high boiling component and light components after rectification by single component. In view of the mixed waste photoresist cleaning agent, the recovery efficiency is improved on the premise of guaranteeing the product quality and yield, and the recycling and reuse of resources are realized.

【技术实现步骤摘要】
一种混合废光阻清洗剂的回收方法及装置
本专利技术涉及电子行业混合物溶剂回收再生利用
，具体地说，是一种混合废光阻清洗剂的回收方法及装置。
技术介绍
电子行业中，为了制造液晶显示器(LCD)电路或半导体集成电路内所用的微小电路图案，一般在基板上涂覆一种包括聚合物树脂，感光化合物和溶剂的光阻组合物，后经过温烘、辐射显影、热烤、蚀刻等步骤完成电路图案制作；而在进行下一步制作时又必须把固化光阻层去除掉，现行业内基本采用化学法即光阻清洗剂去除法；同时涂布机清洗、玻璃基板边缘清洗、机台管路清洗等都大量使用光阻清洗剂，伴随着近年电子行业的发展，所使用的基板亦在朝大型化方向发展，因此光阻清洗剂的使用量亦在增大。因此，就经济、环保方面考虑，必须对使用过后的混合光阻清洗剂进行回收再利用。专利CN201417363Y公开了一种光阻液的循环回收装置，其利用复数个混合桶的设计而获得较为充分的缓冲空间，这样不仅可以针对预备桶上回收的光阻液进行有效的回收，更可储备较多处理后的光阻液以供后续利用；再者，在处理过程中利用抽真空装置以及恒温装置的设计，能够避免在搅拌过程中产生气泡及温度提高而影响产品品质，从而使回本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种混合废光阻清洗剂的回收方法，其特征在于，采用金属烧结滤芯过滤装置将混合废光阻清洗剂过滤，再将滤液经闪蒸后分离成高沸组分和轻组分，再分别将高沸组分和轻组分经过精馏后得到单一组分，所述的混合废光阻清洗剂为水、四氟丙醇、丙二醇单甲醚、环己酮、N,N‑二甲基乙酰胺、N‑甲基‑2‑吡咯烷酮的混合物，其中水占总混合废光阻清洗剂质量百分数的1％～10％，闪蒸过程的温度为130～135℃。

【技术特征摘要】
1.一种混合废光阻清洗剂的回收方法，其特征在于，采用金属烧结滤芯过滤装置将混合废光阻清洗剂过滤，再将滤液经闪蒸后分离成高沸组分和轻组分，再分别将高沸组分和轻组分经过精馏后得到单一组分，所述的混合废光阻清洗剂为水、四氟丙醇、丙二醇单甲醚、环己酮、N,N-二甲基乙酰胺、N-甲基-2-吡咯烷酮的混合物，其中水占总混合废光阻清洗剂质量百分数的1％～10％，闪蒸过程的温度为130～135℃。2.一种混合废光阻清洗剂的回收装置，其特征在于，包括金属烧结滤芯过滤装置、滤液缓存罐、闪蒸罐、高沸精馏系统和轻组分精馏系统，所述的金属烧结滤芯过滤装置的进料口与过滤进料泵通过管道连接，出料口与滤液缓存罐的进料口连接，所述的滤液缓存罐的出料口与闪蒸罐进料泵通过管道连接，所述的闪蒸罐进料泵将滤液输送至闪蒸罐内部，所述的闪蒸罐的上部为轻组分，下部为高沸组分，所述的轻组分出口与轻组分精馏系统连接，所述的高沸组分出口与高沸组分精馏系统连接。3.根据权利要求2所述的回收装置，其特征在于，所述的轻组分精馏系统包括轻组分精馏塔，所述的轻组分精馏塔的顶部与轻组分精馏塔产品接收罐通过第一管道连接，所述的轻组分精馏塔的底部与第一塔釜再沸器通过管道连接，所述的轻组分精馏塔的进口与闪蒸罐的轻组分出口通过管道连接，该连接管道上还设置一轻组分精馏塔进料控制阀控制轻组分精馏塔的进料...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨水清，庄可，滕海俊，蒋世平，徐康，
申请(专利权)人：江苏盈天化学有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32