一种混合废光阻清洗剂的回收方法及装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及电子行业混合物溶剂回收再生利用技术领域，具体地说，是一种混合废光阻清洗剂的回收方法，采用金属烧结滤芯过滤装置将混合废光阻清洗剂过滤，再将滤液经闪蒸后分离成高沸组分和轻组分，再分别将高沸组分和轻组分经过精馏后得到单一组分。本发明专利技术针对混合废光阻清洗剂，在保证产品品质和收率的前提下，提高了回收效率，实现了资源回收再利用。

A recovery method and device for a mixed waste photoresist cleaning agent

The invention relates to a mixture solvent recycling industry electronic technology field, in particular, is a recycling method of photoresist cleaning agent mixed with waste, sintered metal filter device will waste photoresist cleaning agent, filtration, and the filtrate is separated into high boiling components and light components by flash, respectively the high boiling component and light components after rectification by single component. In view of the mixed waste photoresist cleaning agent, the recovery efficiency is improved on the premise of guaranteeing the product quality and yield, and the recycling and reuse of resources are realized.

【技术实现步骤摘要】
一种混合废光阻清洗剂的回收方法及装置
本专利技术涉及电子行业混合物溶剂回收再生利用
，具体地说，是一种混合废光阻清洗剂的回收方法及装置。
技术介绍
电子行业中，为了制造液晶显示器(LCD)电路或半导体集成电路内所用的微小电路图案，一般在基板上涂覆一种包括聚合物树脂，感光化合物和溶剂的光阻组合物，后经过温烘、辐射显影、热烤、蚀刻等步骤完成电路图案制作；而在进行下一步制作时又必须把固化光阻层去除掉，现行业内基本采用化学法即光阻清洗剂去除法；同时涂布机清洗、玻璃基板边缘清洗、机台管路清洗等都大量使用光阻清洗剂，伴随着近年电子行业的发展，所使用的基板亦在朝大型化方向发展，因此光阻清洗剂的使用量亦在增大。因此，就经济、环保方面考虑，必须对使用过后的混合光阻清洗剂进行回收再利用。专利CN201417363Y公开了一种光阻液的循环回收装置，其利用复数个混合桶的设计而获得较为充分的缓冲空间，这样不仅可以针对预备桶上回收的光阻液进行有效的回收，更可储备较多处理后的光阻液以供后续利用；再者，在处理过程中利用抽真空装置以及恒温装置的设计，能够避免在搅拌过程中产生气泡及温度提高而影响产品品质，从而使回收处理过后的光阻液品质更加稳定且使用寿命更长。专利CN106773536A公开了一种溶剂回收系统和方法以及涂布机和涂布光阻的方法，其利用蒸馏罐、液化冷却罐和过滤器，将待回收的含有光阻和溶剂的混合废液在蒸馏罐中进行蒸馏以使光阻和所述溶剂气化以与光阻分离，气化后的溶剂依次经液化冷却罐进行冷却并经所述过滤器进行过滤除杂；能够对含有光阻的混合废液中的溶剂进行有效回收，从而能够节约溶剂供给成本，节能环保极具工业应用前景。专利CN103728846A公开了一种去光阻液回收系统，包括薄膜蒸发器、过滤装置、回收槽、排放管路、流入管路、排渣管路以及回收管路，其中排放管路的一端接设于薄膜蒸发器的出液口，另一端接设于过滤装置的流入口；流入管路的一端接设于过滤装置的流出口，另一端则接设于薄膜蒸发器的进液口；排渣管路一端连通于排放管路，另一端则连通于流入管路；回收管路一端接设于过滤装置的排渣口，另一端则接设于回收槽的回收口，前述各个装置借由各个管路相互连结后，便组成了一个去光阻液的回收系统；利用去光阻液回收系统进行废渣排放作业时，去光阻液自过滤装置的流出口进入于过滤装置内，并将废渣带走，经由排渣口流入回收管路中，再流入回收槽中进行回收。上述已知光阻液回收方法均适用于单一种类的光阻废液，而由于光阻液种类繁多，各生产车间使用种类不同使用量也有很大差异，考虑到设备成本必然会产生大量混合废光阻清洗剂；且普通过滤装置对于过滤胶状固形物有很大难度，严重影响回收效率。因此，就经济方面、环境方面考虑，业界均期望对于混合废光阻清洗剂的回收系统能够有一套更有效率的方式来进行回收。
技术实现思路
本专利技术为了克服上述技术问题的不足，提供了一种电子行业混合废光阻清洗剂溶剂回收再生利用方法得到单一组分的溶剂，本专利技术以混合废光阻清洗剂为原料经过滤、闪蒸再精馏的方式进行回收分离成各单一组分，解决上述技术问题的技术方案如下：一种混合废光阻清洗剂的回收方法，采用金属烧结滤芯过滤装置将混合废光阻清洗剂过滤，再将滤液经闪蒸后分离成高沸组分和轻组分，再分别将高沸组分和轻组分经过精馏后得到单一组分，所述的混合废光阻清洗剂为水、四氟丙醇、丙二醇单甲醚、环己酮、N,N-二甲基乙酰胺、N-甲基-2-吡咯烷酮的混合物，其中水占总混合废光阻清洗剂质量百分数的1％～10％，闪蒸过程的温度为130～135℃，其中，过滤前用清液混合硅藻土助滤剂循环在金属烧结滤芯上形成1～10cm厚滤饼，过滤后采用氮气或压缩空气加压吹扫去除残留混合废光阻清洗剂。本专利技术还提供了这种混合废光阻清洗剂的回收装置，包括金属烧结滤芯过滤装置、滤液缓存罐、闪蒸罐、高沸精馏系统和轻组分精馏系统，所述的金属烧结滤芯过滤装置的进料口与过滤进料泵通过管道连接，出料口与滤液缓存罐的进料口连接，所述的滤液缓存罐的出料口与闪蒸罐进料泵通过管道连接，所述的闪蒸罐进料泵将滤液输送至闪蒸罐内部，所述的闪蒸罐的上部为轻组分，下部为高沸组分，所述的轻组分出口与轻组分精馏系统连接，所述的高沸组分出口与高沸组分精馏系统连接。进一步地说，所述的轻组分精馏系统包括轻组分精馏塔，所述的轻组分精馏塔的顶部与轻组分精馏塔产品接收罐通过第一管道连接，所述的轻组分精馏塔的底部与第一塔釜再沸器通过管道连接，所述的轻组分精馏塔的进口与闪蒸罐的轻组分出口通过管道连接，该连接管道上还设置一轻组分精馏塔进料控制阀控制轻组分精馏塔的进料速率。进一步地说，所述的第一管道上还依次设置有轻组分精馏塔塔顶冷凝器和轻组分精馏塔塔顶回流控制器。进一步地说，所述的高沸组分精馏系统包括高沸组分精馏塔，所述的高沸组分精馏塔的顶部与高沸组分精馏塔产品接收罐通过第二管道连接，所述的高沸组分精馏塔的底部与第二塔釜再沸器通过管道连接，所述的高沸组分精馏塔的进口与闪蒸罐的高沸组分出口通过管道连接，该连接管道上还设置一高沸组分精馏塔进料控制阀和高沸组分进料泵配合控制高沸组分精馏塔的进料速率。进一步地说，所述的第二管道上还依次设置有高沸组分精馏塔塔顶冷凝器和高沸组分精馏塔塔顶回流控制器。进一步地说，所述的金属烧结滤芯过滤装置采用金属烧结滤芯，材质为304不锈钢或316不锈钢，长度为0.5～2m，直径为2～20cm。进一步地说，所述的轻组分精馏塔为陶瓷波纹填料，控制塔顶回流比为1～10:1。进一步地说，所述的高沸组分精馏塔为板式塔，理论塔板数为40～60，塔顶回流通过工业回流比控制器控制，控制塔顶回流比为1～10:1。进一步地说，整个回收过程为间歇式操作。本专利技术的有益效果是：该专利技术以混合废光阻清洗剂(包括水、四氟丙醇、丙二醇单甲醚、环己酮、N,N-二甲基乙酰胺、N-甲基-2-吡咯烷酮的混合物，其中水占总混合废光阻清洗剂质量百分数的1％～10％)为原料经过金属烧结滤芯过滤装置过滤，进闪蒸罐分为轻组分和高沸组分，分别进轻组分精馏塔和高沸组分精馏塔得到单一组分。本专利技术针对混合废光阻清洗剂，在保证产品品质和收率的前提下，提高了回收效率，实现了资源回收再利用。下面结合附图和具体实施方式对本专利技术作进一步详细的说明。附图说明图1为本专利技术的流程示意图；其中，1为过滤装置，2为滤液缓存罐，3为闪蒸罐，4为过滤进料泵，5为闪蒸罐进料泵，6为轻组分精馏塔，7为轻组分精馏塔产品接收罐，8为第一管道，9为第一塔釜再沸器，10为轻组分精馏塔进料控制阀，11为轻组分精馏塔塔顶冷凝器，12为轻组分精馏塔塔顶回流控制器，13为高沸组分精馏塔，14为高沸组分精馏塔产品接收罐，15为第二管道，16为第二塔釜再沸器，17为高沸组分精馏塔进料控制阀，18为高沸组分进料泵，19为高沸组分精馏塔塔顶冷凝器，20为高沸组分精馏塔塔顶回流控制器，21为氮气或压缩空气吹扫装置。具体实施方式实施例1：一种混合废光阻清洗剂的回收方法，该混合废光阻清洗剂为水、四氟丙醇、丙二醇单甲醚、环己酮、N,N-二甲基乙酰胺、N-甲基-2-吡咯烷酮的混合物，其中水占总混合废光阻清洗剂质量百分数的1％～10％，具体步骤为，采用金属烧结滤芯过滤装置将混合废光阻清洗剂过滤，再将滤液经130℃闪本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种混合废光阻清洗剂的回收方法，其特征在于，采用金属烧结滤芯过滤装置将混合废光阻清洗剂过滤，再将滤液经闪蒸后分离成高沸组分和轻组分，再分别将高沸组分和轻组分经过精馏后得到单一组分，所述的混合废光阻清洗剂为水、四氟丙醇、丙二醇单甲醚、环己酮、N,N‑二甲基乙酰胺、N‑甲基‑2‑吡咯烷酮的混合物，其中水占总混合废光阻清洗剂质量百分数的1％～10％，闪蒸过程的温度为130～135℃。

【技术特征摘要】
1.一种混合废光阻清洗剂的回收方法，其特征在于，采用金属烧结滤芯过滤装置将混合废光阻清洗剂过滤，再将滤液经闪蒸后分离成高沸组分和轻组分，再分别将高沸组分和轻组分经过精馏后得到单一组分，所述的混合废光阻清洗剂为水、四氟丙醇、丙二醇单甲醚、环己酮、N,N-二甲基乙酰胺、N-甲基-2-吡咯烷酮的混合物，其中水占总混合废光阻清洗剂质量百分数的1％～10％，闪蒸过程的温度为130～135℃。2.一种混合废光阻清洗剂的回收装置，其特征在于，包括金属烧结滤芯过滤装置、滤液缓存罐、闪蒸罐、高沸精馏系统和轻组分精馏系统，所述的金属烧结滤芯过滤装置的进料口与过滤进料泵通过管道连接，出料口与滤液缓存罐的进料口连接，所述的滤液缓存罐的出料口与闪蒸罐进料泵通过管道连接，所述的闪蒸罐进料泵将滤液输送至闪蒸罐内部，所述的闪蒸罐的上部为轻组分，下部为高沸组分，所述的轻组分出口与轻组分精馏系统连接，所述的高沸组分出口与高沸组分精馏系统连接。3.根据权利要求2所述的回收装置，其特征在于，所述的轻组分精馏系统包括轻组分精馏塔，所述的轻组分精馏塔的顶部与轻组分精馏塔产品接收罐通过第一管道连接，所述的轻组分精馏塔的底部与第一塔釜再沸器通过管道连接，所述的轻组分精馏塔的进口与闪蒸罐的轻组分出口通过管道连接，该连接管道上还设置一轻组分精馏塔进料控制阀控制轻组分精馏塔的进料...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨水清，庄可，滕海俊，蒋世平，徐康，
申请(专利权)人：江苏盈天化学有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32