下载一种混合废光阻清洗剂的回收方法及装置的技术资料

文档序号:17465948

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本发明涉及电子行业混合物溶剂回收再生利用技术领域,具体地说,是一种混合废光阻清洗剂的回收方法,采用金属烧结滤芯过滤装置将混合废光阻清洗剂过滤,再将滤液经闪蒸后分离成高沸组分和轻组分,再分别将高沸组分和轻组分经过精馏后得到单一组分。本发明针对...
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