一种显影机及其传动装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种用于显影机的传动装置，包括：多个传动单元，多个传动单元的承载点设在同一平面上以形成用以传动基板的承载面；传动单元包括：支撑转轴和连接在支撑转轴上的滚轮，支撑转轴具有中心转动轴线。本发明专利技术还公开了一种显影机。实施本发明专利技术的显影机及其传动装置，减小显影液喷嘴与其下方的传动单元之间的接触面积，降低水膜形成的概率以改善显影不均的问题。

A developing machine and its transmission device

The invention discloses a driving device for developing machine, comprising a plurality of transmission unit, a transmission unit bearing points are located in the same plane to form the surface of the substrate is used for bearing transmission; transmission unit includes a support shaft and connected to the support shaft of the roller, the support shaft has a central axis of rotation. The invention also discloses a developing machine. The developing machine and its transmission device of the invention reduce the contact area between the developer nozzle and the transmission unit below, and reduce the probability of water film formation, so as to improve the uneven development.

【技术实现步骤摘要】
一种显影机及其传动装置
本专利技术涉及显示面板制造领域，尤其涉及一种显影机及其传动装置。
技术介绍
TFT曝光工艺的生产过程中，玻璃基板完成清洗，涂布上光阻后，经过减压干燥和软烤，再进入曝光机，利用MASK在玻璃基板上对光阻定义图形；然后再经过显影制程显示图形，最后经过硬烤，对光阻进行定型后产出玻璃基板。现有技术中：光阻涂布曝光完成后会进行显影制程，被曝光过的光阻会被显影掉，未被曝光的光阻留在基板上，形成工艺需要的图案。TFT显影的方式，显影液喷嘴固定在机台上方吐出显影液，基板经传动装置的传送从显影液喷嘴下方流过，此时显影液喷嘴吐出的显影液全部涂覆在基板上，基板上的光阻经显影液浸泡后达到显影的目的。现有显影机的传动装置因结构设计不合理，存在如下缺陷：显影液喷嘴吐出显影液时，由于液面张力的作用，显影液容易在显影液喷嘴和其下方的传动装置的横梁之间形成水膜。当基板从显影液喷嘴下经过时，水膜很容易覆盖到基板上。当基板与水膜间的空气排除不顺畅时，就容易在基板上形成显影液气泡，最终导致气泡光阻显影不均匀，形成大颗光阻残留缺陷。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题在于，提供一种显影机及其传动装本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于显影机的传动装置，其特征在于，包括：多个传动单元，所述多个传动单元的承载点设在同一平面上以形成用以传动基板的承载面；所述传动单元包括：支撑转轴和连接在所述支撑转轴上的滚轮，所述支撑转轴具有中心转动轴线。

【技术特征摘要】
1.一种用于显影机的传动装置，其特征在于，包括：多个传动单元，所述多个传动单元的承载点设在同一平面上以形成用以传动基板的承载面；所述传动单元包括：支撑转轴和连接在所述支撑转轴上的滚轮，所述支撑转轴具有中心转动轴线。2.如权利要求1所述的用于显影机的传动装置，其特征在于，任一所述多个传动单元对其上的所述滚轮进行单独驱动。3.如权利要求1或2所述的用于显影机的传动装置，其特征在于，所述多个传动单元排布成多列，任一列上的所述多个传动单元的中心转动轴线设置在同一直线上。4.如权利要求3所述的用于显影机的传动装置，其特征在于，所述多个传动单元...

【专利技术属性】
技术研发人员：齐鹏博，陈叶凯，
申请(专利权)人：武汉华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42