一种倾斜反射镜系统技术方案

本发明专利技术提供了一种倾斜反射镜系统，包括：主控制器，用于根据目标偏转角度生成第一控制信号控制第一驱动装置产生微位移以带动反射镜装置以第一角度偏转；第一测量装置，用于根据第一驱动装置产生的第一位移得到反射镜装置的第一偏转角度；主控制器还用于，在检测到第一偏转角度与目标偏转角度不匹配时，根据第一偏转角度与目标偏转角度的差值生成第二控制信号控制第二驱动装置产生微位移以带动反射镜装置以第二角度偏转；反射镜装置，用于经过第一角度偏转和第二角度偏转对入射光进行实时反射校正，以在周期迭代后使得入射光的偏转角度达到目标偏转角度，实现了高精度、高带宽、大行程的角度倾斜校正，实用性较佳。

An inclined mirror system

The invention provides a tilt mirror system comprises a main controller, for generating a first control signal to control the first driving device to produce micro displacement to drive the mirror device at a first angle according to the deflection angle of deflection; the first measuring device, according to the first deflection angle of the first drive device has first displacement mirror device the main controller is also used to; first, deflection angle and the deflection angle of the target does not match at the time of detection, according to the difference between the first second generation deflection angle and the deflection angle of the target control signal to control the second generation micro displacement driving device to drive the mirror device with second angle deflection; mirror device for after the first and second angle deflection angle deflection the incident light is reflected in real time correction, cycle iterative makes the deflection angle of incident light up To the angle of target deflection, the angle correction of high precision, high bandwidth and large stroke is realized, and the practicability is better.

【技术实现步骤摘要】
一种倾斜反射镜系统
本专利技术涉及光学仪器光路折转
，具体涉及一种倾斜反射镜系统。
技术介绍
倾斜反射镜(FastSteeringMirror,FSM)，是一种通过自身镜面的快速微小偏转来改变光束传输方向的可控平面反射镜。目前广泛用于自适应光学系统、目标跟踪、激光光束稳定、激光雷达以及空间光通信等领域。倾斜反射镜主要靠驱动器的伸缩来实现镜面角度的快速偏转，因此驱动器的类型会极大影响倾斜反射镜的性能。目前用于快速调整倾斜反射镜偏转角度的驱动器主要以音圈电机(VCA)和压电陶瓷(PZT)为主。然而，不管是以音圈电机进行驱动，还是以压电陶瓷进行驱动，其对应传统的倾斜反射镜的工作原理是类似的。如图1所示，图1中1-6的标号分别对应于控制器、高压放大器、倾斜镜底座、驱动器、柔性连接机构和倾斜镜镜面，当需要倾斜镜镜面6在X、Y方向分别转动(tx,ty)时，控制器1根据倾斜镜的控制参数输出的控制电压(vx,vy)，(vx,vy)经过两台高压放大器2放大后成为(Vx,Vy)，将(Vx,Vy)分别加载到X轴和Y轴的驱动器4上，两轴驱动器4在电压的作用下伸长(dx,dy)，由于倾斜反射镜的底座3是本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种倾斜反射镜系统，其特征在于，包括：主控制器、第一驱动装置、第二驱动装置、第一测量装置和反射镜装置；所述主控制器，用于根据目标偏转角度，生成第一控制信号；根据所述第一控制信号控制所述第一驱动装置产生微位移；所述第一驱动装置产生微位移带动所述反射镜装置以第一角度偏转；所述第一测量装置，用于检测所述第一驱动装置产生的第一位移，根据所述第一位移得到所述反射镜装置的第一偏转角度；所述主控制器还用于，在检测到所述第一偏转角度与目标偏转角度不匹配时，根据所述第一偏转角度与所述目标偏转角度的差值，生成第二控制信号；根据所述第二控制信号控制所述第二驱动装置产生微位移；所述第二驱动装置产生微位移带动所述反射镜...

【技术特征摘要】
1.一种倾斜反射镜系统，其特征在于，包括：主控制器、第一驱动装置、第二驱动装置、第一测量装置和反射镜装置；所述主控制器，用于根据目标偏转角度，生成第一控制信号；根据所述第一控制信号控制所述第一驱动装置产生微位移；所述第一驱动装置产生微位移带动所述反射镜装置以第一角度偏转；所述第一测量装置，用于检测所述第一驱动装置产生的第一位移，根据所述第一位移得到所述反射镜装置的第一偏转角度；所述主控制器还用于，在检测到所述第一偏转角度与目标偏转角度不匹配时，根据所述第一偏转角度与所述目标偏转角度的差值，生成第二控制信号；根据所述第二控制信号控制所述第二驱动装置产生微位移；所述第二驱动装置产生微位移带动所述反射镜装置以第二角度偏转；所述反射镜装置，用于经过第一角度偏转和第二角度偏转对入射光进行实时反射校正，以在周期迭代后使得所述入射光的偏转角度达到所述目标偏转角度。2.根据权利要求1所述的倾斜反射镜系统，其特征在于，还包括第二测量装置，所述第二测量装置，用于检测所述第二驱动装置的位移量，根据所述位移量得到第二偏转角度；所述主控制器还用于，在所述第一偏转角度和所述第二偏转角度的总偏转角度与所述目标偏转角度不匹配时，根据所述第一偏转角度与所述第二偏转角度之和与所述目标偏转角度的差值，生成下一周期的第二控制信号。3.根据权利要求2所述的倾斜反射镜系统，其特征在于，还包括高压放大装置；所述高压放大装置，用于对所述第一控制信号进行放大，并将放大后的所述第一控制信号发送至所述第一驱动装置，以及对所述第二控制信号进行放大，并将放大后的所述第二控制信号发送至所述第二驱动装置。4.根据权利要求3所述的倾斜反射镜系统，其特征在于，所述反射镜装置包括第一反射镜和第二反射镜；所述第一驱动装置，用于根据放大后的所述第一控制信号控制自身按照第一工作参数产生微位移，以根据所述微位移带动所述第一反射镜以第一角度偏转；所述第二驱动装置，用于根据放大后的所述第二控制信号控制自身按照第二工作参数产生微位移，以根据所述微位移带动所述第二反射镜以第二角度偏转。5.根据权利要求4所述的倾斜反射镜系统，其特征在于，所述第一驱动装置...

【专利技术属性】
技术研发人员：马晓燠，杨奇龙，饶长辉，鲜浩，魏凯，
申请(专利权)人：中国科学院光电技术研究所，
类型：发明
国别省市：四川,51