光学装置、加工装置及物品制造方法制造方法及图纸

公开了光学装置、加工装置及物品制造方法。该光学装置包括：包括第一反射表面和第二反射表面的可旋转反射部件；光学系统，包括多个反射表面并且被配置为在该多个反射表面处依次反射已经于第一反射表面处反射的光以使光入射到第二反射表面上；驱动部分，被配置为改变反射部件的角度；控制单元，被配置为控制驱动部分以改变在于第二反射表面处反射之后从反射部件发射出的光的路径；以及光入射部分，被配置为识别已经在第一反射表面处反射的光的位置。

Optical devices, machining devices and methods of manufacture

【技术实现步骤摘要】
光学装置、加工装置及物品制造方法
本专利技术涉及光学装置、加工装置及物品制造方法。
技术介绍
在激光加工装置等中的光学扫描装置可以包括平移光学系统、会聚光学系统以及偏转光学系统，用于会聚来自方位角(θx，θy)的光并且利用经会聚的光照射物体上的位置(x，y，z)。平移光学系统是使入射到下面描述的会聚光学系统上的光平移(平行移位)以改变方位角的光学系统(见日本专利申请公开No.2016-103007)。会聚光学系统是改变光的焦点位置(z)以将光会聚于物体上的光学系统。偏转光学系统(也称为扫描光学系统)包括用于改变光照射位置(x，y)的偏转光学元件，诸如镜(mirror)。在这些光学系统当中，在日本专利申请公开No.2016-103007中讨论的平移光学系统包括具有第一反射表面和第二反射表面的可旋转反射部件。平移光学系统还包括在多个反射表面处依次反射已经由第一反射表面反射的光以使光入射在第二反射表面上的光学系统。平移光学系统还包括调整单元，该调整单元通过改变反射部件的旋转角度来调整已经由第二反射表面反射并从反射部件发射出的光的路径。这样的配置实现了对从反射部件最终发射出的光的平移(平行移本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光学装置，其特征在于，包括：反射部件，包括第一反射表面和第二反射表面；光学系统，包括多个反射表面并且被配置为在所述多个反射表面上依次反射已经由所述第一反射表面反射的光以将所述光引导到所述第二反射表面；驱动部分，被配置为改变所述光在所述反射部件的所述第一反射表面上的入射角；控制单元，被配置为控制所述驱动部分，使得在所述光已经于所述第二反射表面上反射之后从所述反射部件输出的所述光的路径能够受到控制；以及光入射部分，被配置为指示在所述光已经由所述第一反射表面反射之后的入射光的位置。

【技术特征摘要】
2016.08.30 JP 2016-1686121.一种光学装置，其特征在于，包括：反射部件，包括第一反射表面和第二反射表面；光学系统，包括多个反射表面并且被配置为在所述多个反射表面上依次反射已经由所述第一反射表面反射的光以将所述光引导到所述第二反射表面；驱动部分，被配置为改变所述光在所述反射部件的所述第一反射表面上的入射角；控制单元，被配置为控制所述驱动部分，使得在所述光已经于所述第二反射表面上反射之后从所述反射部件输出的所述光的路径能够受到控制；以及光入射部分，被配置为指示在所述光已经由所述第一反射表面反射之后的入射光的位置。2.根据权利要求1所述的光学装置，其中所述控制单元被配置为控制所述驱动部分，以将已经由所述第一反射表面反射的所述光引导到所述光入射部分。3.根据权利要求2所述的光学装置，还包括反射型光学元件，所述反射型光学元件被配置为将已经由所述第一反射表面反射的所述光反射到所述光入射部分，其中所述控制单元被配置为控制所述驱动部分，以将已经由所述第一反射表面反射的所述光朝着所述反射型光学元件引导。4.根据前述任意一项权利要求所述的光学装置，其中所述光中的至少一些透射通过所述多个反射表面之一，并且入射到所述光入射部分上。5.根据权利要求1所述的光学装置，其中所述光入射部分包括以下中的至少一个：被配置为检测所述入射光的位置的检测元件，用于将所述光透射到所述光学装置的外部的窗口，以及用于观察所述入射光的屏幕。6.根据权利要求1所述的光学装置，其中所述光入射部分包括所述光入射在上面的屏幕，以及被配置为捕捉所述入射光在所述屏幕上的图像的图像拾取单元。7.根据权利要求5所述的光学装置，其中所述屏幕包括指示所述入射光的位置的标记。8.根据权利要求1所述的光学装置，其中所述多个反射表面中的至少一个具有角度调整功能。9.根据权利要求1所述的光学装置，还包括：第二反射部件，包括第三反射表面以及第四反射表面，其中从所述反射部件输出的所述光入射到所述第三反射表面上；第二光学系统，包括第二组多...

【专利技术属性】
技术研发人员：久米政治，井上晋宏，
申请(专利权)人：佳能株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP