下载光学装置、加工装置及物品制造方法的技术资料

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公开了光学装置、加工装置及物品制造方法。该光学装置包括:包括第一反射表面和第二反射表面的可旋转反射部件;光学系统,包括多个反射表面并且被配置为在该多个反射表面处依次反射已经于第一反射表面处反射的光以使光入射到第二反射表面上;驱动部分,被配置...
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