一种三轴加速计制造技术

本发明专利技术公开了一种三轴加速计，包括设置凹槽的质量块，所述凹槽贯穿所述质量块的上下两个端面，且所述凹槽沿X轴方向以及Y轴方向均对称；所述质量块通过设置于所述凹槽的组合梁连接于固定锚点。上述三轴加速计，能够大幅提高传感器的敏感度，缩小敏感质量，还能够减小三轴加速计的面积。

【技术实现步骤摘要】
一种三轴加速计
本专利技术涉及MEMS
，特别涉及一种三轴加速计。
技术介绍
基于微机电系统(MEMS，Micro-Electro-Mechanical-System)而加工制作的微型加速计因其体积小、成本低、集成性好、性能优良等诸多优点已在工业，医疗，民用，军事等非常广泛的领域得到了越来越多的应用。目前，在各类移动终端、相机、游戏手柄、导航仪等产品的应用中，已经成为标准配置。在研制过程中，电容式，电阻式，压电式作为检测加速度的方式是主要应用的机理；其中，电容式加速度计因其结构简单，成本低廉，并可在低频范围内拥有较高的灵敏度和线性度等优势，成为最为流行的一类加速度计。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种三轴加速计，该三轴加速计可以解决敏感效率不高的问题。为实现上述目的，本专利技术提供一种三轴加速计，包括设置凹槽的质量块，所述凹槽贯穿所述质量块的上下两个端面，且所述凹槽沿X轴方向以及Y轴方向均对称；所述质量块通过设置于所述凹槽的组合梁连接于固定锚点。相对于上述
技术介绍
，本专利技术提供的三轴加速计，利用组合梁将质量块连接于固定锚点，并且组合梁与质量块的凹槽相配合；凹槽沿着X轴方向本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种三轴加速计，其特征在于，包括设置凹槽的质量块，所述凹槽贯穿所述质量块的上下两个端面，且所述凹槽沿X轴方向以及Y轴方向均对称；所述质量块通过设置于所述凹槽的组合梁连接于固定锚点。

【技术特征摘要】
1.一种三轴加速计，其特征在于，包括设置凹槽的质量块，所述凹槽贯穿所述质量块的上下两个端面，且所述凹槽沿X轴方向以及Y轴方向均对称；所述质量块通过设置于所述凹槽的组合梁连接于固定锚点。2.根据权利要求1所述的三轴加速计，其特征在于，所述凹槽呈上下以及左右对称的工字型，所述凹槽包括上下两个水平槽以及与两个所述水平槽连接的连通槽；所述组合梁包括分别设置于两个所述水平槽的弹簧梁，还包括与两根所述弹簧梁连通的刚性梁。3.根据权利要求2所述的三轴加速计，其特征在于，两个所述水平槽平行于X轴设置，所述连通槽平行于Y轴设置。4.根据权利要求1所述的三轴加速计，其特征在于，所述凹槽设置于所述质量块的正中部。5.根据权利要求1所述的三轴加速计，其特征在于，所述固定锚点设置于所述凹槽的外侧。6.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：邹波，郑青龙，
申请(专利权)人：深迪半导体上海有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31