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本发明公开了一种三轴加速计,包括设置凹槽的质量块,所述凹槽贯穿所述质量块的上下两个端面,且所述凹槽沿X轴方向以及Y轴方向均对称;所述质量块通过设置于所述凹槽的组合梁连接于固定锚点。上述三轴加速计,能够大幅提高传感器的敏感度,缩小敏感质量,还...该专利属于深迪半导体(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深迪半导体(上海)有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种三轴加速计,包括设置凹槽的质量块,所述凹槽贯穿所述质量块的上下两个端面,且所述凹槽沿X轴方向以及Y轴方向均对称;所述质量块通过设置于所述凹槽的组合梁连接于固定锚点。上述三轴加速计,能够大幅提高传感器的敏感度,缩小敏感质量,还...