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本发明公开了一种三轴加速计，包括设置凹槽的质量块，所述凹槽贯穿所述质量块的上下两个端面，且所述凹槽沿X轴方向以及Y轴方向均对称；所述质量块通过设置于所述凹槽的组合梁连接于固定锚点。上述三轴加速计，能够大幅提高传感器的敏感度，缩小敏感质量，还...
该专利属于深迪半导体（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深迪半导体（上海）有限公司授权不得商用。

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