一种真空光学检测系统技术方案

本发明专利技术提供的真空光学检测系统，包括空间光学遥感器、低气压模拟装置、干涉仪、用于容纳干涉仪的真空容器、用于调整空间光学遥感器和真空容器的精密调整装置，精密调整装置和真空容器均容纳于低气压模拟装置中，低气压模拟装置为具有一开口的密闭容器，真空容器通过波纹管与开口柔性密闭连通，外界大气通过开口与真空容器连通，低气压模拟装置为空间光学遥感器提供低气压环境，通过精密调整装置调整空间光学遥感器与真空容器的位置，使空间光学遥感器的焦面和干涉仪的焦面之间按照预设位置关系对准，从而实现在真空环境下对空间光学遥感器进行光学检测。

【技术实现步骤摘要】
一种真空光学检测系统
本专利技术涉及光学检测
，特别涉及一种真空光学检测系统。
技术介绍
考虑到空间光学遥感器工作在太空低气压(近似真空)环境中，因此为了更接近真实的测试其光学系统的性能，最好是在低气压条件下进行光学系统的检测工作。现有的技术条件下，空间光学遥感器的检测一般是在实验室条件下进行的，随着光学遥感器的口径增大和焦距变长，实验室环境中的大气扰动对光学检测的影响越来越大。目前只能通过保证实验室的气流平稳，来减少大气扰动对光学系统检测的影响，而无法从根本上消除大气的扰动和存在对光学检测结果的不利影响。对于空间遥感器光学系统性能的检测，目前常用的方法是采用高精度干涉仪来测量系统的波相差。现有的干涉仪，由于其内部光学系统和电子器件的限制，无法直接在真空环境中使用，而且在真空环境中造成干涉仪工作时散热困难。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术实施例提供了一种真空光学检测系统，既满足了空间光学遥感器需要真空光学检测的工程需求，又能解决干涉仪只能在大气常压条件下工作的应用限制，结构简单，便于光学检测工作的实现。本专利技术提供了一种真空光学检测系统，包括空间光学遥感器、低气压模拟装置、干涉仪、用于容纳所述干涉仪的真空容器、用于调整所述空间光学遥感器和所述真空容器的精密调整装置，所述精密调整装置和所述真空容器均容纳于所述低气压模拟装置中，所述低气压模拟装置为具有一开口的封闭容器，所述真空容器与所述开口柔性密闭连通，外界大气通过所述开口与所述真空容器连通，所述低气压模拟装置为所述空间光学遥感器提供低气压环境，通过所述精密调整装置调整所述空间光学遥感器与所述真空容器的位置，以使得所述空间光学遥感器的焦面和所述干涉仪的焦面之间按照预设位置关系对准。可选地，还包括真空泵，所述真空泵用于抽真空所述低气压模拟装置。可选地，所述开口和所述真空容器之间设有波纹管，所述波纹管分别与所述开口及所述真空容器密闭连通，所述真空容器通过所述波纹管、所述开口与外界大气连通。可选地，所述真空容器朝向所述空间光学遥感器一侧设有光学窗口，所述干涉仪通过所述光学窗口对所述空间光学遥感器的波相差进行真空检测。可选地，所述低气压模拟装置为立方体结构的封闭容器。可选地，所述真空容器为桶形结构，所述桶形结构的内部空间大于所述干涉仪的包络尺寸。可选地，所述低气压模拟装置的侧壁上还设有抽气口，所述抽气口可与所述真空泵连通。可选地，所述真空容器具有可拆卸的端盖和与所述端盖配合的容器本体，所述端盖设有通孔，所述通孔与所述波纹管密闭连通。可选地，所述端盖与所述端盖与所述容器本体之间采用螺纹连接。可选地，所述端盖和所述容器本体之间还设有密封圈。从以上技术方案可以看出，本专利技术实施例具有以下优点：本专利技术提供的一种真空光学检测系统，包括空间光学遥感器、低气压模拟装置、干涉仪、用于容纳所述干涉仪的真空容器、用于调整所述空间光学遥感器和所述真空容器的精密调整装置，所述精密调整装置和所述真空容器均容纳于所述低气压模拟装置中，所述低气压模拟装置为具有一开口的封闭容器，所述真空容器与所述开口柔性密闭连通，外界大气通过所述开口与所述真空容器连通，所述低气压模拟装置为所述空间光学遥感器提供低气压环境，通过所述精密调整装置调整所述空间光学遥感器与所述真空容器的位置，以使得所述空间光学遥感器的焦面和所述干涉仪的焦面之间按照预设位置关系对准，既解决了空间光学遥感器需要真空光学检测的工程需求，又能满足干涉仪只能在大气常压条件下工作的应用限制，结构简单，便于检测工作的实现。附图说明图1是本专利技术实施例中的真空光学检测系统的一种结构示意图。附图标记：空间光学遥感器1、低气压模拟装置2、干涉仪3、真空容器4、精密调整装置5、波纹管6、端盖7、光学窗口8。具体实施方式为了使本
的人员更好地理解本专利技术方案，下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本专利技术保护的范围。本专利技术的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”、“第三”、“第四”等(如果存在)是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的实施例能够以除了在这里图示或描述的内容以外的顺序实施。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。结合图1所示，本专利技术提供了一种真空光学检测系统，包括空间光学遥感器1、低气压模拟装置2、干涉仪3、用于容纳所述干涉仪3的真空容器4、用于调整所述空间光学遥感器1和所述真空容器4的精密调整装置5，所述精密调整装置5和所述真空容器4均容纳于所述低气压模拟装置2中，所述低气压模拟装置2为具有一开口的封闭容器，所述真空容器4与所述开口柔性密闭连通，外界大气通过所述开口与所述真空容器4连通，所述低气压模拟装置2为所述空间光学遥感器1提供低气压环境，通过所述精密调整装置5调整所述空间光学遥感器1与所述真空容器的位置，以使得所述空间光学遥感器1的焦面和所述干涉仪3的焦面之间按照预设位置关系对准。低气压模拟装置2提供检测时所需的内部低气压环境，该装置内部空间要足够大，保证光学遥感器和干涉仪3等设备能布置在该装置内，具体地，所述低气压模拟装置2可以为立方体结构的封闭容器，材质也可以采用透明材料，如钢化玻璃，便于对实验过程进行观察，对此不做限定。利用波纹管6的柔性和密闭性，所述真空容器4通过波纹管6与低气压模拟装置2之间实现柔性和密封连接，保证低气压模拟装置2的密封性，外部大气通过波纹管6与干涉仪3容器连通，使干涉仪3处于常压环境中。干涉仪3的供电和信号传输电缆穿入波纹管6内与干涉仪3相连，另外也可以通过波纹管6对干涉仪3进行散热。所述真空容器与所述开口柔性密闭连通，便于真空容器进行位置调整，使得开口和真空容器之间可以产生相对的位移，在一种方案中，所述开口和所述真空容器之间设有波纹管6，所述波纹管6分别与所述开口及所述真空容器密闭连通，所述真空容器通过所述波纹管6、所述开口与外界大气连通，对于波纹管6的材质可以采用金属波纹管也或是橡胶波纹管，对此不做限定。需要说明的是，波纹管6不仅可以将真空容器的内部与低气压模拟装置2的外部大气连通，还可以将干涉仪3的供电和信号传输电缆穿入波纹管6内与干涉仪3相连，另外也可以通过该波纹管6对干涉仪3进行散热。真空容器4需要保证在内部常压下不会向外部真空环境漏气，内部空间要足够大，保证干涉仪3能布置在该装置内，具体地说，所述真空容器为桶形结构，所述桶形结构的内部空间大于所述干涉仪3的包络尺寸。所述真空容器朝向所述空间光学遥感器1一侧设有光学窗口8，所述干涉仪3通过所述光学窗口8对所述空间光学遥感器1的波相差进行真空检测，可以保证干涉仪3通过该窗口进行光学检测工作。本系统还包括真空泵，所述真空泵用于抽真空所述低气压模本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空光学检测系统，其特征在于，包括空间光学遥感器、低气压模拟装置、干涉仪、用于容纳所述干涉仪的真空容器、用于调整所述空间光学遥感器和所述真空容器的精密调整装置，所述精密调整装置和所述真空容器均容纳于所述低气压模拟装置中，所述低气压模拟装置为具有一开口的封闭容器，所述真空容器与所述开口之间柔性密闭连通，外界大气通过所述开口与所述真空容器连通，所述低气压模拟装置为所述空间光学遥感器提供低气压环境，通过所述精密调整装置调整所述空间光学遥感器与所述真空容器的位置，以使得所述空间光学遥感器的焦面和所述干涉仪的焦面之间按照预设位置关系对准。

【技术特征摘要】
1.一种真空光学检测系统，其特征在于，包括空间光学遥感器、低气压模拟装置、干涉仪、用于容纳所述干涉仪的真空容器、用于调整所述空间光学遥感器和所述真空容器的精密调整装置，所述精密调整装置和所述真空容器均容纳于所述低气压模拟装置中，所述低气压模拟装置为具有一开口的封闭容器，所述真空容器与所述开口之间柔性密闭连通，外界大气通过所述开口与所述真空容器连通，所述低气压模拟装置为所述空间光学遥感器提供低气压环境，通过所述精密调整装置调整所述空间光学遥感器与所述真空容器的位置，以使得所述空间光学遥感器的焦面和所述干涉仪的焦面之间按照预设位置关系对准。2.根据权利要求1所述的真空光学检测系统，其特征在于，还包括真空泵，所述真空泵用于所述低气压模拟装置抽真空。3.根据权利要求1所述的真空光学检测系统，其特征在于，所述开口和所述真空容器之间设有波纹管，所述波纹管分别与所述开口及所述真空容器密闭连通，所述真空容器通过所述波纹管、所述开口与外界大气连通...

【专利技术属性】
技术研发人员：贾平，郭疆，李宪斌，邵明东，朱磊，王浩，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：发明
国别省市：吉林,22