接合体制造装置、MEMS元件和液体喷射头的制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种能够在通过粘合剂进行接合之际可靠地检测出粘合剂的涂覆不均从而将粘合不良防范于未然的接合体的制造方法、MEMS元件的制造方法、液体喷射头的制造方法、以及接合体的制造装置。在由多个结构体通过粘合剂而相互接合成的接合体的制造方法中，包括：将粘合剂层形成在介质的一面上的粘合剂层形成工序；对在粘合剂层形成工序中所形成的粘合剂层的粘度进行调节的粘度调节工序；将在粘度调节工序中被调节了粘度的粘合剂层转印到结构体上的转印工序，在转印工序之前的阶段中，实施对转印薄膜上的粘合剂层的表面粗糙度进行测定的表面粗糙度测定工序。

Manufacturing method of joint manufacturing device, MEMS element and liquid jet head

The invention provides an adhesive bonding through the occasion of reliable detection of adhesive coating uneven to poor adhesion preventive assembly manufacturing method, MEMS device manufacturing method, liquid jet head manufacturing method and assembly manufacturing device. Included in the manufacturing method of mutually connected body synthesized by several structures by adhesive, adhesive layer: an adhesive layer formed on one side of the medium in the formation process of formation; adhesive layer formed in the process of the adhesive layer to adjust viscosity viscosity control process in viscosity control process; by adjusting the viscosity of the adhesive layer onto a transfer process structure, in the printing procedure before the stage, the implementation of the surface of the adhesive layer of the transfer film on the roughness of the measured surface roughness measurement process.

【技术实现步骤摘要】
接合体制造装置、MEMS元件和液体喷射头的制造方法
本专利技术涉及一种接合体的制造方法、MEMS元件的制造方法、液体喷射头的制造方法、以及接合体的制造装置，尤其涉及一种通过粘合剂而使多个结构体接合而成的接合体的制造方法、MEMS元件的制造方法、液体喷射头的制造方法、以及接合体的制造装置。
技术介绍
液体喷射装置为，具备液体喷射头并且从该喷射头喷射(喷出)各种液体的装置。作为该液体喷射装置，例如有喷墨式打印机、喷墨式绘图机等图像记录装置，但是，最近还发挥能够使极少量的液体准确地喷落在预定位置处这一优点而被应用于各种制造装置中。例如，应用于制造液晶显示器等滤色器的显示器制造装置、有机EL(ElectroLuminescence，电致发光)显示器、形成FED(面发光显示器)等的电极的电极形成装置、制造生物芯片(生物化学元件)的芯片制造装置中。作为被应用于液体喷射头中的MEMS元件，存在具有通过粘合剂而使结构体(基板)在多个被层压的状态下被接合的接合体的MEMS元件。在构成该接合体的各个结构体中设置有与喷嘴连通的液体流道、用于使液体流道内的液体产生压力变动而从喷嘴喷射出的可动区域等。由于由这本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种接合体的制造方法，其特征在于，为多个结构体在被层压的状态下通过粘合剂而相互接合成的接合体的制造方法，所述接合体的制造方法包括：将粘合剂层形成在介质的一面上的粘合剂层形成工序；对在所述粘合剂层形成工序中所形成的所述粘合剂层的粘度进行调节的粘度调节工序；将在所述粘度调节工序中被调节了粘度的所述粘合剂层转印到所述结构体上的转印工序，在所述转印工序之前的阶段中，实施对所述介质上的所述粘合剂层的表面粗糙度进行测定的表面粗糙度测定工序。

【技术特征摘要】
2016.08.19 JP 2016-161045;2016.12.20 JP 2016-246271.一种接合体的制造方法，其特征在于，为多个结构体在被层压的状态下通过粘合剂而相互接合成的接合体的制造方法，所述接合体的制造方法包括：将粘合剂层形成在介质的一面上的粘合剂层形成工序；对在所述粘合剂层形成工序中所形成的所述粘合剂层的粘度进行调节的粘度调节工序；将在所述粘度调节工序中被调节了粘度的所述粘合剂层转印到所述结构体上的转印工序，在所述转印工序之前的阶段中，实施对所述介质上的所述粘合剂层的表面粗糙度进行测定的表面粗糙度测定工序。2.如权利要求1所述的接合体的制造方法，其特征在于，在所述表面粗糙度测定工序中，以非接触的方式对形成在所述介质上的所述粘合剂层的所述表面粗糙度进行测定。3.如权利要求1所述的接合体的制造方法，其特征在于，在所述转印工序中，当在所述表面粗糙度测定工序中所述粘合剂层的所述表面粗糙度小于预先规定的预定值的情况下实施转印。4.如权利要求1所述的接合体的制造方法，其特征在于，在所述转印工序中，当在所述表面粗糙度测定工序中朝向所述粘合剂层照射光时的反射光的受光强度大于预先规定的预定值的情况下实施转印。5.如权利要求1所述的接合体的制造方法，其特征在于，所述表面粗糙度测定工序在所述粘合剂层形成工序与所述粘度调节工序之间实施。6.如权利要求1所述的接合体的制造方法，其特征在于，所述表面粗糙度测定工序在所述粘度调节工序与所述转印工序之间实施。7.如权利要求1所述的接合体的制造方法，其特征在于，在所述表面粗糙度测定工序中还结合所述粘合剂层的厚度一起进行测定。8.一种微机电系统元件的制造方法，其特征在于，为具有由多个结构体在被层压的状态下通过粘合剂而相互接合成的接合体的微机电系统元件的制造方法，在所述微机电系统元件的制造方法中，通过权利要求1所述的接合体的制造方法而制造所述接合体。9.一种液体喷射头的制造方法，其特征在于，为具有由多个结构体在被层压的...

【专利技术属性】
技术研发人员：土屋宽之，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP