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本发明提供一种能够在通过粘合剂进行接合之际可靠地检测出粘合剂的涂覆不均从而将粘合不良防范于未然的接合体的制造方法、MEMS元件的制造方法、液体喷射头的制造方法、以及接合体的制造装置。在由多个结构体通过粘合剂而相互接合成的接合体的制造方法中，...
该专利属于精工爱普生株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。

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