湿空气形成装置、包括其的检查装置及检查方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种使测量对象物冷却为预定温度，并向冷却的测量对象物喷射预定温度的湿空气，在测量对象物的表面形成水雾颗粒的湿空气形成装置及包括其的测量系统。本发明专利技术的湿空气形成装置包括：冷却部，其进行运转，以使测量对象物冷却到第一温度以下；湿空气供应部，其用于形成高于第一温度的第二温度的湿空气，向冷却的测量对象物的表面喷射湿空气，在冷却的测量对象物的表面形成水雾颗粒。

Wet air forming device, including its inspection device and inspection method

The invention provides a wet air forming device for spraying a predetermined temperature at a predetermined temperature and cooling the measured object, and forming a water mist particle on the surface of the object, and a measuring system including the wet air. Wet air forming apparatus of the invention comprises a cooling part, its operation, so that the measurement object is cooled to a first temperature; wet air supply, which is used to form a first temperature higher than the wet air temperature second, jet wet air to the surface of the measured object cooling, water mist particles formed in the surface measurement the object of the cooling.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】湿空气形成装置、包括其的检查装置及检查方法
本专利技术涉及测量领域，特别是涉及湿空气形成装置、包括其的检查装置及检查方法。
技术介绍
一般而言，测量系统是照明部形成格子图案光并照射于测量对象物，拍摄部接收从测量对象物反射的光，利用接收的光来测量测量对象物的形状。即，测量系统为了测量测量对象物的形状，从测量对象物反射的光需要被拍摄部接收。如果光在测量对象物的表面散射，则散射的光全方位传播。因此，拍摄部可以与拍摄部位置无关地接收反射的光。但是，在测量对象物在表面具有诸如反射镜或玻璃面的镜面反射面的情况下，光会在表面正反射或透过。在光正反射的情况下，正反射的光只向既定方向行进，因而在固定位置的拍摄部难以感知光。另外，在光透过测量对象物的情况下，入射到拍摄部的光减少，因而固定位置的拍摄部难以感知光。因此，难以对测量对象物执行准确测量。
技术实现思路
解决的技术问题本专利技术的一个实施例提供一种利用结露现象而在测量对象物的表面均匀形成的水雾颗粒(waterparticles)的湿空气形成装置及包括其的测量系统。本专利技术的一个实施例提供一种利用结露现象而在测量对象物的表面均匀形成水雾颗粒并执行检查本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种湿空气形成装置，其中，包括：湿空气供应部，其用于将温度高于测量对象物温度的暖风与湿气混合而形成湿空气，向所述测量对象物的表面喷射所述湿空气，在所述测量对象物的表面形成水雾颗粒。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.06.08 KR 10-2015-0080674;2015.06.30 KR 10-2011.一种湿空气形成装置，其中，包括：湿空气供应部，其用于将温度高于测量对象物温度的暖风与湿气混合而形成湿空气，向所述测量对象物的表面喷射所述湿空气，在所述测量对象物的表面形成水雾颗粒。2.根据权利要求1所述的湿空气形成装置，其中，还包括冷却部，其进行运转，以使所述测量对象物冷却。3.根据权利要求2所述的湿空气形成装置，其中，所述冷却部包括：测量对象物承载部，其用于承载多个所述测量对象物；冷风形成部，其进行运转，以便形成冷风；及冷风供应管，其用于连接所述测量对象物承载部与所述冷风形成部，将在所述冷风形成部形成的所述冷风供应到所述测量对象物承载部内。4.根据权利要求3所述的湿空气形成装置，其中，所述冷却部还包括：冷风循环管，其用于连接所述测量对象物承载部与所述冷风形成部，使供应到所述测量对象物承载部内的所述冷风向所述冷风形成部循环。5.根据权利要求1所述的湿空气形成装置，其中，所述湿空气供应部包括：暖风形成部，其进行运转，以便形成所述暖风；加湿部，其进行运转，以便形成所述湿气；及混合部，其进行运转，以便混合所述暖风及所述湿气，形成所述湿空气。6.根据权利要求5所述的湿空气形成装置，其中，所述混合部包括：外壳，其包括供所述暖风流入的第一流入口、供所述湿气流入的第二流入口及供所述湿空气吐出的吐出口；及混合管，其具有供从所述第二流入口流入的所述湿气穿过的多个贯通孔，连接于所述第一流入口和所述吐出口，混合从所述第一流入口流入的所述暖风和穿过所述贯通孔的所述湿气，形成所述湿空气。7.根据权利要求1所述的湿空气形成装置，其中，还包括冷却台，其使喷射了所述湿空气的所述测量对象物冷却并保持。8.根据权利要求7所述的湿空气形成装置，其中，所述冷却台包括：冷却元件，其用于使所述测量对象物冷却；上部板，其安装于所述冷却元件上方，吸附保持所述测量对象物，用于将所述测量对象物的热传递给所述冷却元件；及下部板，其安装于所述冷却元件下方，用于使所述冷却元件发生的热释放。9.根据权利要求8所述的湿空气形成装置，其中，所述冷却台还包括：抽吸部，其进行运转，以便通过多个穿孔吸入空气，使得所述测量对象物被吸附于所述上部板并保持。10.根据权利要求1所述的湿空气形成装置，其中，所述湿空气...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐长一，金效彬，申容承，金弘基，李晧准，
申请(专利权)人：株式会社高永科技，
类型：发明
国别省市：韩国,KR