一种基于透明导电氧化物的偏振不敏感的电光强度调制器制造技术

本发明专利技术公开了一种基于透明导电氧化物的偏振不敏感的电光强度调制器，涉及光通信、光互联以及光器件集成领域。本发明专利技术的电光强度调制器包括基底层；基底层上设置有波导层，所述波导层为脊型波导；所述脊型波导的脊型凸起区覆盖介质层；所述波导的波导区两侧上表面分别设置一电极，即第一电极、第二电极；所述介质层上覆盖透明导电氧化物层；所述透明导电氧化物层上设置第三电极。本发明专利技术可对双偏振(TE和TM模)的损耗实现动态一致的调制，从而实现偏振不敏感调制；本发明专利技术可以降低偏振复用光通信系统的复杂度，降低成本，同时可以降低单偏振系统的偏振控制要求。

A polarization insensitive electrooptic intensity modulator based on transparent conducting oxide

The invention discloses a polarization insensitive electro-optic intensity modulator based on transparent conductive oxide, which relates to the field of optical communication, optical interconnection and optical device integration. The invention of the electro-optic modulator includes a base layer; the substrate layer is arranged on the waveguide layer, the waveguide layer for ridge waveguide; ridge uplift of the ridge waveguide covering the dielectric layer; the waveguide waveguide region on both sides of the surface are respectively provided with an electrode, the first electrode and the second electrode; transparent cover a conductive oxide layer of the dielectric layer; the third electrode is arranged on the transparent conductive oxide layer. The invention can dynamically modulate the loss of double polarization (TE and TM mode) to achieve polarization insensitive modulation. The invention can reduce the complexity of the polarization multiplexing optical communication system, reduce the cost and reduce the polarization control requirements of the single polarization system.

【技术实现步骤摘要】
一种基于透明导电氧化物的偏振不敏感的电光强度调制器
本专利技术涉及光通信、光互联以及光器件集成领域，具体说，涉及一种基于透明导电氧化物(Transparent-Conducting-Oxide,TCO)的偏振不敏感的电光强度调制器。
技术介绍
在未来的光互联和光通信的芯片中，高容量，尺寸紧凑，成本低的光电子集成电路(PIC)将成为人们的首选。目前有几种方法实现容量的增加，其中偏振复用因其可将通信容量翻倍成为一种有效的方案。然而大部分的电光调制器是偏振敏感的，目前实现偏振复用光通信系统一般需要偏振分束器分为TE和TM模，而后利用偏振旋转器或波片将TE(TM)模转换为TM(TE)模，分别送入两个支持TE或TM模的电光调制器中进行调制，最后将两个偏振的调制信号进行合束。在该种方案中需要偏振旋转器，不但导致系统复杂，而且成本高，限制了偏振复用在高密度，高速率光互联中的应用。透明导电氧化物具有光透明特性和良好的导电性，在集成光电子领域得到广泛应用，例如铝掺杂氧化锌(AZO)，镓掺杂氧化锌(GZO)，锡铟氧化物(ITO)。例如ITO由于其较低的电阻率，与金属相比较小的损耗，相对介电常数近零(Ep本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于透明导电氧化物的偏振不敏感的电光强度调制器，其特征在于，包括基底层，所述基底层上设置有波导层，所述波导层为脊型波导；所述脊型波导的脊型凸起区覆盖介质层；所述波导层的波导区两侧上表面分别设置一电极，即第一电极、第二电极；所述介质层上覆盖透明导电氧化物层，所述透明导电氧化物层上设置第三电极。

【技术特征摘要】
1.一种基于透明导电氧化物的偏振不敏感的电光强度调制器，其特征在于，包括基底层，所述基底层上设置有波导层，所述波导层为脊型波导；所述脊型波导的脊型凸起区覆盖介质层；所述波导层的波导区两侧上表面分别设置一电极，即第一电极、第二电极；所述介质层上覆盖透明导电氧化物层，所述透明导电氧化物层上设置第三电极。2.如权利要求1所述的电光强度调制器，其特征在于，所述介质层由绝缘材料制成。3.如权利要求1所述的电光强度调制器，其特征在于，所述第一电极、第二电极为能与所述波导层形成...

【专利技术属性】
技术研发人员：仇晓明，李艳萍，张帆，
申请(专利权)人：北京大学，
类型：发明
国别省市：北京,11