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一种基于透明导电氧化物的偏振不敏感的电光强度调制器制造技术
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下载一种基于透明导电氧化物的偏振不敏感的电光强度调制器的技术资料
文档序号:17363051
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本发明公开了一种基于透明导电氧化物的偏振不敏感的电光强度调制器,涉及光通信、光互联以及光器件集成领域。本发明的电光强度调制器包括基底层;基底层上设置有波导层,所述波导层为脊型波导;所述脊型波导的脊型凸起区覆盖介质层;所述波导的波导区两侧上表...
该专利属于北京大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京大学授权不得商用。
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