一种光栅自动测量显微镜移动平台制造技术

本实用新型专利技术公开了一种光栅自动测量显微镜移动平台，包括X轴移动平台、Y轴移动平台和光栅尺，其中，X轴移动平台由挡板、底板、限位板、丝杠、导向杆、丝母座和电机组成，底板两端各安装一挡板并形成底座结构，电机固定于底座的一端，两挡板之间连接丝杠和导向杆，丝杠和导向杆上安装丝母座和限位板，限位板位于丝母座一侧，Y轴移动平台与X轴移动平台的结构一致且尺寸不同，Y轴移动平台与X轴移动平台十字交叉结构安装，X、Y轴移动平台上都安装有光栅尺。本实用新型专利技术通过在显微镜载物台下方设置十字交叉结构的移动平台，在平台上安装光栅尺，在移动平台移动的过程中通过光栅尺对载物台进行精确定位，大幅度提高了测量的精确性。

【技术实现步骤摘要】
一种光栅自动测量显微镜移动平台
本技术涉及一种显微镜结构的
，尤其涉及一种光栅自动测量显微镜移动平台。
技术介绍
现在的测量显微镜都是通过控制分度头进行载物台的移动，类似于千分尺的结构，读数靠肉眼，肉眼容易造成误差，对载物台的定位不够精确，会导致测量结构的偏差。
技术实现思路
有鉴于此，本技术提出一种光栅自动测量显微镜移动平台，以解决上述普通显微镜靠分度头定位不精确容易造成误差的问题。为达到上述目的，本技术的技术方案是这样实现的：一种光栅自动测量显微镜移动平台，包括X轴移动平台、Y轴移动平台和光栅尺，其中，所述X轴移动平台由挡板、底板、限位板、丝杠、导向杆、丝母座和电机组成，所述底板两端各安装一所述挡板并形成底座结构，所述电机固定于所述底座的一端，两所述挡板之间连接所述丝杠和所述导向杆，所述丝杠和所述导向杆上安装所述丝母座和所述限位板，所述限位板位于所述丝母座一侧，所述Y轴移动平台与所述X轴移动平台的结构一致且尺寸不同，所述Y轴移动平台与所述X轴移动平台十字交叉结构安装，所述X、Y轴移动平台上都安装有光栅尺。上述光栅自动测量显微镜移动平台，其中，所述丝母座与所述丝杠之间安装有丝母，所述丝母与所述丝杠结构匹配。上述光栅自动测量显微镜移动平台，其中，所述底板和所述挡板之间通过螺栓连接。上述光栅自动测量显微镜移动平台，其中，所述光栅尺包括定尺和动尺，所述定尺和所述动尺的位置在垂直方向上一致，所述动尺可于所述定尺上来回滑动。上述光栅自动测量显微镜移动平台，其中，所述动尺固定于所述丝母座上。上述光栅自动测量显微镜移动平台，其中，所述电机通过联轴器与所述丝杠一端连接，所述丝杠的另一端贯穿所述挡板，并通过螺帽固定于所述挡板中。上述光栅自动测量显微镜移动平台，其中，所述导向杆数量为两根，所述导向杆贯穿所述限位板，所述限位板位于所述电机一侧，并与所述电机一端的所述挡板之间具有间隙。本技术由于采用了上述技术，产生的积极效果是：本技术通过在显微镜载物台下方设置十字交叉结构的移动平台，在平台上安装光栅尺，在移动平台移动的过程中通过光栅尺对载物台进行精确定位，大幅度提高了测量的精确性。附图说明构成本技术的一部分的附图用来提供对本技术的进一步理解，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。在附图中：图1为本技术的光栅自动测量显微镜移动平台的结构示意图；图2为本技术的光栅自动测量显微镜移动平台另一个角度的结构示意图。具体实施方式下面结合附图和具体实施例对本技术作进一步说明，但不作为本技术的限定。实施例请结合图1和图2所示，本技术的一种光栅自动测量显微镜移动平台，包括X轴移动平台1、Y轴移动平台2和光栅尺，其中，X轴移动平台1由挡板3、底板11、限位板6、丝杠5、导向杆4、丝母座7和电机8组成，底板11两端相互垂直的各安装一挡板3并形成底座结构，电机8固定于底座的一端，可通过螺钉螺栓固定于底座一端的挡板3外侧，两挡板3之间连接丝杠5和导向杆4，丝杠5和导向杆4贯穿两边的挡板3并固定于挡板3内，丝杠5和导向杆4上安装丝母座7和限位板6，限位板6位于丝母座7一侧并靠近电机8，Y轴移动平台2与X轴移动平台1的结构一致且尺寸不同，Y轴移动平台2与X轴移动平台1十字交叉结构安装，具体的Y轴移动平台2固定于X轴移动平台的丝母座7上，X、Y轴移动平台上都安装有光栅尺。本技术在上述基础上还具有以下实施方式，请继续参见图1和图2所示，本技术的进一步实施例中，丝母座7与丝杠5之间安装有丝母(未示出)，丝母与丝杠5结构匹配，通过丝母与丝杠5啮合可使得丝母座7做来回移动动作。本技术的进一步实施例中，底板11和挡板3之间通过螺栓或其他连接件连接。本技术的进一步实施例中，光栅尺包括定尺9和动尺10，定尺9和动尺10的位置在垂直方向上一致，动尺10可于定尺9上来回滑动。本技术的进一步实施例中，动尺10固定于丝母座7上，动尺10与丝母座7同时移动。本技术的进一步实施例中，电机8通过联轴器(未示出)与丝杠5一端连接，电机轴带动丝杠5转动，丝杠5的另一端贯穿挡板3，并通过螺帽固定于挡板3中。本技术的进一步实施例中，导向杆4数量为两根，导向杆4贯穿限位板6，导向杆4在丝母座7移动时做导向，限位板6位于电机8一侧，并与电机8一端的挡板3之间具有间隙，限位板6防止丝母座7过度移动至丝杠5与电机轴连接处损坏丝杠5和电机8。使用者可根据以下说明进一步的认识本技术的特性及功能，使用时，可将显微镜的载物台固定于Y轴移动平台的丝母座上，通过在显微镜载物台下方设置十字交叉结构的移动平台，在两个移动平台上安装光栅尺，在移动平台移动的过程中通过光栅尺在X轴和Y轴上进行移动，对载物台进行精确定位，大幅度提高了测量的精确性。以上所述仅为本技术较佳的实施例，并非因此限制本技术的实施方式及保护范围，对于本领域技术人员而言，应当能够意识到凡运用本技术说明书及图示内容所作出的等同替换和显而易见的变化所得到的方案，均应当包含在本技术的保护范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光栅自动测量显微镜移动平台，包括X轴移动平台、Y轴移动平台和光栅尺，其特征在于，所述X轴移动平台由挡板、底板、限位板、丝杠、导向杆、丝母座和电机组成，所述底板两端各安装一所述挡板并形成底座结构，所述电机固定于所述底座的一端，两所述挡板之间连接所述丝杠和所述导向杆，所述丝杠和所述导向杆上安装所述丝母座和所述限位板，所述限位板位于所述丝母座一侧，所述Y轴移动平台与所述X轴移动平台的结构一致且尺寸不同，所述Y轴移动平台与所述X轴移动平台十字交叉结构安装，所述X、Y轴移动平台上都安装有光栅尺。

【技术特征摘要】
1.一种光栅自动测量显微镜移动平台，包括X轴移动平台、Y轴移动平台和光栅尺，其特征在于，所述X轴移动平台由挡板、底板、限位板、丝杠、导向杆、丝母座和电机组成，所述底板两端各安装一所述挡板并形成底座结构，所述电机固定于所述底座的一端，两所述挡板之间连接所述丝杠和所述导向杆，所述丝杠和所述导向杆上安装所述丝母座和所述限位板，所述限位板位于所述丝母座一侧，所述Y轴移动平台与所述X轴移动平台的结构一致且尺寸不同，所述Y轴移动平台与所述X轴移动平台十字交叉结构安装，所述X、Y轴移动平台上都安装有光栅尺。2.根据权利要求1所述的光栅自动测量显微镜移动平台，其特征在于，所述丝母座与所述丝杠之间安装有丝母，所述丝母与所述丝杠结构匹配。3.根据权利要求1所述的光栅自动测...

【专利技术属性】
技术研发人员：魏玉伟，操九英，
申请(专利权)人：上海察微电子技术有限公司，魏玉伟，
类型：新型
国别省市：上海,31