加热器装置及使用它的被加热体的加热方法制造方法及图纸

一种加热器装置(10)，是安装在需要加热且具有凹凸形状的被加热体(30)上而进行加热的加热器装置(10)，包括：热传导性的传导部件(120)，安装到被加热体(30)的凹部(350)；加热器(110)，在将传导部件(120)安装在被加热体(30)的凹部(350)的状态下，将该被加热体(30)和该传导部件(120)覆盖而加热；在将传导部件(120)安装在被加热体(30)的凹部(350)中、加热器(110)将被该加热体(30)和该传导部件(120)覆盖了的状态下，加热器(110)的一部分与被加热体(30)的凸部(360)抵接。

Heating device and heating method for the heated body using it

A heating device (10) is installed, body is heated with heating and the concave convex shape in need (30) for heating the heating device (10), including: the thermal conductivity of the conductive member (120), attached to the heated body (30) of the recess (350); a heater (110 in the transmission part), (120) is installed in the heating body (30) of the recess (350) under the condition of the heated body (30) and the transmission part (120) covering and heating; in the conductive member (120) is installed in the heating body (30) of the recess (350) and a heater (110) will be the heating body (30) and the transmission part (120) covering the state, the heater (110) and a part of the heated body (30) of the convex part (360) contact.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】加热器装置及使用它的被加热体的加热方法
本专利技术涉及加热器装置及使用它的被加热体的加热方法。
技术介绍
例如，在文献1中，公开了向各种各样的形状的被加热部件的对应较容易、没有加热不匀、能够效率良好地加热的加热器及传热部件。此外，在文献2中，公开了一种具有发热体、由金属板构成、配置在被加热体的两侧的一对纵向部位的第1部件、和与第1部件一起夹持发热体的一对第2部件的加热器。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2014－7111号公报专利文献2：国际公开第2012/090829号
技术实现思路
专利技术要解决的课题例如，有将在常温下是液体的四乙氧基硅烷等化学物质在加热后在气体的状态下输送、在半导体的制造等中使用的情况。在这样的情况下，将四乙氧基硅烷等化学物质在气体的状态下经由配管输送，在气体的状态下调整流量后，向半导体的制造装置的反应炉等供给。这样的化学物质在输送中、特别是在调整流量时需要将流路加热到规定温度，以免再度液化。特别是，为了将该化学物质稳定地向半导体的制造装置的反应炉等供给，需要将调整流量的阀的周围保持为规定温度。这里，流路通常是复杂地设置有配管及各种各样的设备的结构。这在流路中的阀的周围也不例外，阀的周围连接着阀及连接在阀上的配管等，在外观上具有凹凸形状。将这样的例如阀的周围那样的具有凹凸形状的被加热体使用以往的加热器装置效率良好地加热是困难的。本专利技术的目的是提供一种将具有凹凸形状的被加热体效率良好地加热的加热器装置。此外，本专利技术的另一目的是提供一种将具有凹凸形状的被加热体效率良好地加热的加热方法。此外，本专利技术的上述及其他目的和新的特征通过本说明书的记述及附图会变得清楚。用来解决课题的手段用来解决上述课题的本专利技术的加热器装置，是安装在需要加热且具有凹凸形状的被加热体上而加热的加热器装置，其特征在于，包括：热传导性的传导部件，被安装到上述被加热体的凹部；和加热器，在将上述传导部件安装在上述被加热体的凹部的状态下，将该被加热体和该传导部件覆盖而加热；在将上述传导部件安装在上述被加热体的凹部、上述加热器将该被加热体和该传导部件覆盖的状态下，上述加热器的一部分与上述被加热体的凸部抵接。用来解决上述课题的本专利技术的加热方法，是需要加热且具有凹凸形状的被加热体的加热方法，其特征在于，在上述被加热体的凹部安装热传导性的传导部件；用加热器将该被加热体和该传导部件覆盖；使上述加热器的一部分与上述被加热体的凸部抵接；通过从上述加热器发出的热，从与上述被加热体抵接的上述加热器的上述一部分将上述被加热体直接加热，并从上述加热器中的除了上述一部分以外的部位将上述被加热体经由上述传导部件加热。专利技术效果根据本专利技术，能提供一种将具有凹凸形状的被加热体效率良好地加热的加热器装置。此外，根据本专利技术，能提供一种将具有凹凸形状的被加热体效率良好地加热的加热方法。附图说明图1是将有关本实施方式的加热器装置以装接在被加热体上的状态表示的立体图。图2是表示图1中的II－II线的截面的图。图3是表示图1中的III－III线的截面的图。图4是表示构成有关本实施方式的加热器装置的一部分的加热器的立体图。图5是表示图4中的V－V线中的截面的一例的图。图6是将构成有关本实施方式的加热器装置的一部分的传导部件以装接在被加热体上的状态表示的分解立体图。图7是将有关另一实施方式的加热器装置以装接在被加热体上的状态表示的立体图。图8是表示图7中的VIII－VIII线的截面的图。图9是表示图7中的IX－IX线的截面的图。图10是将构成有关另一实施方式的加热器装置的一部分的传导部件以装接在被加热体上的状态表示的立体图。图11是表示将有关另一实施方式的加热器装置装接在被加热体上的状态的变形例的剖视图。具体实施方式[有关本专利技术的一实施方式的加热器装置]以下，参照附图对有关本专利技术的一实施方式的加热器装置进行说明。图1是将有关本实施方式的加热器装置以装接在被加热体上的状态表示的立体图。图2是表示图1中的II－II线的截面的图。图3是表示图1中的III－III线的截面的图。有关本实施方式的加热器装置10是安装在需要加热且具有凹凸形状的被加热体30上而进行加热的加热器装置10，其特征在于，包括：热传导性的传导部件120，该热传导性的传导部件120构成为，被安装到上述被加热体30的凹部350；和加热器110，该加热器110构成为，在将上述传导部件120安装在上述被加热体30的凹部350的状态下，将该被加热体30和该传导部件120覆盖而加热；在将上述传导部件120安装在上述被加热体30的凹部350、上述加热器110将该被加热体30和该传导部件120覆盖的状态下，上述加热器110的一部分与上述被加热体30的凸部360抵接。这里，需要加热、从一方向观察具有凹凸形状的被加热体30也可以包括输送流体的配管320、和容纳用来调节流体的流动的阀的阀箱310而构成。以下，设被加热体30包括输送流体的配管320、和容纳用来调节流体的流动的阀的阀箱310而构成。如图1、图2、图3所示，被加热体30被构成有关本实施方式的加热器装置10的一部分的片状的加热器110覆盖。图1、图2、图3中的需要加热、从一方向观察具有凹凸形状的被加热体30，是包括容纳用来调节流体的流动的阀的多个阀箱310A、310B、310C，和将各个阀箱310A、310B、310C连接并输送流体的配管320A、320B而构成的三连阀。如果关于被加热体30的凹凸形状更具体地说明，则如果从图2所示的侧面方向、图3所示的铅直方向观察，具备构成被加热体30的一部分的阀箱310A、310B、310C的部分相当于被加热体30的凸部360，具备构成被加热体30的一部分的配管320A、320B的部分相当于被加热体30的凹部350。更详细地讲，阀箱310A、310B、310C自身是凸部360，通过阀箱310A、310B、310C和配管320A、320B的台阶差形成凹部350，关于凹部350，换言之，是由阀箱310A、310B、310C中的与配管320A、320B连接的一侧的面和配管320A、320B表面划定的区域。另外，在各阀箱310A、310B、310C的上部，安装着用来控制阀的驱动的致动器510A、510B、510C。致动器510A、510B、510C由于是不需要被加热的，所以不包含在被加热体30中。如果将图2、图3所示的三连阀那样的被加热体30不具备传导部件120而仅用片状的加热器110覆盖，则在具备构成被加热体30的一部分的配管320A、320B的部分即凹部350中出现空隙。如果存在这样的空隙，则来自加热器的热在空隙中被冷却，热效率下降。如图2、图3所示，本实施方式的加热器装置10也可以在这样的被加热体30的凹部350中安装热传导性的传导部件120、将加热器110的一部分抵接在传导部件120上而设置(例如图2、图3中的标号A的地方)。通过在凹部350中安装热传导性的传导部件120，或者，通过在凹部350中安装热传导性的传导部件120、进而将加热器110的一部分抵接在传导部件120上而设置，从加热器110发出的热经由传导部件120传递给被加热体30。由此，加热器装置10效率更好地将被加热体30加热。此外，如图3所示，通过将加热器110的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种加热器装置，安装在需要加热且具有凹凸形状的被加热体上而进行加热，其特征在于，包括：热传导性的传导部件，被安装到上述被加热体的凹部；和加热器，在将上述传导部件安装在上述被加热体的凹部的状态下，将该被加热体和该传导部件覆盖而加热；在将上述传导部件安装在上述被加热体的凹部、上述加热器将该被加热体和该传导部件覆盖了的状态下，上述加热器的一部分与上述被加热体的凸部抵接。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种加热器装置，安装在需要加热且具有凹凸形状的被加热体上而进行加热，其特征在于，包括：热传导性的传导部件，被安装到上述被加热体的凹部；和加热器，在将上述传导部件安装在上述被加热体的凹部的状态下，将该被加热体和该传导部件覆盖而加热；在将上述传导部件安装在上述被加热体的凹部、上述加热器将该被加热体和该传导部件覆盖了的状态下，上述加热器的一部分与上述被加热体的凸部抵接。2.如权利要求1所述的加热器装置，其特征在于，上述传导部件由热传导率为1.0W/(m·K)以上的材料形成。3.如权利要求1或2所述的加热器装置，其特征在于，上述被加热体包括输送流体的配管和容纳用来调节上述流体的流动的阀的阀箱而构成；上述传导部件构成为，被安装到上述配管上；在将上述传导部件安装在上述配管上的状态下，上述加热器的一部分与上述阀箱抵接，上述加热器的另一部分与上述传导部件抵接。4.如权利要求1～3中任一项所述的加热器装置，其特征在于，上述传导部件构成为，相对于上述被加热体的凹部仅从预先设定的一个方向安装。5.如权利要求1～4中任一项所述的加热器装置，其特征在于，在将上述传导部件安装在上述被加热体的凹部的状态下，在上述加热器将该被加热体和该传导部件覆盖了的情况下，上述传导部件的一部分与上述被加热体抵接。6.如权利要求1～5中任一项所述的加热...

【专利技术属性】
技术研发人员：佐佐木章，安治敏行，饭田研二，石大作，
申请(专利权)人：霓佳斯株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP