The invention discloses a coplanar air vacuum preloading platform, including two first level base, the base is arranged in parallel, the second base and vertically arranged on the two first base, two first base are sheathed on the first air guide and the sliding connection, second base on the set of second air guide and slide the connection, and the two ends of the base second respectively and two of the first air guide is fixedly connected, also includes a first linear motor driving the first air floating guide rail sliding along the first base, and second for the linear motor driving second air guide along the second base sliding, second air guide for the vacuum pressure air guide; the overall structure H type coplanar setting, structural stiffness, high bearing capacity, and easy to ensure the unity of the two air guide in two direction datum plane, and second The air floating guide rail using vacuum prepressure air floatation technology can prevent its vertical movement. It can further improve the accuracy and ensure stability.
【技术实现步骤摘要】
一种气浮共面真空预压平台
本专利技术涉及气浮定位平台
,特别是涉及一种气浮共面真空预压平台。
技术介绍
高精度和高分辨率的精密位移工作台系统在现代军工、航海、电子制造等高科技产业和科学研究领域内占有极为重要的地位,一些精密、超精密切削加工、精密检测、超大规模集成电路生产中都用到高精度的精密位移工作台。超精密气浮工作台系统是当前主流光刻机的核心子系统,要求具有纳米级的重复定位精度与同步运动精度。工作台和导轨之间以一层极薄的气体隔开,以气体为润滑剂的气浮导轨系统,具有高精度、低摩擦、长寿命等优点,其精度比滚珠直线导轨高两个数量级,气浮导轨结构在超精密工件台系统中应用广泛。但在应用中发现普通的静压气浮导轨在竖直方向上会有振幅为纳米级的微幅振动,频率从几十赫兹到几千赫兹,且这种振动频率位于控制带宽之内,属于闭环之外的扰动,控制系统对这种振动的抑制作用很小,超精密气浮工作台系统一旦使能,振动将会被激发放大,大大降低系统的控制精度;另外,普通的静压气浮导轨承载能力较低、刚度低,且稳定性不够。因此如何提高气浮工作台的运动精度、稳定性和承载能力,是本领域技术人员目前需要解决的技术问题。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种气浮共面真空预压平台,其具有较高的运动精度、稳定性和较大承载能力。为解决上述技术问题,本专利技术提供一种气浮共面真空预压平台,包括水平底座,固定在所述底座上且平行设置的两个第一基座,以及设在两个所述第一基座之间且延伸方向垂直于所述第一基座的第二基座,两个所述第一基座上均套有与其滑动连接的第一气浮导轨,所述第二基座上套有与其滑动连接的第二气浮导轨,且 ...
【技术保护点】
一种气浮共面真空预压平台,其特征在于,包括水平底座,固定在所述底座上且平行设置的两个第一基座,以及设在两个所述第一基座之间且延伸方向垂直于所述第一基座的第二基座,两个所述第一基座上均套有与其滑动连接的第一气浮导轨,所述第二基座上套有与其滑动连接的第二气浮导轨,且所述第二基座的两端分别与两个所述第一气浮导轨固定连接,还包括用于驱动所述第一气浮导轨沿所述第一基座滑动的第一直线电机,和用于驱动所述第二气浮导轨沿所述第二基座滑动的第二直线电机,所述第一直线电机的定子固定在所述底座上,所述第一直线电机的动子与所述第一气浮导轨连接,所述第二直线电机的定子安装在所述第二基座上,所述第二直线电机的动子与所述第二气浮导轨连接,所述第二气浮导轨为真空预压式气浮导轨。
【技术特征摘要】
1.一种气浮共面真空预压平台,其特征在于,包括水平底座,固定在所述底座上且平行设置的两个第一基座,以及设在两个所述第一基座之间且延伸方向垂直于所述第一基座的第二基座,两个所述第一基座上均套有与其滑动连接的第一气浮导轨,所述第二基座上套有与其滑动连接的第二气浮导轨,且所述第二基座的两端分别与两个所述第一气浮导轨固定连接,还包括用于驱动所述第一气浮导轨沿所述第一基座滑动的第一直线电机,和用于驱动所述第二气浮导轨沿所述第二基座滑动的第二直线电机,所述第一直线电机的定子固定在所述底座上,所述第一直线电机的动子与所述第一气浮导轨连接,所述第二直线电机的定子安装在所述第二基座上,所述第二直线电机的动子与所述第二气浮导轨连接,所述第二气浮导轨为真空预压式气浮导轨。2.根据权利要求1所述的气浮共面真空预压平台,其特征在于,所述底座上设有用于测量所述第一气浮导轨滑动位移的第一光栅尺组件;所述第二基座上还安装有用于测量所述第二气浮导轨滑动位移的第二光栅尺组件。3.根据权利要求2所述的气浮共面真空预压平台,其特征在于,所...
【专利技术属性】
技术研发人员:尹自强,林剑,刘震,刘浩,柴宁,
申请(专利权)人:广东工业大学,
类型:发明
国别省市:广东,44
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