宽带增透膜的各膜层设计正确性判断方法技术

本发明专利技术提供了一种宽带增透膜的各膜层设计正确性判断方法，包括：步骤一、在制作宽带增透膜成品之前，进行预判断操作；预判断操作包括以下步骤：S11、建立宽带增透膜设计品的反射率R1的计算公式；S12、首先命

The method of judging the correctness of the design of each membrane of the wide-band antireflection film

The present invention provides each layer a broadband antireflection coating design correctness judgment method, which comprises the following steps: first, before making broadband antireflection film products, pre judgment operation; pre judgment operation includes the following steps: calculating formula of reflectivity of R1 S11, a broadband antireflection film design products; first, S12 life

【技术实现步骤摘要】
宽带增透膜的各膜层设计正确性判断方法
本专利技术涉及宽带增透膜的镀制工艺，具体涉及一种宽带增透膜的各膜层设计正确性判断方法。
技术介绍
首先，宽带增透膜的层状结构设计如下：宽带增透膜包括基板，基板上渡有第一层膜层，在第一层膜层上渡有第二层膜层，在第二层膜层上渡有第三层膜层，……，在第N-1层膜层上渡有第N层膜层；然后，设计第一层膜层、第二层膜层、……、第N-1层膜层以及第N层膜层各个层的材料各是什么(例如，第一层膜层材料是SiO2或Ti3O5等)；最后设计第一层膜层、第二层膜层、……、第N-1层膜层以及第N层膜层各个层的厚度各是多少。最终目的是：经过宽带增透膜后的光达到预期的光谱，为了达到预期的光谱，体现的宽带增透膜的透过率和反射率，那么为了验证是否达到预期效果就直接判断宽带增透膜的透过率和反射率是否正确即可。虽然现有技术有物理厚度(晶振)监控等无接触式方法来测量宽带增透膜成品中各个层的镀膜监控厚度(也即是：各个层的测量厚度)；同时也能通过采用Uv-1800型等型号分光光度计来测量宽带增透膜成品的透过率和反射率。但是制备宽带增透膜成品需要成本和时间，因此给透过率和反射率的侧量带来极大本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种宽带增透膜的各膜层设计正确性判断方法，其特征在于，包括：步骤一、在制作宽带增透膜成品之前，进行预判断操作；具体地，预判断操作包括以下步骤：S11、建立宽带增透膜设计品的反射率R1的计算公式，宽带增透膜设计品为按照设计的层状结构关系、各层设计材料以及各层设计厚度得到的理想宽带增透膜，合成的振幅反射系数R1的计算公式如下：

【技术特征摘要】
1.一种宽带增透膜的各膜层设计正确性判断方法，其特征在于，包括：步骤一、在制作宽带增透膜成品之前，进行预判断操作；具体地，预判断操作包括以下步骤：S11、建立宽带增透膜设计品的反射率R1的计算公式，宽带增透膜设计品为按照设计的层状结构关系、各层设计材料以及各层设计厚度得到的理想宽带增透膜，合成的振幅反射系数R1的计算公式如下：其中，r为合成的振幅反射系数；r1为基板的反射系数；r2为第一层膜层的反射系数；r3为第二层膜层的反射系数；r4为第三层膜层的反射系数；δ1为第一层膜层向量角度；δ2为第二层膜层的向量角；δ3为第二层膜层的向量角；n1为第一层膜层的折射率，d1第一层膜层的设计厚度；n2为第二层膜层的折射率，d2第二层膜层的设计厚度；n3为第三层膜层的折射率，d3第三层膜层的设计厚度；N基板上膜层的数量；λ0为所要计算的波长点；S12、首先命然后命λ0＝10N0；其中，λ1为所需要透过光的最小波长且单位为nm，当为整数时，当有余数时，取小于的第一个整数；S13、首先，计算N0＝N0+1，并重置λ0＝1...

【专利技术属性】
技术研发人员：周荣铿，
申请(专利权)人：湖北东田光电材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42