异方性导电胶膜连接电阻的测量装置、方法及集成电路制造方法及图纸

本发明专利技术涉及电阻测量领域，提出一种异方性导电胶膜连接电阻的测量装置、方法及集成电路，该装置包括：第一探针垫、第二探针垫、第三探针垫、第四探针垫、电源以及电压表。第一探针垫、第二探针垫连接在所述异方性导电胶膜第一检测点上；第三探针垫、第四探针垫连接在所述异方性导电胶膜第二检测点上；电源连接于所述第一探针垫和所述第三探针垫之间，形成激励回路，用于向所述第一检测点与第二检测点之间输入稳定电流；电压表连接于所述第二探针垫和所述第四探针垫之间，形成检测回路，用于检测所述第一检测点与第二检测点之间的电压。本发明专利技术可以避免在异方性导电胶膜连接电阻测量过程中，检测线路电阻对检测结果的影响，提高检测精度。

A measuring device, method and integrated circuit for the resistance of an isotropic conductive adhesive film

【技术实现步骤摘要】
异方性导电胶膜连接电阻的测量装置、方法及集成电路
本专利技术涉及电阻测量
，尤其涉及一种异方性导电胶膜连接电阻的测量装置、方法及集成电路。
技术介绍
异方性导电胶膜应用在各种领域中，用于连通两端子。异方性导电胶膜上分布有导电粒子，当挤压两端子时，导电粒子变形与两端子紧密接触形成良好的导电体，从而将两端子导通。然而导电粒子挤压变形的程度会影响导电粒子的导电性能。相关技术中需要通过测量两端子之间的电阻，来判断异方性导电胶膜中导电粒子挤压程度是否合理。相关技术中，通常直接采用电阻测量装置对两端子之间的电阻进行测量。但是，采用电阻测量装置对两端子之间的电阻进行测量时，所测得的电阻包含有电阻测量装置的线路电阻以及接触电阻。然而异方性导电胶膜连接电阻本身较小，远小于电阻测量装置的线路电阻以及接触电阻之和。因此，相关技术中，所测得的异方性导电胶膜连接电阻具有较大的误差。需要说明的是，在上述
技术介绍
部分专利技术的信息仅用于加强对本专利技术的背景的理解，因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种异方性导电胶膜连接电阻的测量装置、方法及集成本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种异方性导电胶膜连接电阻的测量装置，其特征在于，包括：第一探针垫、第二探针垫，连接在所述异方性导电胶膜第一检测点上；第三探针垫、第四探针垫，连接在所述异方性导电胶膜第二检测点上；电源，连接于所述第一探针垫和所述第三探针垫之间，形成激励回路，用于向所述第一检测点与第二检测点之间输入稳定电流；电压表，连接于所述第二探针垫和所述第四探针垫之间，形成检测回路，用于检测所述第一检测点与第二检测点之间的电压。

【技术特征摘要】
1.一种异方性导电胶膜连接电阻的测量装置，其特征在于，包括：第一探针垫、第二探针垫，连接在所述异方性导电胶膜第一检测点上；第三探针垫、第四探针垫，连接在所述异方性导电胶膜第二检测点上；电源，连接于所述第一探针垫和所述第三探针垫之间，形成激励回路，用于向所述第一检测点与第二检测点之间输入稳定电流；电压表，连接于所述第二探针垫和所述第四探针垫之间，形成检测回路，用于检测所述第一检测点与第二检测点之间的电压。2.根据权利要求1所述的一种异方性导电胶膜连接电阻的测量装置，其特征在于，还包括：电流表，位于所述激励回路中，用于检测所述稳定电流。3.根据权利要求1所述的一种异方性导电胶膜连接电阻的测量装置，其特征在于，所述第一检测点和所述第二检测点分别位于两个端子上，两所述端子通过所述异方性导电胶膜相连通。4.根据权利要求1所述的一种异方性导电胶膜连接电阻的测量装置，其特征在于，还包括：两激励线，所述第一探针垫、所述第三探针垫分别通过所述激励线与所述第一检测点、所述第二检测点连接；两检测线，所述第二探针垫、所述第四探针垫分别通过所述检测线与所述第一检测点、所述第二检测点连接。5.根据权利要求1所述的一种异方性导电胶膜连接电阻的测量装置，其特征在于，所述电源为恒流源。6.一种异方性导电胶膜连接电...

【专利技术属性】
技术研发人员：李俊杰，李园园，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11