MEMS转动加速度传感器及转动加速度测量装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种MEMS转动加速度传感器及转动加速度测量装置，涉及传感器领域。其通过将第一可动电容极板设置于第一质量块上随第一质量块转动，第二可动电容极板设置于第二质量块上随第二质量块转动，第一固定电容极板固定连接于壳体上与第一可动电容极板组成第一可变电容器，第二固定电容极板固定连接于壳体上与第一可动电容极板组成第二可变电容器，第一电荷放大电路与第一可变电容器耦合，第二电荷放大电路与第二可变电容器耦合，第一电荷放大电路与第二电荷放大电路用于与处理器耦合，以根据输出电压判断MEMS转动加速度传感器是否处于转动状态。其提供一种结构简单、体积小巧的转动加速度传感器，并且能精确判断构件是否转动。

MEMS rotation acceleration sensor and rotational acceleration measurement device

The utility model provides a MEMS rotation acceleration sensor and a rotating acceleration measuring device, which relates to the field of sensors. The first movable capacitor plate is arranged on the first mass with the first mass rotation, second movable capacitor plate is arranged on the second mass with second mass rotation, the first fixed capacitor plate is fixedly connected with the shell body with a first movable capacitor plate composed of the first variable capacitor, second fixed capacitor plates are fixedly connected to the shell with the first movable capacitor plate composed of second variable capacitors, the first charge amplifier coupling circuit and a first variable capacitor, second charge amplifier coupling circuit with second variable capacitor, a first charge amplifier circuit and amplifying circuit for second charge coupled to a processor, according to the output voltage to determine MEMS rotation acceleration sensor is in rotating state. It provides a simple, small and compact rotation acceleration sensor, and can accurately determine whether the component is rotated.

【技术实现步骤摘要】
MEMS转动加速度传感器及转动加速度测量装置
本技术涉及传感器领域，具体而言，涉及一种MEMS转动加速度传感器及转动加速度测量装置。
技术介绍
随着社会的发展，在许多领域，尤其是在土木工程监测领域中，经常需要识别地面、构件或结构体的某个平面是否处于转动状态，以及准确测量该平面相对轴向的运动转动加速度，进而判定被评估物体的破坏程度。但是，现在测量地面、构件等是否转动的部件体积都较大，制作成本高，同时也无法精确的反应物体是否转动。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种MEMS转动加速度传感器及转动加速度测量装置，其能够提供一种结构简单、体积小巧以及成本低廉的转动加速度传感器，并且能精确判断构件是否转动。本技术的实施例是这样实现的：第一方面，本技术实施例提供了一种MEMS转动加速度传感器，其包括壳体、第一质量块、第二质量块、第一连接杆、第一弹性连接件、第二弹性连接件、第一固定电容极板、第二固定电容极板、第一可动电容极板、第二可动电容极板、第一电荷放大电路以及第二电荷放大电路，所述第一质量块与所述第二质量块刚性连接后与所述第一连接杆的一端固定连接，所述第一连接杆的另一端固定连接于所述壳体上，所述第本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种MEMS转动加速度传感器，其特征在于，包括壳体、第一质量块、第二质量块、第一连接杆、第一弹性连接件、第二弹性连接件、第一固定电容极板、第二固定电容极板、第一可动电容极板、第二可动电容极板、第一电荷放大电路以及第二电荷放大电路，所述第一质量块与所述第二质量块刚性连接后与所述第一连接杆的一端固定连接，所述第一连接杆的另一端固定连接于所述壳体上，所述第一弹性连接件分别与所述壳体和所述第一质量块连接，所述第二弹性连接件分别与所述壳体和所述第二质量块连接，所述第一可动电容极板设置于所述第一质量块上随所述第一质量块转动，所述第二可动电容极板设置于所述第二质量块上随所述第二质量块转动，所述第一固定电容极...

【技术特征摘要】
1.一种MEMS转动加速度传感器，其特征在于，包括壳体、第一质量块、第二质量块、第一连接杆、第一弹性连接件、第二弹性连接件、第一固定电容极板、第二固定电容极板、第一可动电容极板、第二可动电容极板、第一电荷放大电路以及第二电荷放大电路，所述第一质量块与所述第二质量块刚性连接后与所述第一连接杆的一端固定连接，所述第一连接杆的另一端固定连接于所述壳体上，所述第一弹性连接件分别与所述壳体和所述第一质量块连接，所述第二弹性连接件分别与所述壳体和所述第二质量块连接，所述第一可动电容极板设置于所述第一质量块上随所述第一质量块转动，所述第二可动电容极板设置于所述第二质量块上随所述第二质量块转动，所述第一固定电容极板与所述壳体固定连接，所述第一固定电容极板与所述第一可动电容极板组成第一可变电容器，所述第二固定电容极板与所述壳体固定连接，所述第二固定电容极板与所述第二可动电容极板组成第二可变电容器，所述第一电荷放大电路与所述第一可变电容器耦合，所述第二电荷放大电路与所述第二可变电容器耦合，所述第一电荷放大电路与所述第二电荷放大电路用于与处理器耦合，以使所述处理器根据第一电荷放大电路和所述第二电荷放大电路输出的电压判断所述MEMS转动加速度传感器是否处于转动状态。2.根据权利要求1所述的MEMS转动加速度传感器，其特征在于，所述MEMS转动加速度传感器还包括差分采样电路，所述差分采样电路分别与所述第一电荷放大电路的输出端和所述第二电荷放大电路的输出端耦合，所述差分采样电路用于提取所述第一电荷放大电路和所述第二电荷放大电路输出的电压信号，以使所述MEMS转动加速度传感器的输出电压与转动加速度成正比。3.根据权利要求2所述的MEMS转动加速度传感器，其特征在于，所述MEMS转动加速度传感器还包括第一PID反馈电路和第二PID反馈电路，所述第一PID反馈电路的输入端与所述第一电荷放大电路的输出端耦合，所述第一PID反馈电路的输出端与所述第一可变电容器的输出端耦合，所述第一PID反馈电路用于调节所述第一可变电容器的电荷输出，所述第二PID反馈电路的输入端与所述第二电荷放大电路的输出端耦合，所述第二PI...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙志远，高峰，王雷，佘天莉，杨巧玉，
申请(专利权)人：中国地震局工程力学研究所，
类型：新型
国别省市：黑龙江,23