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MEMS转动加速度传感器及转动加速度测量装置制造方法及图纸
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文档序号:17297554
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本实用新型提供了一种MEMS转动加速度传感器及转动加速度测量装置,涉及传感器领域。其通过将第一可动电容极板设置于第一质量块上随第一质量块转动,第二可动电容极板设置于第二质量块上随第二质量块转动,第一固定电容极板固定连接于壳体上与第一可动电容...
该专利属于中国地震局工程力学研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国地震局工程力学研究所授权不得商用。
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