物理量检测电路、物理量检测装置、电子设备和移动体制造方法及图纸

本发明专利技术提供物理量检测电路、物理量检测装置、电子设备和移动体。提供使用了采样保持电路和开关电容滤波器电路的能够实现低噪声化的物理量检测电路。物理量检测电路包含：开关电容滤波器电路，其具有第1采样保持电路、放大电路和第1开关电容电路，所述第1开关电容电路的输出信号被输入所述放大电路，其中，所述第1采样保持电路对基于物理量检测元件的输出信号的第1信号进行采样保持，所述放大电路被输入所述第1采样保持电路的输出信号，所述第1开关电容电路被输入所述放大电路的第1输出信号；以及A/D转换电路，其对所述开关电容滤波器电路的输出信号进行A/D转换。

Physical quantity detection circuit, physical quantity detection device, electronic equipment and mobile body

The invention provides a physical quantity detection circuit, a physical quantity detection device, an electronic device and a mobile body. A physical quantity detection circuit that uses a sampling and holding circuit and a switched capacitor filter circuit to achieve a low noise level is provided. The physical quantity detection circuit includes a switched capacitor filter circuit, which has first sample and hold circuit, amplifier circuit and first switch capacitor circuit, the output signal of the first switch capacitor circuit is input to the amplifier circuit, wherein, the first sample and hold circuit based on the physical quantity of the first signal output signal detecting element for sampling keep the amplifier circuit is input to the output signal of the first sample and hold circuit first, an output signal of the first switch capacitor circuit is input to the amplifier circuit; and A/D conversion circuit, the output signal of the switched capacitor filter circuit A/D conversion.

【技术实现步骤摘要】
物理量检测电路、物理量检测装置、电子设备和移动体
本专利技术涉及物理量检测电路、物理量检测装置、电子设备和移动体。
技术介绍
当前，检测加速度的加速度传感器以及检测角速度的陀螺传感器等可检测各种物理量的物理量检测装置被广泛用于各种系统及电子设备中。例如，在专利文献1中公开了一种物理量检测装置，该物理量检测装置是将具有QV放大器、可编程增益放大器(PGA)和模拟-数字转换器(ADC)的物理量检测电路与差动电容型传感器连接而构成的。专利文献1：日本特开2015-135245号公报如专利文献1所述的物理量检测装置那样，在对物理量检测元件输出的模拟信号进行模拟处理之后再使用ADC而转换为数字信号的物理量检测装置中，需要使物理量检测元件的驱动频率与ADC的采样频率一致，或者利用基于驱动频率的采样保持电路转换为DC信号。在使驱动频率与ADC的采样频率一致的情况下，由于无法设置抗混叠滤波器，因此，由于ADC中的采样而产生的混叠噪声，导致难以实现低噪声化。此外，在ADC的前级设置采样保持电路和抗混叠滤波器的情况下，会产生由采样保持电路导致的混叠噪声。此外，抗混叠滤波器在电路速度和电路面积这些方面无法本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种物理量检测电路，其中，所述物理量检测电路包含：开关电容滤波器电路，其具有第1采样保持电路、放大电路和第1开关电容电路，所述第1开关电容电路的输出信号被输入到所述放大电路，其中，所述第1采样保持电路对基于物理量检测元件的输出信号的第1信号进行采样保持，所述放大电路被输入所述第1采样保持电路的输出信号，所述第1开关电容电路被输入所述放大电路的第1输出信号；以及A/D转换电路，其对所述开关电容滤波器电路的输出信号进行A/D转换。

【技术特征摘要】
2016.07.15 JP 2016-1403471.一种物理量检测电路，其中，所述物理量检测电路包含：开关电容滤波器电路，其具有第1采样保持电路、放大电路和第1开关电容电路，所述第1开关电容电路的输出信号被输入到所述放大电路，其中，所述第1采样保持电路对基于物理量检测元件的输出信号的第1信号进行采样保持，所述放大电路被输入所述第1采样保持电路的输出信号，所述第1开关电容电路被输入所述放大电路的第1输出信号；以及A/D转换电路，其对所述开关电容滤波器电路的输出信号进行A/D转换。2.根据权利要求1所述的物理量检测电路，其中，所述放大电路具有：第1斩波电路，其被输入所述第1采样保持电路的输出信号；运算放大器，其被输入所述第1斩波电路的输出信号；以及第2斩波电路，其被输入所述运算放大器的输出信号。3.根据权利要求2所述的物理量检测电路，其中，所述第1斩波电路和所述第2斩波电路的斩波频率为所述A/D转换电路对所述开关电容滤波器电路的输出信号进行采样的采样频率的1/2以下。4.根据权利要求2或3所述的物理量检测电路，其中，所述物理量检测电路包含驱动...

【专利技术属性】
技术研发人员：村岛宪行，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP