一种用于超大尺寸硅锭的热场结构制造技术

技术编号:17290868 阅读:28 留言:0更新日期:2018-02-18 01:42
本实用新型专利技术是一种用于超大尺寸硅锭的热场结构,包括由顶部保温组件2、侧部保温组件3和底部保温组件4围城的隔热笼,在隔热笼的底部设有热交换控制装置5,在热交换控制装置5上方的隔热笼内设有用于放置石墨坩埚的定向凝固块,在石墨坩埚的底部四周与侧保温组件之间设有热区隔离板7;所述顶部保温组件2上设有1‑6个进气管,所述顶部保温组件2上设有顶加热电极,侧部保温组件3上设有侧加热电极和底加热电极。本实用新型专利技术通过对热场内部结构,外形及尺寸重新设计和布局,使其能铸造大尺寸硅锭,大大的提高生产产能,同时结构安全,尤其是对溢流的防护、减少溢流损失,节省使用成本,减少热量损失。

A thermal field structure for large size silicon ingot

The utility model relates to a large size thermal field structure of silicon ingot, including top insulation insulation cage assembly 2, side insulation component 3 and bottom insulation component 4 of the siege, the heat exchange control device 5 is provided with a heat insulation cage in the bottom in the insulated cage heat exchange control device 5 is arranged in an orientation for above solidification block placement of graphite crucible, graphite crucible in and around the bottom side insulation component is arranged between the heat isolation plate 7; the top insulation component 2 is provided with 1 6 inlet pipe, the top of the top electrode is provided with 2 heating insulation components, side insulation component 3 is equipped with side and bottom heating electrode heating electrode. The utility model based on the thermal field of the internal structure, the shape and the size of the new design and layout, the large size silicon ingot casting, greatly improve the production capacity at the same time, the safety of the structure, especially the loss of protection, to reduce the overflow overflow, save cost, reduce heat loss.

【技术实现步骤摘要】
一种用于超大尺寸硅锭的热场结构
本技术涉及一种多晶硅生产设备,特别是涉及一种用于超大尺寸硅锭的热场结构。
技术介绍
太阳能光伏行业发展迅速,市场规模持续增长,但同时市场竞争激烈,为尽快实现平价上网,实现更大范围的普及应用,全行业各环节努力追求和获取高效率、低成本电池。在上游的晶硅环节,获得高品质、低成本的晶体非常重要,目前大尺寸(G6)多晶硅锭成为行业主流,下一代超大尺寸硅锭G7或G8成为当前趋势顺延发展的必由之路,可以提升硅锭重量,提高生产率,降低单耗、提高晶体品质。多晶硅铸锭炉是用于制造多晶硅锭的设备,利用定向凝固法生产多晶硅锭,首先将已装好硅料的坩埚装入炉腔中,然后进行抽空、加热、熔化、长晶、退火、冷却等工艺步骤。市场上多晶硅锭主要有:重量为450kg左右,可开方5*5=25块小方锭G5硅锭;重量为850kg左右,可开方6*6=36块小方锭G6硅锭,总体上硅锭重量小,生产率低下,单耗偏高,成本高。市场上的大多数多晶铸锭炉配置的加热方式有:上、下加热,5面加热,同时热场结构设计及结晶控制装置也不利于超大尺寸硅锭的生长,表现在温度梯度不理想,长晶固液界面凸凹明显,无法有效降低晶体中的位错和排杂,减少晶界或使晶粒均匀等,对晶体的整体质量有较大的影响,品质一般。因此,为解决上述技术问题,确有必要提供一种用于超大尺寸硅锭的铸锭炉的热场结构,以克服现有技术中的所述缺陷。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是针对现有技术的不足,提供一种设计合理,与铸造大尺寸硅锭工艺相匹配的用于超大尺寸硅锭的热场结构。本技术所要解决的技术问题是通过以下的技术方案来实现的,本技术是一种用于超大尺寸硅锭的热场结构,其特点是:包括由顶部保温组件、侧部保温组件和底部保温组件围城的隔热笼,在隔热笼的底部设有热交换控制装置,在热交换控制装置上方的隔热笼内设有用于放置石墨坩埚的定向凝固块,定向凝固块的下部设有若干根支撑定向凝固块的石墨支撑柱,在石墨坩埚的底部四周与侧保温组件之间设有热区隔离板;所述顶部保温组件上设有1-6个进气管,所述顶部保温组件上设有顶加热电极,侧部保温组件上设有侧加热电极和底加热电极,所述顶加热电极、侧加热电极和底加热电极分别通过水冷电缆与各自的变压器相连,变压器与功率控制器相接。超大尺寸硅锭主要指G7硅锭(7*7)、G8硅锭(8*8)。本技术所要解决的技术问题还可以通过以下的技术方案来进一步实现,所述的用于超大尺寸硅锭的热场结构,其特点是:所述侧部保温组件由上保温组件和下保温组件构成,下保温组件设在热区隔离板下方,所述下保温组件由内保温板和外保温板构成。当出现溢流时,硅料主要会流到保温组件的底部,所以更换时只要更换弄脏的部分保温板,如内保温板即可,从而既要用来对溢流的防护、减少溢流损失,又节省了使用成本。本技术所要解决的技术问题还可以通过以下的技术方案来进一步实现,所述的用于超大尺寸硅锭的热场结构,其特点是:所述底部保温组件包括水平保温组件,在水平保温组件的内侧连接有竖直保温组件,所述竖直保温组件的上端高出水平保温组件。竖直保温组件高出水平保温组件,可以用来阻挡溢流,防止出现溢流时,减少溢流对各零部件的损坏,以及容易检测到溢流的发生,从而减少溢流损失。本技术所要解决的技术问题还可以通过以下的技术方案来进一步实现,所述的用于超大尺寸硅锭的热场结构,其特点是:所述顶部保温组件、侧部保温组件和底部保温组件均为保温毡板,所述顶部保温组件的厚度为90mm-150mm,所述侧部保温组件的厚度为40mm-150mm,所述底部保温组件的厚度为40mm-100mm。顶部保温组件、侧部保温组件和底部保温组件用来对溢流的防护、减少溢流损失,以及节省使用成本。本技术所要解决的技术问题还可以通过以下的技术方案来进一步实现,所述的用于超大尺寸硅锭的热场结构,其特点是:所述热区隔离板为保温毡板,厚度为20mm-80mm。本技术所要解决的技术问题还可以通过以下的技术方案来进一步实现,所述的用于超大尺寸硅锭的热场结构,其特点是:所述热交换控制装置包括相对错层重叠设置的第一保温组件和第二保温组件,所述第一保温组件设有上下设置的第一下保温板和第一上保温板,所述第二保温组件设有上下设置的第二下保温板和第二上保温板,第二上保温板设在第一下保温板上方;在第一下保温板和第二上保温板相向一侧上分别设有开口,在第一上保温板和第二下保温板相向一侧上分别设有与对应的开口配合密封的密封部;在第一保温组件和第二保温组件的下方分别设有驱动第一保温组件和第二保温组件前后同时运动的牵引导轨。本技术所要解决的技术问题还可以通过以下的技术方案来进一步实现,所述的用于超大尺寸硅锭的热场结构,其特点是:第一保温组件和第二保温组件分别通过固定连接板与对应的牵引导轨相连,所述固定连接板通过螺栓固定在牵引导轨的端部上。本技术所要解决的技术问题还可以通过以下的技术方案来进一步实现,所述的用于超大尺寸硅锭的热场结构,其特点是:所述第一下保温板和第二上保温板的开口为V型,所述开口的角度为60°-180°。本技术所要解决的技术问题还可以通过以下的技术方案来进一步实现,所述的用于超大尺寸硅锭的热场结构,其特点是:述第一下保温板、第一上保温板、第二下保温板和第二上保温板均为保温毡板。所述第一保温组件和第二保温组件的厚度为60mm-120mm。本技术所要解决的技术问题还可以通过以下的技术方案来进一步实现,所述的用于超大尺寸硅锭的热场结构,其特点是:第一保温组件和第二保温组件下方的牵引导轨均分别与驱动装置相连。本技术的隔热笼的尺寸可以做得很大,扩大了热场内部尺寸,使其可铸造超大尺寸硅锭,提高产能和生产率;同时进行了各部件的优化布局,如在顶部和侧部加热组件上设有热电极,在底部设有第一保温组件和第二保温组件同时向中间或两端运动的热交换控制装置等,使顶部、侧部和底部的加热器能够独立灵活控制,并能够精确控制坩埚内熔体的温度梯度,极大的提高了工艺灵活性,可以获得理想的长晶固液界面,减少晶体中的杂质和缺陷,获取高质量的晶体。与现有技术相比,本技术通过对热场内部结构,外形及尺寸重新设计和布局,使其能铸造大尺寸硅锭,大大的提高生产产能,同时结构安全,尤其是对溢流的防护、减少溢流损失,节省使用成本,减少热量损失。附图说明图1是本技术的一种结构示意图。图2是图1的右视结构示意图。图3是热交换控制装置关闭时的一种立体结构示意图。图4是图3的仰视结构示意图。图5是热交换控制装置打开时的一种立体结构示意图。图6是图5的仰视结构示意图。具体实施方式以下参照附图,进一步描述本技术的具体技术方案,以便于本领域的技术人员进一步地理解本专利技术,而不构成对其权利的限制。参照图1和图2,一种用于超大尺寸硅锭的热场结构,包括由顶部保温组件2、侧部保温组件3和底部保温组件4围城的隔热笼,隔热笼大小根据坩埚尺寸设计。在隔热笼的底部设有热交换控制装置5,在热交换控制装置5上方的隔热笼内设有用于放置石墨坩埚的定向凝固块,定向凝固块用于支撑坩埚,同时结晶时用于热交换、可以辅助导热凝固用。定向凝固块的下部设有若干根支撑定向凝固块的石墨支撑柱,石墨支撑柱穿过底部保温组件4与炉体的底部相固本文档来自技高网...
一种用于超大尺寸硅锭的热场结构

【技术保护点】
一种用于超大尺寸硅锭的热场结构,其特征在于:包括由顶部保温组件、侧部保温组件和底部保温组件围城的隔热笼,在隔热笼的底部设有热交换控制装置,在热交换控制装置上方的隔热笼内设有用于放置石墨坩埚的定向凝固块,在石墨坩埚的底部四周与侧保温组件之间设有热区隔离板;所述顶部保温组件上设有1‑6个进气管,所述顶部保温组件上设有顶加热电极,侧部保温组件上设有侧加热电极和底加热电极,所述顶加热电极、侧加热电极和底加热电极分别通过水冷电缆与各自的变压器相连,变压器与功率控制器相接。

【技术特征摘要】
1.一种用于超大尺寸硅锭的热场结构,其特征在于:包括由顶部保温组件、侧部保温组件和底部保温组件围城的隔热笼,在隔热笼的底部设有热交换控制装置,在热交换控制装置上方的隔热笼内设有用于放置石墨坩埚的定向凝固块,在石墨坩埚的底部四周与侧保温组件之间设有热区隔离板;所述顶部保温组件上设有1-6个进气管,所述顶部保温组件上设有顶加热电极,侧部保温组件上设有侧加热电极和底加热电极,所述顶加热电极、侧加热电极和底加热电极分别通过水冷电缆与各自的变压器相连,变压器与功率控制器相接。2.根据权利要求1所述的用于超大尺寸硅锭的热场结构,其特征在于:所述侧部保温组件由上保温组件和下保温组件构成,下保温组件设在热区隔离板下方,所述下保温组件由内保温板和外保温板构成。3.根据权利要求1所述的用于超大尺寸硅锭的热场结构,其特征在于:所述底部保温组件包括水平保温组件,在水平保温组件的内侧连接有竖直保温组件,所述竖直保温组件的上端高出水平保温组件。4.根据权利要求1所述的用于超大尺寸硅锭的热场结构,其特征在于:所述顶部保温组件、侧部保温组件和底部保温组件均为保温毡板,所述顶部保温组件的厚度为90mm-150mm,所述侧部保温组件的厚度为40mm-150mm,所述底部保温组件的厚度为40mm-100mm。5.根据权利要求1所述的用于超大尺寸硅锭的热场结构,其特征在于:所述热区隔离板为保温毡...

【专利技术属性】
技术研发人员:不公告发明人
申请(专利权)人:连云港清友新能源科技有限公司
类型:新型
国别省市:江苏,32

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