【技术实现步骤摘要】
一种实心光微通道阵列面板
本技术涉及光学元件领域,尤其是一种实心光微通道阵列面板。
技术介绍
随着二元光学、MEMS和指纹采集技术的发展,具有微孔阵列结构的光学元件得到了广泛的应用,如微孔光栏、光子筛、激光微孔谐振腔、硅微通道板、微通道板(MCP)、用于UnderDisplay移动指纹识别技术的微孔阵列准直器等。微孔阵列结构在光学元件中的本质作用是提供相互隔离的光通道。目前国内外制作类似微孔阵列结构元件的方法有激光打孔法、光刻蚀法、微通道板法、光辅助电化学刻蚀法等,这些技术方案均采用在材料上制作通孔作为光线通道的同一思路,存在以下缺陷或不足:1)采用这些制作方法加工得到的产品中通孔的长径比一般小于30,同时存在盲孔、锥孔等质量缺陷,难以获得理想的光学效果。2)采用这些制作方法加工得到的产品存在通孔,为防止通孔被灰尘堵塞,对包装和使用过程的环境要求近乎苛刻。3)采用这些技术方案制作的产品无论是金属、半导体还是无机材料,布满通孔后,产品的强度均严重下降,不利于后续的封装和使用。
技术实现思路
为解决上述技术问题,本技术的目的在于:提供一种光通道的长径比大,光学效果好,对包装和 ...
【技术保护点】
一种实心光微通道阵列面板,其特征在于:包括面板主体,所述面板主体包括不透光基体和多个透光通道,所述不透光基体填充在各所述透光通道之间,各所述透光通道为实心光通道。
【技术特征摘要】
1.一种实心光微通道阵列面板,其特征在于:包括面板主体,所述面板主体包括不透光基体和多个透光通道,所述不透光基体填充在各所述透光通道之间,各所述透光通道为实心光通道。2.根据权利要求1所述的一种实心光微通道阵列面板,其特征在于:所述面板主体的横截面中各所述透...
【专利技术属性】
技术研发人员:何相平,叶灵西,吴若萍,李建杰,王斌,
申请(专利权)人:广州宏晟光电科技有限公司,
类型:新型
国别省市:广东,44
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