【技术实现步骤摘要】
晶片线切割机的冷却装置
本技术属于晶片加工设备
,具体涉及一种晶片线切割机的冷却装置。
技术介绍
晶片是利用晶片线切割机从晶棒上切割下来,在切割过程中,多条切割线同时切割晶棒,一次可切出多片晶片,在切割过程中由于摩擦会产生大量的热量,为了提高切割的质量和保护切割线,在切割过程中,需要切割线与晶棒的接触点上连续不断地喷冷冷却液,在对切割线和晶棒降温的同时将切屑冲走。冷却液冲洗切割点后由集液盘收集,回流至集水箱,再由水泵抽出供应到冷却点冲洗冷却切割点,如些循环往复。由于切割线高速运动,切割点发热较大,喷洒到晶棒上的冷却液在切割点吸收热量后,升温较快。为了实现对冷却液的循环利用,现有技术中,将升温后的冷却液用滤网过滤后回流到集水箱,再用水泵抽到切割机外置的蜂窝式热交换系统内冷却,再将降温后的冷却液供应到切割点上循环使用。在冷却液循环过程中,切割线将切割晶棒时产生的切屑带入冷却水中,随着冷却液的循环,大粒径的切屑对滤网造成阻塞,小粒径的切屑随着冷却液进入蜂窝式热交换系统内的管路中,随着在管壁上形成沉淀,导致管路阻塞。由于滤网和冷却管阻塞,在每天的晶片的切割生产过程中需要对滤网和冷却管阻塞进行多次清理,严重影响生产效率,特别是对冷却管的清理,需要用高压水疏通,费力费时。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种晶片线切割机的冷却装置,解决现有技术中,存在热交换系统容易积垢导致冷却水降温效果差和影响晶片的切割质量的问题。本技术的技术方案是:一种晶片线切割机的冷却装置,该冷却装置的集水箱顶盖上设计有进水口,进水口安装在晶片线切割机的集液盘的排水口下方,在水箱上安装有取水泵 ...
【技术保护点】
晶片线切割机的冷却装置,该冷却装置的集水箱(10)顶盖上设计有进水口(20),进水口(20)安装在晶片线切割机(3)的集液盘的排水口(2)下方,在集水箱(10)上安装有取水泵(8),在集水箱(10)底部设置有排污管(13),在取水区(11)的顶盖上安装有取水泵(8)和取水管(9),取水管(9)与晶片线切割机上的冷却液喷水头连接;其特征在于:在集水箱(10)内依次设置有沉淀区(18)、冷却区(6)和取水区(11),且沉淀区(18)与冷却区(6)之间的隔板Ⅰ(17)的高度高于冷却区(6)和取水区(11)之间的隔板Ⅱ(12)的高度;在沉淀区(18)的集水箱(10)内侧中上部安装有进水斗(19),进水斗(19)的出口安装在集水箱(10)中下部水平方向,沉淀区(18)的出水管通入冷却区的中下部水平方向;在冷却区(6)的中下部,水平安装有丝网(16),在丝网(16)上安装有多组连通的冷却管(15),沿冷却管(15)径向设置有圆形散热片(14),冷却管(15)的进水端(7)安装在冷水池(1)中下部,出水端(5)经过抽水泵(4)连接到冷水池(1)上部。
【技术特征摘要】
1.晶片线切割机的冷却装置,该冷却装置的集水箱(10)顶盖上设计有进水口(20),进水口(20)安装在晶片线切割机(3)的集液盘的排水口(2)下方,在集水箱(10)上安装有取水泵(8),在集水箱(10)底部设置有排污管(13),在取水区(11)的顶盖上安装有取水泵(8)和取水管(9),取水管(9)与晶片线切割机上的冷却液喷水头连接;其特征在于:在集水箱(10)内依次设置有沉淀区(18)、冷却区(6)和取水区(11),且沉淀区(18)与冷却区(6)之间的隔板Ⅰ(17)的高度...
【专利技术属性】
技术研发人员:吴康,吴龙驹,纳磊,肖寒,马玉天,
申请(专利权)人:蓝晶科技义乌有限公司,
类型:新型
国别省市:浙江,33
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