一种粉尘处理系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种粉尘处理系统，包括长膜设备、粉尘收集室、真空泵与尾气处理装置，所述长膜设备包括壳体、支座、进料单元与排气管，所述排气管还连接粉尘收集室用于将尾气中的粉尘过滤收集，所述粉尘收集室通过输送管连接尾气处理装置用于将经粉尘处理的尾气排进尾气处理装置内进行处理，并在输送管上设置有真空泵用于将反应过程中的尾气经粉尘收集室抽进尾气处理装置内；本实用新型专利技术中在尾气排向尾气处理装置的过程中，先将尾气排进一收集室内将尾气中的粉尘过滤收集，使尾气过滤后不带有粉尘，然后将过滤后的尾气排进尾气处理装置内进行处理，如此可防止尾气中的粉尘损坏真空泵以及尾气处理装置，延长真空泵与尾气处理装置的使用寿命。

A dust treatment system

The utility model discloses a dust treatment system, including long film equipment, dust collecting chamber, vacuum pump and exhaust gas treatment device, the device comprises a shell, long film bearing, feeding unit and the exhaust pipe, the exhaust pipe is connected with the dust collecting chamber for dust filter in the exhaust gas collection, the the dust collecting chamber through the pipeline connecting device for exhaust gas treatment will be discharged into the exhaust gas treatment device for processing in the treatment of exhaust gas and dust, and a vacuum pump for the exhaust gas in the reaction process by a dust collecting chamber is pumped into the exhaust gas treatment device is arranged in the pipe; the utility model in the process of tail gas to exhaust gas treatment device, the tail gas collecting chamber into the dust filter in the exhaust gas collection, the filtered tail gas with dust, and then filtered tail gas discharged into the exhaust gas treatment device It can prevent the dust damage from the vacuum pump and the tail gas treatment device, and prolong the service life of the vacuum pump and the tail gas treatment device.

【技术实现步骤摘要】
一种粉尘处理系统
本技术涉及尾气处理
，尤其是涉及一种粉尘处理系统。
技术介绍
在CVD等长膜工艺中，均会产生尾气，此时便需要对尾气进行处理才可将其排走，否则会污染环境；而尾气中会夹带着许多有害杂质，因此尾气需要特定的装置将其先进行处理，而在尾气到尾气处理装置的过程中需要通过真空泵等将尾气输送至处理装置内，而由于尾气中夹带粉尘等杂志会直接腐蚀损坏泵，会降低泵的使用寿命。
技术实现思路
针对现有技术的不足，本技术的目的在于一种可预见将粉尘过滤收集的粉尘处理系统。为实现上述目的，本技术提供的方案为：一种粉尘处理系统，包括长膜设备、粉尘收集室、真空泵与尾气处理装置，所述长膜设备包括壳体、支座、进料单元与排气管，所述进料单元连接壳体用于向壳体喷出反应物，所述壳体内设置有支座，所述支座上设置有多个晶圆用于与进料单元喷出的反应物发生反应形成膜层，所述排气管连接壳体用于将壳体内的气体排走，且在排气管上设置有用于调节壳体内气压的压力阀；所述排气管还连接粉尘收集室用于将尾气中的粉尘过滤收集，所述粉尘收集室通过输送管连接尾气处理装置用于将经粉尘处理的尾气排进尾气处理装置内进行处理，并在输送管上设置有真空泵本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种粉尘处理系统，其特征在于：包括长膜设备、粉尘收集室（2）、真空泵（3）与尾气处理装置（5），所述长膜设备包括壳体（11）、支座（12）、进料单元（13）与排气管（14），所述进料单元（13）连接壳体（11）用于向壳体（11）喷出反应物，所述壳体（11）内设置有支座（12），所述支座（12）上设置有多个晶圆（121）用于与进料单元（13）喷出的反应物发生反应形成膜层，所述排气管（14）连接壳体（11）用于将壳体（11）内的气体排走，且在排气管（14）上设置有用于调节壳体（11）内气压的压力阀（141）；所述排气管（14）还连接粉尘收集室（2）用于将尾气中的粉尘过滤收集，所述粉尘收集室（2）通...

【技术特征摘要】
1.一种粉尘处理系统，其特征在于：包括长膜设备、粉尘收集室（2）、真空泵（3）与尾气处理装置（5），所述长膜设备包括壳体（11）、支座（12）、进料单元（13）与排气管（14），所述进料单元（13）连接壳体（11）用于向壳体（11）喷出反应物，所述壳体（11）内设置有支座（12），所述支座（12）上设置有多个晶圆（121）用于与进料单元（13）喷出的反应物发生反应形成膜层，所述排气管（14）连接壳体（11）用于将壳体（11）内的气体排走，且在...

【专利技术属性】
技术研发人员：石建东，
申请(专利权)人：广东瑞芯源技术有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44