节能型高洁净度洁净室系统技术方案

本发明专利技术公开了一种节能型高洁净度洁净室系统，包括：洁净室结构系统，其包括洁净室房间、多孔高架地板、内洁净隔断室、风淋室、缓冲走廊和回风夹道；空气调节系统，其包括空调室外机、空调室内处理机组、风机滤器机组、上回风静压箱和下回风静压箱；及智能控制系统，其包括触摸控制屏和控制器。本发明专利技术的节能型高洁净度洁净室系统，能耗低、控制精度高，能有效保证洁净室内空气的高洁净度，在满足纳米、微电子、生物、生命科学等领域高洁净度等级洁净室相关工艺参数的同时，实现了系统的节能化，降低了系统能耗，节约了运行成本。

Energy saving Gao Jie clean room system

【技术实现步骤摘要】
节能型高洁净度洁净室系统
本专利技术涉及洁净室
，特别涉及一种节能型高洁净度洁净室系统。
技术介绍
随着科学技术的发展，人们对纳米、微电子、生物、生命科学等领域的研究也越来越广泛与深入，很多高校和科研机构都投入到这些高精尖领域的研究中，为科学技术的不断发展做出了巨大贡献。在这些尖端科学的研究中，除了本专业的科学知识外，一个与该研究工艺相适合的研究环境是保证研究结果的一致性、可靠性并最终取得成功的重要保证手段。高洁净度等级的洁净室及是这一手段的重要体现形式，这些洁净室的洁净度一般都要高于ISO5级，温度、相对湿度、噪音、防静电、防屏蔽性能等指标都有严苛的要求，这就给洁净室的建造和运行提出的严格的要求。现在的洁净室系统普遍存在以下问题：建造费用和运行费用都相当高昂；洁净室内的洁净度难以等级不够，难以满足用户需求。所以现在需要一种节能型高洁净度洁净室系统，在满足纳米、微电子、生物、生命科学等领域高洁净度等级洁净室相关工艺参数的同时，实现系统的节能化，降低系统能耗，节约运行成本。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题在于针对上述现有技术中的不足，提供一种节能型高洁净度洁净室系统。为解决上述技术问题，本专利技术采用的技术方案是：一种节能型高洁净度洁净室系统，包括：洁净室结构系统，其包括洁净室房间、架设在所述洁净室房间地面上的多孔高架地板、设置在所述多孔高架地板上的内洁净隔断室、设置于所述洁净室房间入口处的风淋室、设置在所述多孔高架地板上且与所述风淋室连通的缓冲走廊和设置在所述洁净室房间内的侧部的回风夹道；空气调节系统，其包括空调室外机、间隔设置于所述高架地板底面上的多个空调室内处理机组、设置于所述内洁净隔断室顶部的风机滤器机组、设置于所述风机滤器机组上的上回风静压箱和设置于所述高架地板底面上的下回风静压箱；及智能控制系统，其包括触摸控制屏和控制器。优选的是，所述内洁净隔断室包括架设在所述高架地板上且前后两端分别与所述洁净室房间的前后墙面密封连接的两块侧向隔板及连接于所述两侧向隔板顶部且前后两端分别与所述洁净室房间的前后墙面密封连接的顶部隔板。优选的是，所述多孔高架地板的下方与所述洁净室房间之间形成回风腔；所述两块侧向隔板、顶部隔板、洁净室房间的前后墙面及高架地板围绕形成所述内洁净隔断室，所述内洁净隔断室通过其底部的多孔高架地板与下方的回风腔连通，所述内洁净隔断室中的空气通过所述多孔高架地板向下进入到所述回风腔内。优选的是，所述回风夹道处于所述风淋室的对侧，所述回风夹道下端与所述回风腔连通，上端连通至所述上回风静压箱；所述缓冲走廊底部与所述回风腔连通，顶部连通至所述上回风静压箱；所述回风腔内的空气通过所述回风夹道和缓冲走廊回流到所述上回风静压箱内。优选的是，所述内洁净隔断室上与所述风淋室连接的侧向隔板上设置有密封门。优选的是，所述空调室内处理机组包括风机、表冷器、加热器、加湿器、凝水盘和冷凝水排水泵，所述空调室外机与所述空调室内处理机组连接，所述空调室外机为所述空调室内处理机组提供冷媒。优选的是，所述风机滤器机组包括风机和高效空气过滤器，用于将室外新风和室内回风过滤后吹入到内洁净隔断室内。优选的是，所述空调室内处理机组上还设置有检测装置，所述检测装置包括温度传感器、湿度传感器、粉尘传感器。优选的是，所述多孔高架地板的底面上覆盖设置有空气过滤网。优选的是，所述空气过滤网包括依次设置的PTFE纤维层、聚醚砜滤膜层、纳米碳纤维布层、聚苯硫醚纤维层、竹炭纤维层、玻璃纤维层和无纺布层。本专利技术至少包括以下有益效果：1)本专利技术的节能型高洁净度洁净室系统，通过在内洁净隔断室前设置风淋室和缓冲间，能有效去除进入洁净室内人员身体上附着的尘埃粒子，降低内洁净隔断室的处理符合，降低能耗，同时还能提高内洁净隔断室内的洁净度；2)通过将风机、表冷器、加热器、加湿器、凝水盘和冷凝水排水泵集中一体化设置在多孔高架地板下，直接对洁净室内的气流进行降温、加热、除湿、加湿等处理，能大大减小系统阻力，同时避免管道运输带来的能量损失，能大大降低系统的运行能耗；3)通过智能控制系统对洁净室内的空气进行实时监测和控制，能保证洁净室内的空气的高洁净度，同时还能节约能耗；4)通过设置过滤网，能对洁净室内的空气进行深度净化，提高室内空气的洁净度。5)本专利技术能耗低、控制精度高，能有效保证洁净室内空气的高洁净度，具有很高的推广应用价值。附图说明图1为本专利技术的节能型高洁净度洁净室系统的正视方向的结构示意图；图2为本专利技术的节能型高洁净度洁净室系统的俯视图；图3为本专利技术的过滤网的厚度方向的剖视图。附图标记说明：1—洁净室房间；2—多孔高架地板；3—内洁净隔断室；4—风淋室；5—缓冲走廊；6—回风夹道；7—空调室外机；8—空调室内处理机组；9—风机滤器机组；10—上回风静压箱；11—下回风静压箱；12—回风腔；13—密封门；14—过滤网；30—侧向隔板；31—顶部隔板；140—PTFE纤维层；141—聚醚砜滤膜层；142—纳米碳纤维布层；143—聚苯硫醚纤维层；144—竹炭纤维层；145—玻璃纤维层；146—无纺布层。具体实施方式下面结合实施例对本专利技术做进一步的详细说明，以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施。应当理解，本文所使用的诸如“具有”、“包含”以及“包括”术语并不配出一个或多个其它元件或其组合的存在或添加。如图1-3所示，本实施例的一种节能型高洁净度洁净室系统，其特征在于，包括：洁净室结构系统，其包括洁净室房间1、架设在洁净室房间1地面上的多孔高架地板2、设置在多孔高架地板2上的内洁净隔断室3、设置于洁净室房间1入口处的风淋室4、设置在多孔高架地板2上且与风淋室4连通的缓冲走廊5和设置在洁净室房间1内的侧部的回风夹道6；空气调节系统，其包括空调室外机7、间隔设置于高架地板底面上的多个空调室内处理机组8、设置于内洁净隔断室3顶部的风机滤器机组9、设置于风机滤器机组9上的上回风静压箱10和设置于高架地板底面上的下回风静压箱11；及智能控制系统，其包括触摸控制屏和控制器。风机滤器机组9包括风机和高效空气过滤器，用于将室外新风和室内回风过滤后吹入到内洁净隔断室3内。风机滤器机组9与外部通过进风管道连通。多孔高架地板2上密集设置开孔，以供空气通过。内洁净隔断室3包括架设在高架地板上且前后两端分别与洁净室房间1的前后墙面密封连接的两块侧向隔板30及连接于两侧向隔板30顶部且前后两端分别与洁净室房间1的前后墙面密封连接的顶部隔板31。多孔高架地板2的下方与洁净室房间1之间形成回风腔12；两块侧向隔板30、顶部隔板31、洁净室房间1的前后墙面及高架地板围绕形成内洁净隔断室3，内洁净隔断室3通过其底部的多孔高架地板2与下方的回风腔12连通，内洁净隔断室3中的空气通过多孔高架地板2向下进入到回风腔12内。附图1中的箭头方向表示空气流动方向。其中，内洁净隔断室3除底面外均保持密封，由内洁净隔断室3上方的风机滤器机组9进入的空气经过内洁净隔断室3后，通过内洁净隔断室3底部的多孔高架地板2向下流动。侧向隔板30采用透明材质，洁净室房间1的侧部墙面也选用透明材质。回风夹道6处于风淋室4的对侧，回风夹道6下端与回风腔12连通，上端连通至上回风静压箱10；缓冲走廊5底部与回风腔12本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种节能型高洁净度洁净室系统，其特征在于，包括：洁净室结构系统，其包括洁净室房间、架设在所述洁净室房间地面上的多孔高架地板、设置在所述多孔高架地板上的内洁净隔断室、设置于所述洁净室房间入口处的风淋室、设置在所述多孔高架地板上且与所述风淋室连通的缓冲走廊和设置在所述洁净室房间内的侧部的回风夹道；空气调节系统，其包括空调室外机、间隔设置于所述高架地板底面上的多个空调室内处理机组、设置于所述内洁净隔断室顶部的风机滤器机组、设置于所述风机滤器机组上的上回风静压箱和设置于所述高架地板底面上的下回风静压箱；及智能控制系统，其包括触摸控制屏和控制器。

【技术特征摘要】
1.一种节能型高洁净度洁净室系统，其特征在于，包括：洁净室结构系统，其包括洁净室房间、架设在所述洁净室房间地面上的多孔高架地板、设置在所述多孔高架地板上的内洁净隔断室、设置于所述洁净室房间入口处的风淋室、设置在所述多孔高架地板上且与所述风淋室连通的缓冲走廊和设置在所述洁净室房间内的侧部的回风夹道；空气调节系统，其包括空调室外机、间隔设置于所述高架地板底面上的多个空调室内处理机组、设置于所述内洁净隔断室顶部的风机滤器机组、设置于所述风机滤器机组上的上回风静压箱和设置于所述高架地板底面上的下回风静压箱；及智能控制系统，其包括触摸控制屏和控制器。2.根据权利要求1所述的节能型高洁净度洁净室系统，其特征在于，所述内洁净隔断室包括架设在所述高架地板上且前后两端分别与所述洁净室房间的前后墙面密封连接的两块侧向隔板及连接于所述两侧向隔板顶部且前后两端分别与所述洁净室房间的前后墙面密封连接的顶部隔板。3.根据权利要求2所述的节能型高洁净度洁净室系统，其特征在于，所述多孔高架地板的下方与所述洁净室房间之间形成回风腔；所述两块侧向隔板、顶部隔板、洁净室房间的前后墙面及高架地板围绕形成所述内洁净隔断室，所述内洁净隔断室通过其底部的多孔高架地板与下方的回风腔连通，所述内洁净隔断室中的空气通过所述多孔高架地板向下进入到所述回风腔内。4.根据权利要求3所述的节能型高洁净度洁净室系统，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：姜皓遐，邴绍同，陈江浩，徐雯，
申请(专利权)人：中天道成苏州洁净技术有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32